一种用于多探针台的低温控制系统技术方案

一种用于多探针台的低温控制系统，包括至少两台探针台，探针台内部安装有冷却装置，还包括一台低温控制机，低温控制机上开设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口端安装有第一多通阀门，第一多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台的冷却液输入端口；冷却液出口端也安装有第二多通阀门，第二多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台探针台的冷却液输出端口；低温控制机上开设有干燥空气出口，干燥空气出口连接有第三多通管，第三多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台的低温干燥空气入口；至少两台探针台、低温控制机之间通信连接。低温控制机之间通信连接。低温控制机之间通信连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多探针台的低温控制系统


[0001]本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种用于多探针台的低温控制系统。

技术介绍

[0002]现在硅晶片的低温技术日趋发达，需要测试低温的硅晶片不断增多。随着晶元测试的要求不断增加，机器对应的要求也在提高。市场上常见的只能控制常温和高温的机器，逐渐被可作业低温，常温和高温的三温机器所取代。目前市场上主流机器，一台降温装置的只能控制一台探针台，这样1：1的产能，无法应对市场上硅晶片的测试需求。机器厂商目前针对市场的产能缺陷，也导致整个市场低温机器的需求量增加。这两大问题直接导致低温的机器无法满足低温产品测试需求。

技术实现思路

[0003]为了提高多台以及大批量的探针台的降温效率，节约资源，本技术采用以下技术方案：
[0004]一种用于多探针台的低温控制系统，包括至少两台探针台，探针台内部安装有冷却装置，
[0005]还包括一台低温控制机，低温控制机上开设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口端安装有第一多通阀门，多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台的冷却液输入端口；冷却液出口端也安装有第二多通阀门，多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台的冷却液输出端口；低温控制机上开设有干燥空气出口，干燥空气出口连接有第三多通阀门，第三多通阀门的输出端分别通过管道连接至少两台探针台的低温干燥空气入口；至少两台探针台、低温控制机之间通信连接。
[0006]具体的，管道外包裹有保温棉。
[0007]具体的，至少两台探针台的冷却液输出端口和冷却液输入端口分别安装有一个阀门开关。
[0008]进一步的，阀门开关为电动球阀。
[0009]该冷却系统的优点为：通过一台低温控制机能实现多台探针台的降温，并且能控制多台探针台内的湿度，提高了降温效率，节约资源。
附图说明
[0010]图1是一种用于多探针台的低温控制系统的工作原理图；
[0011]附图标记：1低温控制机；2第二探针台；3电动球阀；4第一三通阀；5第一探针台；6第二三通阀。
具体实施方式
[0012]下面结合图1对本技术做进一步说明。
[0013]一种用于多探针台的低温控制系统，包括第一探针台5和第二探针台2这两台探针台，还包括一台低温控制机1。探针台内部设置且安装有循环冷却装置，通过将冷却液在循环冷却装置中进行热交换，就可以对探针台内部进行降温。
[0014]低温控制机1上开设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口流入温度较高的冷却液，低温控制机1可将温度较高的冷却液进行循环降温，然后从冷却液出口输出温度较低的冷却液。低温控制机1冷却液进口端安装有第一三通阀4，第一三通阀4的输出端分别通过管道连接第一探针台5和第二探针台2的冷却液输入端口。
[0015]低温控制机1冷却液出口端安装有第二三通阀6，第二三通阀6的输出端分别通过管道连接第一探针台5和第二探针台2的冷却液输出端口；
[0016]为了控制探针台内部的湿度环境，避免内部环境过湿导致探针台内测量芯片不准确，所以低温控制机1内安装有空气干燥循环装置，并低温控制机1上开设有干燥空气出口，干燥空气出口连接有第三三通阀门，第三多通阀门的输出端分别通过管道连接第一探针台5和第二探针台2的低温干燥空气入口。除此之外，为了避免冷却液的温度被外界环境的影响，所以在管道外包裹有保温棉。两台探针台的冷却液输出端口和冷却液输入端口分别安装有一个电动球阀3，这样可以控制探针台冷却液的输入和输出，方便后期探针台的维修。
[0017]第一探针台5、第二探针台2、低温控制机1各个主机之间通过通信线连接，两个探针台内的干燥感应器检测到内部的环境湿度，将湿度数据传输至探针台的主机中，两探针台的主机与低温控制机1主机通信传输数据，低温控制机1主机在控制空气干燥循环装置输出干燥空气，这样低温控制机1可以同时控制两台探针台进行低温处理。
[0018]该冷却系统的工作原理为：为了实现对两台探针台的降温的功能，低温控制机1通过冷却液出传输低温的冷却液至两台探针台，两台探针台内部有循环冷却装置，通过低温的冷却液带走热量并输出至低温控制机1冷却液进口，低温控制机1内部可实现冷却液的降温功能。第一探针台5、第二探针台2、低温控制机 1的各个主机之间通过通信线连接，通过低温控制机1的空气干燥循环装置输出干燥空气至两个探针台，降低第一探针台5和第二探针台2内的湿度。
[0019]该冷却系统的优点为：通过一台低温控制机1能实现多台探针台的降温，并且能控制多台探针台内的湿度，提高了降温效率，节约资源。
[0020]可以理解的是，以上关于本技术的具体描述，仅用于说明本技术而并非受限于本技术实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本技术进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于多探针台的低温控制系统，包括至少两台探针台，所述探针台内部安装有冷却装置，其特征在于，还包括一台低温控制机，所述低温控制机上开设有冷却液进口和冷却液出口，所述冷却液进口端安装有第一多通阀门，所述第一多通阀门的输出端分别通过管道连接所述至少两台探针台的冷却液输入端口；所述冷却液出口端也安装有第二多通阀门，所述第二多通阀门的输出端分别通过管道连接所述至少两台探针台的冷却液输出端口；所述低温控制机上开设有干燥空气出口，所述干燥空气出口连接有第三多通阀门...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵坤鹏，廖鹏，顾灵涛，
申请(专利权)人：无锡伟测半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：