【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施方式一般涉及用于控制流到处理腔室的气流的方法和装置。技术背景对于许多微电子器件制造工艺,气流的精确控制是重要的工艺控制因素。 在半导体处理腔室中在衬底和衬底支架之间提供气体是一种用于改善衬底和 衬底支架之间的热传递并从而增强衬底温度控制的精确性和均匀性的众所周 知的方法。另外,为了获得所需的处理结果,特别是随着关键尺寸和薄膜厚度 縮小,需要精确控制流到处理腔室中的工艺气流。并且,可以将气体添加到处理腔室流出物流(effluent shrink),以减轻衬底处理的环境影响。必须要很好地 控制添加到流出物流中的气体,从而确保有效成本和适当的补救。与半导体处理腔室一起使用的传统气体输送系统一般包括气体质量流量 计(mass gas flow meter, MFC)作为主要的流量调整器件。然而,MFC的精 确度可能受到引起实际气流的不确定性的多个因素影响。例如,MFC的精确 性通常将随温度、输送管道压力和容量(volume)的变化而改变。由于MFC 不准确引起的从气流设定点的偏差将引起处理缺陷、差的排放控制和昂贵气体 的无效浪费。尽管传统的压力控制系统已经证明相对可靠,但是利用现有技术的现场试 验已经增加了对于流量进行更准确测量的要求。例如,在背侧衬底冷却应用中 所使用的气流的不良控制将导致不良的衬底温度控制,从而导致差的薄膜沉积 或蚀刻结果,这在下一代电路设计中是无法容忍的。然而,传统的气体输送系统一般具有固定的导管,用于将气体从气源发送 到处理腔室中。因而,只有预定组合的工艺气体可在任意时间被传送到处理腔 室中。该固定的气体传送路径阻挡了 ...
【技术保护点】
一种用于将气体输送到半导体处理系统的装置,包含: 多个气体输入管道,其中每个输入管道具有入口; 多个气体输出管道,其中每个输出管道具有出口,多个出口中至少第一出口耦接到设备排气装置,并且多个出口中至少第二出口耦接到所述处理系统; 多个连接管道,每个连接管道耦接各自一对气体输入管道和气体输出管道; 多个连接阀,每个连接阀配置为控制经过各个连接管道的流量;以及 多个气体质量流量控制器,每个气体质量流量控制器配置为控制进入各个入口的流量。
【技术特征摘要】
US 2007-2-26 11/678,6221、一种用于将气体输送到半导体处理系统的装置,包含多个气体输入管道,其中每个输入管道具有入口;多个气体输出管道,其中每个输出管道具有出口,多个出口中至少第一出口耦接到设备排气装置,并且多个出口中至少第二出口耦接到所述处理系统;多个连接管道,每个连接管道耦接各自一对气体输入管道和气体输出管道;多个连接阀,每个连接阀配置为控制经过各个连接管道的流量;以及多个气体质量流量控制器,每个气体质量流量控制器配置为控制进入各个入口的流量。2、 根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包含 至少一个感应器,配置为提供气体的流量、压力或化学性质的至少其中之一的度量,所述气体是从出口中至少之一排出的。3、 根据权利要求2所述的装置,其特征在于,进一步包含 控制器,配置为响应由所述感应器提供到所述控制器的所述度量调整在入口管道中至少之一流动的气体的属性。4、 根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包含 处理腔室,耦接到多个气体输出管道中至少第一气体输出管道;以及 净化管道,耦接至多个气体输出管道中至少第二气体输出管道以及旁通处理腔室的设备排气装置。5、 根据权利要求4所述的装置,其特征在于,进一步包含 最终阀,耦接到多个出口的第二出口;以及旁通阀,耦接在所述第二出口和所述净化管道之间。6、 根据权利要求4所述的装置,其特征在于,进一步包含 节流阀,配置为控制经过所述净化管道的流量。7、 根据权利要求1所述的装置,其特征在于,进一步包含流量限制器,耦接到具有与所述半导体处理系统的入口相似限制的出口。8、 根据权利要求1所述的装置,其特征在于,连接到所述设备排气装置的出口中至少之一还连接到所述半导体处理系统。9、 根据权利要求l所述的装置,其特征在于,进一步包含 至少两个可调阀,耦接到所述出口的第一输出口,所述可诉,配置划分来自所述第一输出口的流量。10、 根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述连接阔中至少之一进 一步包含至少两个可调阀,配置为划分来自两个或多个所述出口之间的其中一个输 入口的流量。11、 根据权利要求10所述的装置,其特征在于,进一步包含 校准管路,配置为用于校准可调阀的有效开口面积,所述校准是通过测量经过所述阀的流量同时保持经过所述阀的临界(超音波)流量来实现的。12、 根据权利要求l所述的装置,其特征在于,进一步包含 包含于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:埃兹拉罗伯特古德,理查德查尔斯福韦尔,詹姆斯帕特里克克鲁斯,贾里德阿曼德李,布拉诺杰夫林,小道格拉斯亚瑟布赫伯格,马丁杰弗里萨利纳斯,
申请(专利权)人:应用材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。