加热架互联组件及转移真空样品托制造技术

本发明专利技术公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明专利技术还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明专利技术可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。加热的互联。加热的互联。

【技术实现步骤摘要】
加热架互联组件及转移真空样品托


[0001]本专利技术涉及真空机械领域，尤其涉及一种加热架互联组件及转移真空样品托。

技术介绍

[0002]由于在地球上的人造真空可以实现局域的超洁净环境，对特定材料的生长、制备以及科学研究具有重要的意义，如半导体晶圆生长、半导体体器件制备、电子扫描显微镜检测物体、透射电子显微镜检测材料的界面等过程，都是在人造真空环境下进行的。为更好的利用真空高洁净特性连续的研究材料生长、器件制备、性能的检测，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所设计并建造了一套真空互联系统。在该真空互联系统中，所有相关的材料生长、器件制备、性能检测的设备都利用真空管道进行了连接，并在互联的真空管道中布置了磁力推动样品传送小车，用来将研究的样品从一个设备传送至另一个设备，使得被研究样品本身在全生命周期内不必因为样品传送而暴露到大气中引入污染。
[0003]真空互联试验站有多台扫描隧道显微镜，由于需要对材料特性进行全面的分析和检查，这些扫描隧道显微镜通常会有两种或两种以上。其中，超低温扫描隧道显微镜(Ultra-low Temperature Scanning Tunneling Microscope，缩写为ULT-STM)能很方便的观察材料的物理特性，通过高精度陶瓷管实现扫描探针在原子尺度上可控运动，并测量扫描探针和样品表面的隧穿电流，从而实现材料表面原子结构、电子结构的观测。超低温STM因其大大提高的稳定性，可实现高质量的原子分辨形貌图像以及高能量分辨扫描隧道谱的获取，能够方便地测量材料的物理特性；而四探针扫描隧道显微镜不仅可得到材料表面的高质量原子分辨像，而且还可通过多探针在超高真空条件下直接和样品接触，以测量样品的电输运性质，对研究低维材料体系、特别是高温超导薄膜、拓扑绝缘体薄膜、二维电子气等有着非常重要的意义，能方便地进行材料化学成分的分析。因此，对材料进行超低温STM、四探针扫描隧道显微镜这两种显微镜的扫描过程具有重要的意义。
[0004]在材料生长过程中，需要进行直流加热，完成材料的原位生长。但是超低温扫描隧道显微镜使用样品托为日本卡槽式样品台，可用于平移和旋转传输样品，而四探针扫描隧道显微镜使用欧洲旗形托，可用于平移传输样品。两个样品托的结构形式差别很大，很难在真空内进行样品的传递，而且实现互联的直流加热过程更是困难重重。所以需要通过真空互联试验，需要实现两种样品托的互联实验及直流加热的互联。

技术实现思路

[0005]鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种加热架互联组件及转移真空样品托，可以实现不同扫描隧道显微镜样品托上的直流加热样品台的互联传递，采用一种加热架互联组件即可实现样品在真空内的传递，并能实现互联的直流加热过程。
[0006]为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：
[0007]一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，所述小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个所述电极片相互间隔设置，每个所述电极片的第一端由
至少一个所述固定件固定在所述小样品托上且接触样品，每个所述电极片的第二端伸出所述小样品托外，以在所述小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极接触块。
[0008]作为其中一种实施方式，所述电极片间隔地设置在所述小样品托的宽度方向上的两相对侧，包括固定在所述小样品托上的样品接触部和连接所述样品接触部的弹片部，所述弹片部的末端朝所述小样品托的底面延伸。
[0009]作为其中一种实施方式，所述小样品托包括用于承载样品的承载板和连接所述承载板下表面的两块侧板，两块所述侧板在所述小样品托的宽度方向上间隔且正对设置，所述侧板的外表面凸设有沿其长度方向延伸的导向条。
[0010]作为其中一种实施方式，所述小样品托还包括一对或多对副导向条，每对所述副导向条分别自各所述侧板朝外凸出并沿所述小样品托的长度方向延伸，所述副导向条与所述导向条间隔设置，且所述副导向条位于所述导向条与所述承载板之间。
[0011]作为其中一种实施方式，所述小样品托还包括自所述承载板朝两侧的所述侧板外延伸出的限位条，所述限位条与导向条之间形成凹陷的导向槽。
[0012]作为其中一种实施方式，所述承载板的长度方向的一端形成有供夹持的手柄，所述弹片部同时朝向所述手柄所在端和所述小样品托的底面倾斜设置。
[0013]作为其中一种实施方式，所述样品接触部包括压片部，两侧的所述压片部将样品压紧在所述小样品托上。
[0014]本专利技术的另一目的在于提供一种转移真空样品托，包括一种上述的加热架互联组件、两个第一托体以及电极接触块，两个所述第一托体间隔设置，每个所述第一托体上固定有一个连接不同电极的所述电极接触块；转移真空样品托上开设有供加热架互联组件可拆卸地插入的插口，两个所述电极接触块分别设于所述插口的宽度方向的两相对侧的上方，用于在所述加热架互联组件插入所述插口内时与其上方对应的所述电极片的第二端接触导通。
[0015]本专利技术的又一目的在于提供一种转移真空样品托，包括一种上述的加热架互联组件、绝缘的第二托体以及连接电极的电极接触块，所述第二托体包括承载部和可供抓取的抓取部，转移真空样品托上开设有供加热架互联组件可拆卸地插入的插口，两个所述电极接触块分别设于所述插口的宽度方向的两相对侧的上方，且间隔地设置在所述第二托体上，用于在所述加热架互联组件插入所述插口内时与其上方对应的所述电极片的第二端接触导通。
[0016]作为其中一种实施方式，所述电极接触块的朝向加热架互联组件的插口入口的一端的顶面为倾斜面，且越靠近所述插口入口，所述倾斜面与所述电极接触块的顶面之间的距离越大。
[0017]本专利技术可以利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
附图说明
[0018]图1为本专利技术实施例1的一种加热架互联组件的正面结构示意图；
[0019]图2为本专利技术实施例1的一种加热架互联组件的背面结构示意图；
[0020]图3为本专利技术实施例1的另一种加热架互联组件的正面结构示意图；
[0021]图4为本专利技术实施例1的又一种加热架互联组件的背面结构示意图；
[0022]图5为本专利技术实施例2的超低温扫描隧道显微镜的转移真空样品托在未放入加热架互联组件时的结构示意图；
[0023]图6为本专利技术实施例2的超低温扫描隧道显微镜的转移真空样品托在放入加热架互联组件后的结构示意图；
[0024]图7为本专利技术实施例2的四探针扫描隧道显微镜的转移真空样品托在未放入加热架互联组件时的结构示意图；
[0025]图8为本专利技术实施例2的超低温扫描隧道显微镜的转移真空样品托在放入加热架互联组件后的结构示意图；
[0026]图中标号说明如下：
[0027]1-样品；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热架互联组件，其特征在于，包括小样品托(11)、两个电极片(12)以及固定件(13)，所述小样品托(11)为绝缘体，其上表面用于承载样品(1)；两个所述电极片(12)相互间隔设置，每个所述电极片(12)的第一端由至少一个所述固定件(13)固定在所述小样品托(11)上且接触样品(1)，每个所述电极片(12)的第二端伸出所述小样品托(11)外，以在所述小样品托(11)安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极接触块。2.根据权利要求1所述的加热架互联组件，其特征在于，所述电极片(12)间隔地设置在所述小样品托(11)的宽度方向上的两相对侧，包括固定在所述小样品托(11)上的样品接触部(121)和连接所述样品接触部(121)的弹片部(122)，所述弹片部(122)的末端朝所述小样品托(11)的底面延伸。3.根据权利要求2所述的加热架互联组件，其特征在于，所述小样品托(11)包括用于承载样品(1)的承载板(101)和连接所述承载板(101)下表面的两块侧板(102)，两块所述侧板(102)在所述小样品托(11)的宽度方向上间隔且正对设置，所述侧板(102)的外表面凸设有沿其长度方向延伸的导向条(111)。4.根据权利要求3所述的加热架互联组件，其特征在于，所述小样品托(11)还包括一对或多对副导向条(111')，每对所述副导向条(111')分别自各所述侧板(102)朝外凸出并沿所述小样品托(11)的长度方向延伸，所述副导向条(111')与所述导向条(111)间隔设置，且所述副导向条(111')位于所述导向条(111)与所述承载板(101)之间。5.根据权利要求3所述的加热架互联组件，其特征在于，所述小样品托(11)还包括自所述承载板(101)朝两侧的所述侧板(102)外延伸出的限位条(112)，所述限位条(112)与导向条(111)之间形成凹陷的导向槽(113)。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志敏，丁孙安，陆晓鸣，李坊森，王利，何高航，芮芳，陈爱喜，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：