一种制造高效硅太阳能电池片的方法技术

一种制造高效硅太阳能电池片的方法，涉及一种制造高效硅太阳能电池片的工艺方法。采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源直接印刷或喷涂在Ｐ型硅片上，直接形成浓磷扩散区的图形成为浓磷扩散源，然后在三氯氧磷的气氛中一次扩散成横向Ｎ↑［＋］Ｎ高低结，再依次采用周边刻蚀、去磷硅玻璃、淀积氮化硅膜、丝印正反面电极和背铝、氢钝化、烧结。本发明专利技术只需一次扩散就形成Ｎ↑［＋］Ｎ高低同质结，无须生长二氧化硅来屏蔽，也不用二次光刻成浓、淡磷两次扩散区，便可省去了氧化、光刻、二次扩散等多道工序，同样可以实现Ｎ↑［＋］Ｎ高低结，达到提高转换效率的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造高效硅太阳能电池片的工艺方法。技术背景以紫电池的理论基础展开的制造硅高效太阳能电池的研究工作进行 了十多年，但仍停留在理论指导上，没有真正应用于商业化生产。其根本原 因就是因为制造工艺被原有的传统工艺概念所限止束缚，要实现高转换效率 的目标，还需要增加多道工序而导致一糸列生产成本的增加。研究一种折中 简便的工艺方法来减少表面光生载流子的复合便成为大家追寻的目标。在紫电池的基础上，如果继续减小结深或改变其表面掺杂浓度，可 对电池短波响应有利从而提高电池的转换效率。但由于掺杂浓度的改变亦将 使通常情况的扩散薄层电阻增大，因而引起串联电阻功率损耗增大，从而导 致结温升的增加而使开路电压降低，最终将影响效率。为此有必要在其结构设计和工艺结构上有所调整。PERL电池在设计上和工艺上采用了分区磷扩 散的方法，从而解决了这个矛盾。据称转换效率可达到23.8%。在工艺上如 何实现分区磷扩散(亦有称其为选择性扩散)便是业内所需寻求的主要研究方 向。所谓选择性扩散的概念源於微电子工艺中氧化、光刻、扩散的原理， 采用以上方法可以根据需要把N型或P型杂质有目的地选择扩散到固定 区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造高效硅太阳能电池片的方法，包括采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源制成具有Ｎ↑［＋］Ｎ高低结的Ｐ型硅片，再经周边刻蚀、去磷硅玻璃、淀积氮化硅膜、丝印正反面电极和背铝、氢钝化、烧结制成，其特征在于所述具有Ｎ↑［＋］Ｎ高低结的Ｐ型硅片的形成方法是采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源直接印刷或喷涂在Ｐ型硅片上，直接形成浓磷扩散区的图形成为浓磷扩散源，然后在三氯氧磷的气氛中一次扩散成横向Ｎ↑［＋］Ｎ高低结。

【技术特征摘要】
1. 一种制造高效硅太阳能电池片的方法，包括采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源制成具有N+N高低结的P型硅片，再经周边刻蚀、去磷硅玻璃、淀积氮化硅膜、丝印正反面电极和背铝、氢钝化、烧结制成，其特征在于所述具有N+N高低结的P型硅片的形成方法是采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源直接印刷或喷涂在P型硅片上，直接形成浓磷扩...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志贤，
申请(专利权)人：江苏天保光伏能源有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]