承座及其制造方法以及具有该承座的化学气相沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术是一种承座及其制造方法以及具有该承座的化学气相沉积装置，此承座包括承座主体、第一粗糙面以及第二粗糙面。承座主体是是由金属材料构成。第一粗糙面形成第一粗糙图案，并位于承座主体的表面上。第二粗糙面形成第二粗糙图案，并位于承座主体的第一粗糙面上。第二粗糙面的宽度与深度是相对小于第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度，而负载在承座上的玻璃基板实质上接触第二粗糙面，且玻璃基板是用于平面显示器。在沉积制程的过程中，热可有效传导至玻璃基板，并可减少电弧放电的产生以及对于玻璃基板背面的损坏。在完成沉积制程后，玻璃基板与承座可相互平稳分离，以避免玻璃基板损坏，可对玻璃基板进行高信赖度的沉积制程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及一种适于承载平面显示器的承座、 一种制作承座的方法以及 一种具有承座的化学气相沉积装置，且特别是此承载平面显示器的承座，可在 沉积制程的后可平滑地将玻璃基板自此承座分离，并在沉积制程中有效率地将 热传导至玻璃基板，与一种制作承座的方法以及一种具有承座的化学气相沉积 装置。
技术介绍
平面显示器(flat display)已广泛应用于个人携带用终端器或是屏幕，而 使用于电视以及电脑中。平面显示器具有许多种类样式，诸如液晶显示器 (liquid crystal display, LCD)、等离子显示器(plasma display panel, PDP) 以及有机电激发光显示器(organic light emitting diode, OLED)。在平面显示器中，液晶显示器的制作方式是将液晶注入上下两片薄玻璃基 板中间，而液晶是一种介于固态与液态之间的中间物质。液晶显示器乃利用光 学开关现象的特性以显示出影像或数字，而凭借上下玻璃基板的电极之间的电 压差来改变液晶分子的转向以产生亮暗状态。液晶显示器乃广泛应用于电子装 置，诸如电子钟、电子计算机、电视、膝上型轻便电脑(laptops)以及用作汽车 与飞机的转速计与操作系统。典型的液晶电视(LCD TV)的屏幕尺寸是介于20 30英吋之间，而显示器 (monitor)的屏幕尺寸是17英吋或更小。近来，消费者更加喜爱大于40英吋的 大屏幕电视以及大于20英吋或更多的大屏幕显示器。如此一来，液晶显示器制 作商便开发出更大的玻璃基板。近来，俗称八代玻璃基板的大型产物便具有约2 公尺x2公尺的尺寸，并正在发展而在不久后便要量产。最终流通到市场的液晶显示器是经过多道制程制作而成，而这些制程包括 薄膜电晶体(thin film transistor, TFT)制程、晶胞制程(cell process)与模 块制程(module process),其中薄膜电晶体制程是不断重复沉积、显影、蚀刻、化学气相沉积，而晶胞制程是结合上下玻璃基板，且模块制程是完成整个产品。 化学气相沉积制程乃是众多制程中的其中一道，而在化学气相沉积制程中， 硅基化合物离子是在超高频功率的等离子中而具有高能，而硅基化合物离子是 经由电极而从气体扩散平板射入并沉积在玻璃基板上。沉积过程是在腔体(chamber)内操作以完成化学气相沉积制程。腔体包括上腔室与下腔室，而上腔室与下腔室是可分离地而耦接在一起。 也即，当执行维护与维修工作时，上腔室是从下腔室分离，而当凭借倒转而完 成维护与维修工作后，再将上腔室耦接至下腔室。下腔室包括基板进出部、承座以及多个起模顶销(lift pin)。基板是经由 基板进出部进入下腔室或自下腔室抽离。承座是作为如沉积平台的工作件以承 载玻璃基板。起模顶销是耦接至穿孔，且穿孔是以承座的厚长方向 (thicknesswise direction)而形成在承座中。起模顶销是在承座上平稳地支撑 玻璃基板，并将玻璃基板自承座分离。承座是直接承载玻璃基板的部件，而承座的上表面是制作成金属平板，且 加热器是装配在承座中。如此一来，在沉积制程的过程中，热会传导至玻璃基 板以加速沉积制程。在前述传统装配的化学气相沉积装置中，当完成沉积制程后，静电会使得 玻璃基板与承座的上表面紧密强烈地接触在一起，使得很难利用起模顶销而将 玻璃基板自承座分离。当以过度力量而将玻璃基板自承座分离，会使得玻璃基 板破碎。当玻璃基板破碎后，会产生许多粒子遗留在沉积空间，使得沉积制程 信赖度下降。为解决此问题，可考虑在承座的上表面上形成多个凹痕以降低玻璃基板与 承座之间的接触区域，以减少玻璃基板与承座之间的静电。然而，在采用此方式的化学气相沉积装置中，尽管有利于减少静电而在沉 积制程后可平顺地将玻璃基板自承座分离，但是在沉积制程中，热无法有效地 传导至玻璃基板，使得玻璃基板无法适当地完成沉积制程。此外，玻璃基板的 背面可能因为凹痕之间的突出部分的尖锐处而刮伤。另外，当电荷集中在尖锐 处时，也会在承座的表面产生电弧放电。因此，需要一种具有改良结构的承座 以解决前述问题。
技术实现思路
为解决上述以及/或其他问题，本专利技术提供一种用于承载平面显示器的承 座，其可在沉积制程中有效率地将热传导至玻璃基板，降低电弧放电的产生以 及玻璃基板后表面的损坏，并在沉积制程后促使玻璃基板与承座之间的平滑分 离，如此以避免玻璃基板损坏，并在玻璃基板上完成可高信赖的沉积制程。本 专利技术另提供一种承座的制作方法以及一种具有承座的化学气相沉积装置，而承 座适于承载玻璃基板。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案包括一种承座，适于承载一玻璃基板，所述的玻璃基板是用于制造一平面显示 器，其特征在于，所述的承座包括-一承座主体，是由一金属材料构成；一第一粗糙面，形成有一第一粗糙图案，第一粗糙面并位于所述的承座主 体的表面上；以及一第二粗糙面，形成有一第二粗糙图案，第二粗糙面并位于所述的承座主 体的所述的第一粗糙面上，所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于所述的 第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度，而负载在所述的承座上的所 述的玻璃基板实质上接触所述的第二粗糙面。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案还包括一种承座的制造方法，所述的承座用来承载一玻璃基板，且所述的玻璃基 板是用于制造一平面显示器；其特征在于，所述的方法包括准备一承座主体，而所述的承座主体是由一金属材料构成；进行一第一制程操作而在所述的承座主体的表面上形成一第一粗糙面的一 第一粗糙图案；以及进行一第二制程操作，包括在所述的承座主体的所述的第一粗糙面上形成 一第二粗糙面的一第二粗糙图案，使得负载在所述的承座上的所述的玻璃基板 实质上接触所述的第二粗糙面，且所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于 所述的第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案还包括-一种化学气相沉积装置，包括一腔体与一承座，所述的腔体可供一玻璃基 板在其内进行一沉积制程，且所述的玻璃基板是用于制造一平面显示器；所述 的承座用来在所述的沉积制程中承载所述的玻璃基板；其特征在于，所述的承座包括-一承座主体，是由一金属材料构成；一第一粗糙面，形成有一第一粗糙图案，并位于所述的承座主体的表面上;以及一第二粗糙面，形成有一第二粗糙图案，并位于所述的承座主体的所述的 第一粗糙面上，所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于所述的第一粗糙面 的所述的第一粗糙图案的宽度与深度，而负载在所述的承座上的所述的玻璃基 板实质上接触所述的第二粗糙面。与现有技术相比较，采用上述技术方案的本专利技术具有的优点在于在沉积 制程的过程中，热可有效传导至玻璃基板，并可减少电弧放电的产生以及对于 玻璃基板背面的损坏。此外，在完成沉积制程后，玻璃基板与承座可相互平稳 分离，以避免玻璃基板损坏。也即，可对玻璃基板进行高信赖度的沉积制程。附图说明图1为依据本专利技术一实施例的化学气相沉积装置的剖面图2为图1的化学气相沉积装置的爆炸图而分解为上腔室与下腔室；图3为图2中用于承载玻璃基板的承座的透视图，并将承座的上表面的部分区域放大，而此承座的上表面是经过第一次的细珠喷射表面处理；图4为此用于承载玻璃基板的承座的放大垂直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种承座，适于承载一玻璃基板，所述的玻璃基板是用于制造一平面显示器，其特征在于，所述的承座包括：　一承座主体，是由一金属材料构成；　一第一粗糙面，形成有一第一粗糙图案，所述的第一粗糙面并位于所述的承座主体的表面上；以及　一第二粗糙面，形成有一第二粗糙图案，所述的第二粗糙面并位于所述的承座主体的所述的第一粗糙面上，所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于所述的第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度，而负载在所述的承座上的所述的玻璃基板实质上接触所述的第二粗糙面。

【技术特征摘要】
KR 2007-7-24 10-2007-00738861.一种承座，适于承载一玻璃基板，所述的玻璃基板是用于制造一平面显示器，其特征在于，所述的承座包括一承座主体，是由一金属材料构成；一第一粗糙面，形成有一第一粗糙图案，所述的第一粗糙面并位于所述的承座主体的表面上；以及一第二粗糙面，形成有一第二粗糙图案，所述的第二粗糙面并位于所述的承座主体的所述的第一粗糙面上，所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于所述的第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度，而负载在所述的承座上的所述的玻璃基板实质上接触所述的第二粗糙面。2. 根据权利要求l所述的承座，其特征在于所述的第一粗糙面的所述的 第一粗糙图案与所述的第二粗糙面的所述的第二粗糙图案是以细珠喷射表面处 理而形成。3. 根据权利要求2所述的承座，其特征在于用于以细珠喷射表面处理而 形成所述的第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的细珠的直径是介于2. 54y m 12.70um之间，且用于以细珠喷射表面处理而形成所述的第二粗糙面的所述的 第二粗糙图案的细珠的直径是介于0. 0254 u m 2. 5400 y m之间。4. 根据权利要求l所述的承座，其特征在于所述的承座主体是由铝金属 构成，并在所述的第一粗糙图案与所述的第二粗糙图案上还设有电镀层。5. 根据权利要求4所述的承座，其特征在于形成在所述的第一粗糙面上 的所述的第一粗糙图案以及形成在所述的第二粗糙面上的所述的第二粗糙图案 是规则地遍布在所述的承座主体的所有表面。6. —种承座的制造方法，所述的承座用来承载一玻璃基板，且所述的玻璃 基板是用于制造一平面显示器；其特征在于，所述的方法包括准备一承座主体，而所述的承座主体是由一金属材料构成； 进行一第一制程操作而在所述的承座主体的表面上形成一第一粗糙面的一 第一粗糙图案；以及进行一第二制程操作，包括在所述的承座主体的所述的第一粗糙面上形成 一第二粗糙面的一第二粗糙图案，使得负载在所述的承座上的所述的玻璃基板 实质上接触所述的第二粗糙面，且所述的第二粗糙面的宽度与深度是相对小于所述的第一粗糙面的所述的第一粗糙图案的宽度与深度。7. 根据权利要求6所述的承座的制造方法，其特征在于所述的第一制程 操作...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲钟，李相琝，
申请(专利权)人：SFA股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]