制冷模块及芯片测试分选机制造技术

本发明专利技术涉及高低温测试技术领域，尤其涉及一种制冷模块及芯片测试分选机。该制冷模块包括蒸发器、压缩机、冷凝器、节流装置和回气降温装置；蒸发器、压缩机、冷凝器及节流装置依次围接，蒸发器输出的冷媒能够进入压缩机压缩后再进入冷凝器冷凝，冷凝器输出的冷媒能够经节流装置节流后进入蒸发器；回气降温装置能够使自蒸发器输出的冷媒降温后再进入压缩机。该芯片测试分选机包括上述制冷模块。本发明专利技术提供一种制冷模块及芯片测试分选机，以缓解现有技术中存在的芯片测试分选机的制冷模块中压缩机因回气冷媒过热而易损坏的技术问题。回气冷媒过热而易损坏的技术问题。回气冷媒过热而易损坏的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
制冷模块及芯片测试分选机


[0001]本专利技术涉及高低温测试
，尤其涉及一种制冷模块及芯片测试分选机。

技术介绍

[0002]在半导体制造和封装测试行业中，芯片测试分选机是一种对半导体器件进行测试、并基于测试结果对半导体器件进行分选的装置，芯片测试分选机能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件的性能，适用于工业、汽车、军工等要求较高的半导体器件测试。
[0003]芯片测试分选机一般包括测试模块、能够制冷的制冷模块和能够制热的制热模块，测试模块设有测试室用以测试半导体器件，且制冷模块和制热模块均作用于半导体器件，共同使半导体器件达到预期的温度。
[0004]请参见图1，图1为现有技术中芯片测试分选机的制冷模块的结构示意图，制冷模块包括压缩机1
’
、冷凝器2
’
、节流装置3
’
和蒸发器4
’
，且以上四者通过输送管分别输出/输入冷媒。压缩机1
’
从蒸发器4
’
吸入低压气态冷媒，经压缩后排出高压高温气态冷媒至冷凝器2
’
，冷媒经放热后形成高压液态冷媒，经过节流装置3
’
节流降压产生低压低温气液两相冷媒，再进入蒸发器4
’
，两相冷媒在蒸发器4
’
内经吸热后形成低压气态冷媒，再被压缩机1
’
吸入，完成整个冷媒循环。其中，蒸发器4
’
作用于半导体器件，以使冷媒能够蒸发对半导体器件吸热，从而降低了半导体器件的温度。
[0005]然而，芯片测试分选机工作时，若蒸发器4
’
的热负荷高于制冷能力，由蒸发器4
’
至压缩机1
’
的回气冷媒会过热易导致压缩机损坏。
[0006]因此，本申请针对上述问题提供一种新的制冷模块及芯片测试分选机。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种制冷模块，以缓解现有技术中存在的芯片测试分选机的制冷模块中压缩机因回气冷媒过热而易损坏的技术问题。
[0008]本专利技术的目的还在于提供一种芯片测试分选机，以进一步缓解现有技术中存在的芯片测试分选机的制冷模块中压缩机因回气冷媒过热而易损坏的技术问题。
[0009]基于上述第一目的，本专利技术提供一种制冷模块；
[0010]包括蒸发器、压缩机、冷凝器、节流装置和回气降温装置；
[0011]所述蒸发器、所述压缩机、所述冷凝器及所述节流装置依次围接，所述蒸发器输出的冷媒能够进入所述压缩机压缩后再进入所述冷凝器冷凝，所述冷凝器输出的冷媒能够经所述节流装置节流后进入所述蒸发器；
[0012]其中，所述回气降温装置能够使自所述蒸发器输出的冷媒降温后再进入所述压缩机。
[0013]进一步地，所述回气降温装置包括第一管路；
[0014]所述第一管路连接于所述节流装置的出液端与所述蒸发器的出液端之间，能够将
所述节流装置的出液端与所述蒸发器的出液端之间连通。
[0015]进一步地，所述回气降温装置还包括第一换热器；
[0016]所述第一换热器设置于所述蒸发器与所述压缩机之间，且所述第一管路连接于所述第一换热器的进液口，能够将所述节流装置的出液端与所述第一换热器的进液口之间连通。
[0017]进一步地，所述回气降温装置还包括第一通断阀，所述第一通断阀设置于所述第一管路，用于控制所述第一管路的通断。
[0018]进一步地，所述第一通断阀为电动阀。
[0019]进一步地，所述回气降温装置包括第二管路和设置于所述第二管路的节流器；
[0020]所述第二管路连接于所述冷凝器的出液端与所述蒸发器的出液端之间，能够将所述冷凝器的出液端与所述蒸发器的出液端之间连通。
[0021]进一步地，所述回气降温装置还包括第二换热器；
[0022]所述第二换热器设置于所述蒸发器与所述压缩机之间，且所述第二管路连接于所述第二换热器的进液口，能够将所述冷凝器的出液端与所述第二换热器的进液口之间连通。
[0023]进一步地，所述回气降温装置还包括第二通断阀，所述第二通断阀设置于所述第二管路，用于控制所述第二管路的通断。
[0024]进一步地，所述第二通断阀为电动阀。
[0025]采用上述技术方案，本专利技术的制冷模块具有如下有益效果：
[0026]需要说明的是，蒸发器输出低压气态冷媒，低压气态冷媒进入压缩机压缩后输出高压高温气态冷媒至冷凝器，经过冷凝器冷凝放热后形成高压液态冷媒，高压液态冷媒再经过节流装置节流降压产生低压低温气液两相冷媒，再进入蒸发器，两相冷媒在蒸发器内经吸热蒸发后形成低压气态冷媒，且低压气态冷媒由于蒸发吸热而温度升高。
[0027]该制冷模块通过回气降温装置使自蒸发器输出的高温气态回气冷媒降温后形成低温冷媒再进入压缩机，从而使进入压缩机的回气冷媒的温度降低，在一定程度上防止回气冷媒过热而损坏压缩机。
[0028]基于上述第二目的，本专利技术提供一种芯片测试分选机，芯片测试分选机包括上述制冷模块。
[0029]采用上述技术方案，本专利技术的芯片测试分选机具有如下有益效果：
[0030]通过在芯片测试分选机内设置上述制冷模块，相应的，该芯片测试分选机具有上述制冷模块的所有优势，在此不再赘述。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解的是，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0032]图1为现有技术中芯片测试分选机的制冷模块的结构示意图；
[0033]图2为本专利技术实施例提供的制冷模块的结构示意图之一；
[0034]图3为本专利技术实施例提供的制冷模块的结构示意图之二；
[0035]图4为本专利技术实施例提供的制冷模块的结构示意图之三；
[0036]图5为本专利技术实施例提供的制冷模块的结构示意图之四。
[0037]附图标记：
[0038]1’‑
压缩机；2
’‑
冷凝器；3
’‑
节流装置；4
’‑
蒸发器；
[0039]1‑
蒸发器；2
‑
压缩机；3
‑
冷凝器；4
‑
节流装置；
[0040]51
‑
第一管路；52
‑
第一换热器；53
‑
第一通断阀；54
‑
第二管路；55
‑
节流器；56
‑
第二换热器；57
‑
第二通断阀。
具体实施方式
[0041]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制冷模块，其特征在于，包括蒸发器(1)、压缩机(2)、冷凝器(3)、节流装置(4)和回气降温装置；所述蒸发器(1)、所述压缩机(2)、所述冷凝器(3)及所述节流装置(4)依次围接，所述蒸发器(1)输出的冷媒能够进入所述压缩机(2)压缩后再进入所述冷凝器(3)冷凝，所述冷凝器(3)输出的冷媒能够经所述节流装置(4)节流后进入所述蒸发器(1)；其中，所述回气降温装置能够使自所述蒸发器(1)输出的冷媒降温后再进入所述压缩机(2)。2.根据权利要求1所述的制冷模块，其特征在于，所述回气降温装置包括第一管路(51)；所述第一管路(51)连接于所述节流装置(4)的出液端与所述蒸发器(1)的出液端之间，能够将所述节流装置(4)的出液端与所述蒸发器(1)的出液端之间连通。3.根据权利要求2所述的制冷模块，其特征在于，所述回气降温装置还包括第一换热器(52)；所述第一换热器(52)设置于所述蒸发器(1)与所述压缩机(2)之间，且所述第一管路(51)连接于所述第一换热器(52)的进液口，能够将所述节流装置(4)的出液端与所述第一换热器(52)的进液口之间连通。4.根据权利要求2所述的制冷模块，其特征在于，所述回气降温装置还包括第一通断阀(53)，所述第一通断阀(53)设...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖俊华，梁欣，邱国志，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：