【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置
[0001]本技术涉及一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积炉在生产碳碳复合材料中制品的生产过程中，短链烃类气体作为沉积工艺使用的主要碳源气体，在一定的压力与温度下裂解最大化，裂解过程较复杂，裂解产生的小分子碳不断沉积，成为碳碳复合材料基体，短链烃在此过程中会发生断键重连等一系列化学反应，随之产生多种的沉积产物，其中大分子环烷烃类物质大量产生，随着其他气体产物被抽至沉积炉真空泵系统后端，随着温度降低，大分子环烷烃类物质凝结在管路系统及真空泵前端过滤网上，即为焦油，沉积过程中也产生碳黑颗粒等粉尘类物质，与焦油结合后形成混合物附着于滤网上，混合物具有一定流动性，能够顺着抽力向下流动，与泵油混合，真空泵体内部泵油主要作用是润滑、冷却、密封，若焦油过多，则真空泵无法正常工作，泵体卡死导致电机短路甚至发热着火，进而导致炉内压力失控沉积生产异常。如何在保证真空泵正常运转的前提下，防止焦油直接进入真空泵体，并能够简便的将其收集清理，提高生产效率，在工业化...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，其特征在于，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，所述底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，所述进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，所述出气圆管从下端插进所述圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定；所述进气圆管焊有圆形法兰凹凸台配合放置过滤网，与沉积炉尾气总管路端密封...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞雄俊，
申请(专利权)人：福建康碳复合材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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