一种沉积炉过滤系统装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种沉积炉过滤系统装置，其分为若干层，由若干个不同尺寸的圆柱体过滤网以套娃的形式一层一层放置在一过滤罐内，过滤罐底部为进气口，进气经每个圆柱体过滤网过滤后通过过滤罐上部设有的抽气口由真空泵抽出。本实用新型专利技术结构设计新颖，可以很好的多层次过滤碳黑，且易于清理，过滤装置受真空压力影响能够自我调整，提高效率和品质。提高效率和品质。提高效率和品质。

【技术实现步骤摘要】
一种沉积炉过滤系统装置


[0001]本技术涉及一种沉积炉过滤系统装置。

技术介绍

[0002]专利《一种气相沉积炉用三级过滤系统》(CN202061405U)，公开一种气相沉积炉用三级过滤系统，目前,此类设备是在原有真空炉的基础上改造而成,在沉积过程中,混合气体经单级过滤器过滤后,约有总量30％的粉尘进入泵腔,污染泵油,使得泵频繁发生卡滞现象，其包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵,一级过滤器的上部腔体为双层水冷结构,一级过滤器的上部腔体内设置有水冷挡板,一级过滤器的下部为锥形捕集腔,一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接,三级过滤器输出口与真空泵连接。该专利所涉及的过滤方式，对过滤器要求过高，一旦碳黑过多，任何一级过滤器堵死，直接影响整个装置，导致生产期间必须不间断的清理过滤器，浪费人力物力，并未达到有效的过滤。

技术实现思路

[0003]为解决以上现有技术存在的问题，本技术涉及一种沉积炉过滤系统装置。
[0004]本技术可通过以下技术方案予以解决：
[0005]一种沉积炉过滤系统装置，其分为若干层，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，其分为若干层，由若干个不同尺寸的圆柱体过滤网以套娃的形式一层一层放置在一过滤罐内，所述过滤罐底部为进气口，进气经每个圆柱体过滤网过滤后通过所述过滤罐上部设有的抽气口由真空泵抽出；所述圆柱体过滤网有4个，从里到外分为4层结构，依次为第一层、第二层、第三层和第四层。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述每个圆柱体过滤网的顶部和左右间隔在100
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200mm之间，底部齐平贴合在所述过滤罐底部。3.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第一、第二和第三层圆柱体过滤网顶部和底部都设置有防倾倒保护环，分别伸出对应的所述圆柱体过滤网壁50
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100mm。4.根据权利要求1所述的一种沉积炉过滤系统装置，其特征在于，所述第一层圆柱体过滤网直径尺寸250mm
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350mm，高度尺寸700mm
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800mm,顶部和侧面包裹12目数的纱网，侧面开有6道80mm*80...

【专利技术属性】
技术研发人员：阙天赋，
申请(专利权)人：福建康碳复合材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：