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本实用新型公开一种沉积炉过滤系统装置，其分为若干层，由若干个不同尺寸的圆柱体过滤网以套娃的形式一层一层放置在一过滤罐内，过滤罐底部为进气口，进气经每个圆柱体过滤网过滤后通过过滤罐上部设有的抽气口由真空泵抽出。本实用新型结构设计新颖，可以很好...
该专利属于福建康碳复合材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建康碳复合材料科技有限公司授权不得商用。

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