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本实用新型公开一种化学气相沉积炉用真空泵前端焦油收集装置，包括圆筒腔体、进气圆管、底盘、出气圆管，底盘密封固定在所述圆筒腔体下端，进气圆管从上端插进所述圆筒腔体一定长度后焊接固定，出气圆管从下端插进圆筒腔体一定长度后与底盘焊接固定。本实用新...
该专利属于福建康碳复合材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建康碳复合材料科技有限公司授权不得商用。

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