一种光电芯片企业特气供应系统技术方案

本实用新型专利技术涉及特种气体供应技术领域，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个特气瓶安装在特气房内，多个机台安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光电芯片企业特气供应系统


[0001]本技术涉及特种气体供应
，尤其涉及一种光电芯片企业特气供应系统。

技术介绍

[0002]半导体、平板显示器以及其他电子产品生产时用的气体称为电子特种特气，简称为特气。在光电芯片制造过程中，特气也广泛的参与每一个步骤。但是由于许多特种气体大都具有剧毒，易燃易爆等特性。所以整个芯片企业对特气系统要求安全稳定。所以对于芯片企业建立一条完善的特气系统对于整个公司的安全生产尤为重要。
[0003]现在的特气供应中，一般有对特气的源头和使用端进行监测，保证特气的安全使用，但特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，一般是特气泄漏到一定程度后，才发现特气的泄漏，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且特气一般是从源头供应到使用端前再进行分流，分流后的特气直接供应到使用端使用，但在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故的发生。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种光电芯片企业特气供应系统，用来解决在特气的源头和使用端发生泄露时，由于没有设置与特气泄漏关联的报警装置，导致现场的工人以及在监控中心的管理人员不能及时知道特气气体发生泄漏，导致泄漏的特气更多，造成更大的危害，且在分流处没有进行检测，导致分流处泄漏时，不容易被发现，容易导致事故发生的问题。
[0005]本技术通过以下技术手段解决上述技术问题：
[0006]一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。
[0007]进一步，所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，多个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。
[0008]进一步，所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上设置有多个支
管，每个所述支管对用连接一个机台，所述支管的输出端均设置有第二气动阀，所述第二气动阀与第二监控电脑电连接，所述机台上还设置有第二毒气检测报警装置，所述第二毒气检测报警装置与第二监控电脑导线连接。
[0009]进一步，所述特气分流柜安装在总管和支管的连接端，每个所述支管的输入端均设置有第三气动阀，所述第三气动阀均位于特气分流柜内，所述特气分流柜上设置有抽风口，所述抽风口上设置有第三毒气检测报警装置，所述第三毒气检测报警装置和第二监控电脑导线连接。
[0010]进一步，所述厂务控制端设置在远离特气房和厂房的地方，所述厂务控制端远程控制第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀。
[0011]进一步，所述特气房上设置有第一排风机，所述特气分流柜上设置有第二排风机，所述机台上设置有抽风机，所述第一排风机与第一监控电脑电连接，所述第二排风机与第二监控电脑电连接，所述抽风机与第二监控电脑电连接，所述第一排风机上连接有第二气管，所述第二排风机上连接有第三气管，所述抽风机上连接有第四气管，所述第二气管、第三气管和第四气管均连接有净化室内。
[0012]本技术的一种光电芯片企业特气供应系统，具有以下优点：
[0013]1.通过把特气瓶和使用端分开放置在不同区域，可以有效地防止特气瓶大量泄露时，对人员造成重大伤亡；
[0014]2.通过使用特气柜和特气分流柜能够将可能的泄漏点尽可能集中，降低排查检修难度；
[0015]3.通过气房内和使用车间内的自动连锁功能，能够及时的发现特气微小泄露，能将事故控制在萌芽状态，降低安全事故发生的概率及影响；
[0016]4.通过厂务端最终人为控制，可以保证在自动连锁不能解决的情况下，可以人为控制整个特气系统，防止毒气泄露失控，事态升级严重。
附图说明
[0017]图1是本技术一种光电芯片企业特气供应系统的关系结构示意图；
[0018]其中，特气房1、特气柜11、特气瓶12、第一气动阀14、第一毒气检测报警装置15、第一气管16、第一监控电脑2、第一隔间20、特气分流柜3、总管31、支管32、第三气动阀33、第二气动阀34、机台4、第二毒气检测报警装置41、第二监控电脑5、第二隔间50、第三毒气检测报警装置51、厂务控制端6。
具体实施方式
[0019]以下将结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明：
[0020]如图1所示，本技术的一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶12、多个机台4，多个特气瓶12均匀分布的安装在特气房1内，多个机台4均匀分布的安装在厂房内，监控系统监控多个特气瓶12以及多个机台4，使监控系统能够监控特气房1内多个特气瓶12情况和厂房内特气使用情况。
[0021]监控系统包括第一监控电脑2、第二监控电脑5和厂务控制端6，第一监控电脑2和第二监控电脑5均和厂务控制端6电连接，通过厂务控制端6能够监控第一监控电脑2和第二
监控电脑5，并能够切断特气瓶12供气和使用端用气。第一监控电脑2同时监控连接多个特气瓶12，第二监控电脑5同时监控连接多个机台4。特气瓶12和机台4之间设置有特气分流柜3，特气分流柜3和第二监控电脑5监控连接，通过第一监控电脑2、第二监控电脑5和厂务控制端6的相互配合，能够实现总
‑
分
‑
总的监控方式，实现对特气的全部过程监控。
[0022]第一监控电脑2安装在特气房1内，特气房1内设置有第一隔间20，第一监控电脑2安装在第一隔间20内，通过第一隔间20的设置，将第一监控电脑2与特气瓶12分开，避免特气泄漏时，污染第一隔间20。每个特气瓶12上均设置有特气柜11，特气柜11上设置有排风口，特气柜11于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置15，第一毒气检测报警装置15和第一监控电脑2导线连接，每个特气瓶12上均连接有第一气管16，第一气管16于特气柜11内安装有第一气动阀14，第一气动阀14与第一监控电脑2电连接，当特气瓶12内的特气泄漏时，第一毒气检测报警装置15检测到特气，将信号传输给第一监控电脑2，第一监控电脑2接收到第一毒气检测报警装置15的特气泄漏信号，做出连锁反应，将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电芯片企业特气供应系统，包括监控系统、多个特气瓶、多个机台，多个所述特气瓶均匀分布的安装在特气房内，多个所述机台均匀分布的安装在厂房内，其特征在于：所述监控系统监控多个特气瓶以及多个机台，所述监控系统包括第一监控电脑、第二监控电脑和厂务控制端，所述第一监控电脑和第二监控电脑均和厂务控制端电连接，所述第一监控电脑同时监控连接多个特气瓶，所述第二监控电脑同时监控连接多个机台，所述特气瓶与机台之间设置有特气分流柜，所述特气分流柜与第二监控电脑监控连接。2.根据权利要求1所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第一监控电脑安装在特气房内，所述特气房内设置有第一隔间，所述第一监控电脑安装在第一隔间内，每个所述特气瓶上均设置有特气柜，所述特气柜上设置有排风口，所述特气柜于排风口的位置设置有第一毒气检测报警装置，所述第一毒气检测报警装置和第一监控电脑导线连接，每个所述特气瓶上均连接有第一气管，所述第一气管于特气柜内安装有第一气动阀，所述第一气动阀与第一监控电脑电连接。3.根据权利要求2所述的一种光电芯片企业特气供应系统，其特征在于：所述第二监控电脑安装在厂房内，所述厂房内设置第二隔间，所述第二监控电脑安装在第二隔间内，所述第一气管于厂房内连接有总管，所述总管上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雪松，姚林松，彭鹏，黄川，
申请(专利权)人：威科赛乐微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：