带气道的机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带气道的机械手。带气道的机械手包括依次连接的本体组件、大臂组件、小臂组件及末端组件，本体组件、大臂组件、小臂组件及末端组件中均设置有气道，本体组件内的气道、大臂组件内的气道、小臂组件内的气道、末端组件内的气道依次连通。该实用新型专利技术提供一种不会产生颗粒等污染物的带气道的机械手。手。手。

【技术实现步骤摘要】
带气道的机械手


[0001]本技术涉及机械手
，尤其涉及一种带气道的机械手。

技术介绍

[0002]硅片传输分系统是光刻机的重要分系统之一，主要用于将硅片以一定精度、温度和高洁净度加载至工件台上。其中，硅片传输机械手是硅片传输分系统的重要组成部分，硅片传输机械手主要用于硅片在不同工位之间高速、高洁净度的传递。
[0003]现有技术中，硅片传输机械手主要通过气管来实现气路的连通，也就是在机械手上设置气管，而机械手在工作过程中高速运动，机械手与气管之间会产生摩擦，导致颗粒或碎屑等污染物的产生，进而导致硅片传输过程中洁净度得不到保证，影响硅片质量。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种不会产生颗粒等污染物、能保证硅片洁净度的带气道的机械手。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种带气道的机械手，包括依次连接的本体组件、大臂组件、小臂组件及末端组件，所述本体组件、所述大臂组件、所述小臂组件及所述末端组件中均设置有气道，所述本体组件内的气道、所述大臂组件中气道、所述小臂组件内的气道、所述末端组件内的气道依次连通。
[0007]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述本体组件包括第一电机，所述第一电机的电机轴为空心轴，所述空心轴作为所述本体组件内的气道；所述大臂组件转动设于所述本体组件的一端且与所述空心轴连接，所述空心轴能带动所述大臂组件转动；所述小臂组件的一端与所述大臂组件的自由端转动连接；所述末端组件转动设于所述小臂组件的自由端。
[0008]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述空心轴远离所述大臂组件的一端由所述第一电机的底端穿出，所述本体组件还包括：
[0009]进气单元，设于所述空心轴远离所述大臂组件的一端，所述进气单元包括：
[0010]进气孔，设于所述空心轴上，且贯通所述空心轴的侧壁；
[0011]进气板，套设于所述空心轴上，所述进气板的内壁与所述空心轴的外周贴合；所述进气板的内壁设置有环形气槽，所述环形气槽与所述进气孔连通；所述进气板上设置有进气口，所述进气口连通所述环形气槽与外部供气设备。
[0012]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述进气单元还包括：
[0013]第一轴承，设于所述进气板的内壁与所述空心轴之间；
[0014]第一密封圈及第二密封圈，套设于所述空心轴上，且分别设于所述环形气槽沿所述空心轴轴向的两端，以密封所述环形气槽；
[0015]第一密封压圈及第二密封压圈，分别用于压紧所述第一密封圈和所述第二密封
圈。
[0016]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述本体组件还包括：
[0017]第一电机法兰，其为筒形，其一端与所述空心轴固定连接，另一端与所述大臂组件固定连接，所述空心轴内的气道通过所述第一电机法兰与所述大臂组件的内的气道连通；
[0018]第三密封圈，设于所述第一电机法兰与所述空心轴之间；
[0019]第四密封圈，设于所述第一电机法兰与所述大臂组件之间。
[0020]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述本体组件还包括：
[0021]第二电机，位于所述第一电机与所述大臂组件之间，所述空心轴贯穿所述第二电机与所述大臂组件连接；
[0022]第二电机法兰，与所述第二电机连接，在所述第二电机的驱动下转动；所述第二电机法兰为筒状，且套设于所述第一电机法兰外围；
[0023]第一带轮，设于第二电机法兰上，在所述第二电机法兰的带动下转动，所述第一带轮用于带动所述小臂组件转动；
[0024]第二轴承，其内圈与所述大臂组件抵接，外圈与所述第一带轮抵接。
[0025]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述大臂组件包括：
[0026]大臂主体，其一端与所述第一电机法兰连接，另一端为自由端；
[0027]第一转轴，转动设于所述大臂主体的自由端，且其轴线与所述空心轴的轴线平行；所述小臂组件与所述第一转轴固定连接，所述第一转轴为空心转轴，所述第一转轴的两端分别连通所述大臂组件内的气道和所述小臂组件内的气道；
[0028]第二带轮，与所述小臂组件固定连接且设于所述第一转轴的外围，所述第二带轮与所述第一带轮通过同步带连接；
[0029]第三带轮，与所述大臂组件固定连接且设于所述第一转轴的外围，用于连接所述末端组件。
[0030]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述大臂组件还包括：
[0031]第五密封圈和第六密封圈，分别设于所述第一转轴的两端；
[0032]第一密封压板，压设于所述第五密封圈上，且与所述大臂主体抵接；
[0033]第七密封圈，设于所述第一密封压板与所述大臂主体之间。
[0034]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述大臂组件还包括：
[0035]第三轴承，其内圈与所述第一转轴抵接，外圈与所述第一密封压板抵接；
[0036]第四轴承，其内圈与所述大臂主体抵接，外圈与所述第二带轮抵接；
[0037]第五轴承，其内圈与所述第一转轴抵接，外圈与所述第三带轮抵接。
[0038]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述小臂组件包括：
[0039]小臂主体，所述小臂主体的一端与所述第一转轴及所述第二带轮连接，另一端为自由端；
[0040]第二转轴，转动设于所述小臂主体的自由端，且其轴线与所述空心轴的轴线平行；所述末端组件与所述第二转轴固定连接，所述第二转轴为空心转轴，所述第二转轴的两端分别连通所述小臂组件内的气道和所述末端组件内的气道；
[0041]第四带轮，与所述末端组件固定连接且设于所述第二转轴的外围，所述第四带轮与所述第三带轮通过同步带连接。
[0042]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述小臂组件还包括：
[0043]第八密封圈和第九密封圈，分别设于所述第二转轴的两端；
[0044]第二密封压板，压设于所述第八密封圈上，且与所述小臂主体抵接；
[0045]第十密封圈，设于所述第二密封压板与所述小臂主体之间；
[0046]第六轴承，其内圈与所述小臂主体抵接，外圈与所述第四带轮抵接。
[0047]作为上述带气道的机械手的可选方案，所述大臂主体包括大臂本体和大臂盖板，所述小臂主体包括小臂本体和小臂盖板，所述大臂本体和大臂盖板的气道连接处、所述小臂本体和所述小臂盖板的气道连接处均设置有密封圈。
[0048]本技术的有益之处在于：在本体组件、大臂组件、小臂组件及末端组件中均设置有气道，各气道依次连通，形成本技术中机械手的气道，无需像现有技术一样设置气管来过气，也就避免了气管与机械手摩擦产生颗粒等杂物，提高了洁净度。
附图说明
[0049]图1是本技术中机械手实施例的结构示意图；
[0050]图2是图1中Ⅰ部分的结构示意图；
[0051]图3是图1中Ⅱ部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带气道的机械手，其特征在于，包括依次连接的本体组件(100)、大臂组件(200)、小臂组件(300)及末端组件(400)，所述本体组件(100)、所述大臂组件(200)、所述小臂组件(300)及所述末端组件(400)中均设置有气道，所述本体组件(100)内的气道、所述大臂组件(200)内的气道、所述小臂组件(300)内的气道、所述末端组件(400)内的气道依次连通。2.根据权利要求1所述的带气道的机械手，其特征在于，所述本体组件(100)包括第一电机(102)，所述第一电机(102)的电机轴为空心轴(1021)，所述空心轴(1021)作为所述本体组件(100)内的气道；所述大臂组件(200)转动设于所述本体组件(100)的一端且与所述空心轴(1021)连接，所述空心轴(1021)能带动所述大臂组件(200)转动；所述小臂组件(300)的一端与所述大臂组件(200)的自由端转动连接；所述末端组件(400)转动设于所述小臂组件(300)的自由端。3.根据权利要求2所述的带气道的机械手，其特征在于，所述空心轴(1021)远离所述大臂组件(200)的一端由所述第一电机(102)的底端穿出，所述本体组件(100)还包括：进气单元(110)，设于所述空心轴(1021)远离所述大臂组件(200)的一端，所述进气单元(110)包括：进气孔(111)，设于所述空心轴(1021)上，且贯通所述空心轴(1021)的侧壁；进气板(112)，套设于所述空心轴(1021)上，所述进气板(112)的内壁与所述空心轴(1021)的外周贴合；所述进气板(112)的内壁设置有环形气槽(1121)，所述环形气槽(1121)与所述进气孔(111)连通；所述进气板(112)上设置有进气口(1122)，所述进气口(1122)连通所述环形气槽(1121)与外部供气设备。4.根据权利要求3所述的带气道的机械手，其特征在于，所述进气单元(110)还包括：第一轴承(113)，设于所述进气板(112)的内壁与所述空心轴(1021)之间；第一密封圈(115)及第二密封圈(116)，套设于所述空心轴(1021)上，且分别设于所述环形气槽(1121)沿所述空心轴(1021)轴向的两端，以密封所述环形气槽(1121)；第一密封压圈(117)及第二密封压圈(118)，分别用于压紧所述第一密封圈(115)和所述第二密封圈(116)。5.根据权利要求2所述的带气道的机械手，其特征在于，所述本体组件(100)还包括：第一电机法兰(121)，其为筒形，其一端与所述空心轴(1021)固定连接，另一端与所述大臂组件(200)固定连接，所述空心轴(1021)内的气道通过所述第一电机法兰(121)与所述大臂组件(200)的内的气道连通；第三密封圈(122)，设于所述第一电机法兰(121)与所述空心轴(1021)之间；第四密封圈(123)，设于所述第一电机法兰(121)与所述大臂组件(200)之间。6.根据权利要求5所述的带气道的机械手，其特征在于，所述本体组件(100)还包括：第二电机(126)，位于所述第一电机(102)与所述大臂组件(200)之间，所述空心轴(1021)贯穿所述第二电机(126)与所述大臂组件(200)连接；第二电机法兰(127)，与所述第二电机(126)连接，在所述第二电机(126)的驱动下转动；所述第二电机法兰(127)为筒状，且套设于所述第一电机法兰(121)外围；第一带轮(128)，设于第二电机法兰(127)上，在所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴芬，葛华，姜杰，周剑锋，宁诗琪，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：