一种PERC电池及其制备方法技术

技术编号:31622734 阅读:15 留言:0更新日期:2021-12-29 18:58
本申请涉及一种PERC电池及其制备方法,属于太阳能电池的制备技术领域。PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,其制备方法包括:形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm;形成的背面氮化硅层的厚度小于125nm。既可以在一定程度上改善绕镀色差的问题,又可以对背面钝化层形成较好的保护,得到性能较佳、外形美观的电池片。外形美观的电池片。外形美观的电池片。

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池及其制备方法


[0001]本申请涉及太阳能电池的制备
,且特别涉及一种PERC电池及其制备方法。

技术介绍

[0002]现有技术中,在生产完成PERC电池后,总是会出现PERC电池的正面外观具有色差的问题,其主要提现在:电池片边缘发白或发黄,与电池片中间的颜色差异较大,形成正面色差,电池片的外观异常,组件层压时会导致外观色差降级。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足,本申请实施例的目的包括提供一种PERC电池及其制备方法,以改善电池片正面色差的问题。
[0004]第一方面,本申请实施例提供了一种PERC电池的制备方法,PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,制备方法包括:形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm;形成的背面氮化硅层的厚度小于125nm。
[0005]专利技术人研究发现,现有技术中,在对PERC电池进行背面镀氮化硅层的时候,会在硅片正面的边缘造成一定的正面绕镀,然后再进行正面镀膜,最终得到的PERC电池的正面会存在绕镀色差。当背面镀膜的氮化硅层的厚度较小的时候,正面绕镀的量会减小,最终会改善正面的绕镀色差的问题。但是,如果氮化硅层的厚度过小,又可能出现不能够对钝化层进行保护的问题。
[0006]专利技术人继续研究发现,如果形成背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm,且背面氮化硅层的厚度小于125nm,既可以在一定程度上改善绕镀色差的问题,又可以对背面钝化层形成较好的保护,得到性能较佳、外形美观的电池片。
[0007]在本申请的部分实施例中,形成的背面氮化硅层的厚度为95

124nm。背面氮化硅层的厚度较薄,可以减少背面镀氮化硅层时形成的正面绕镀的量,以改善正面的绕镀色差。
[0008]在本申请的部分实施例中,形成的背面氮化硅层的折射率为2.13

2.20。背面氮化硅层折射率高、致密性高,高折射率的氮化硅膜具有高消光特性,镀膜时绕镀到正面的氮化硅膜也具有一定的消光特性,能够减少反射,可以使电池片的外观成像上让边缘变暗,整体外观成像会更加均匀,尤其组件层压后整体颜色一致,外观美观。
[0009]在本申请的部分实施例中,先将硅片置于饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层,然后将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行正面镀膜以形成正面氮化硅层;其中,石墨舟处于饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.9)
×
A1。
[0010]现有技术中,管式镀膜主要是石墨舟中进行,在镀膜过程中,石墨舟不仅起载体的作用,还作为电极的一部分,所以,在镀膜之前,会对石墨舟表面进行预处理,且预处理要求较高,通常对石墨舟进行饱和(镀氮化硅层),饱和以后,可以改善石墨舟表面状态,以避免
电池片在镀膜过程中导致EL问题。
[0011]专利技术人研究发现,石墨舟的导电性会影响镀膜时的电场强度和均匀性,镀膜时射频电源放电通过石墨舟传导至电池片,如果石墨舟处于饱和状态时进行镀膜,电池片的边缘与石墨舟的欧姆接触最好,沉积时电池片边缘的镀膜沉积速率会大于电池片中间的镀膜沉积速率,使电池片边缘的氮化硅层会更厚,从而造成电池片的绕镀色差。但是,如果在背面镀膜的时候,石墨舟不处于饱和状态,则会导致电池片的EL问题,所以,背面镀膜时石墨舟处于饱和状态,而正面镀膜时石墨舟处于欠饱和状态,其原因在于:此时,背面已经有一定氮化硅层,则石墨舟的表面要求不需要很高,处于欠饱和的状态(石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.9)
×
A1)进行正面镀膜,就能够满足石墨舟表面需求,同时,可以减小正面镀膜时电池片边缘的镀膜沉积速率与电池片中间的镀膜沉积速率之间的差异,降低了电池片边缘的氮化硅厚度,从而改善电池片正面的色差。
[0012]在本申请的部分实施例中,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.7)
×
A1。可以进一步改善正面镀膜后电池片正面的色差。
[0013]第二方面,本申请提供一种PERC电池的制备方法,将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层;其中,石墨舟处于饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.9)
×
A1;
[0014]可选地,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.7)
×
A1。
[0015]第三方面,本申请提供一种PERC电池的制备方法,PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,背面氮化硅层的折射率为2.13

2.20。
[0016]第四方面,本申请提供一种PERC电池,PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,背面电极处的背面腐蚀宽度≤60μm;背面氮化硅层的厚度小于125nm。
[0017]在本申请的部分实施例中,背面氮化硅层的厚度为95

124nm;背面氮化硅层的折射率为2.13

2.20。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本申请提供的PERC电池的结构示意图;
[0020]图2为本申请实施例1提供的PERC电池中背面电极处的背面腐蚀宽度图;
[0021]图3为本申请实施例1提供的电池片层压后的组件的外观图;
[0022]图4为本申请实施例2提供的电池片层压后的组件的外观图;
[0023]图5为本申请对比例1提供的电池片层压后的组件的外观图。
[0024]图标:110

P型硅片;120

PN结;130

正面氮化硅层;140

正面电极;150

背面钝化层;160

背面氮化硅层;170

背面电极。
具体实施方式
[0025]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0026]现有技术中,PERC电池制备完成后,电池片边缘发白或发黄,与电池片中间的颜色差异较大,形成正面色差,电池片的外观异常,组件层压时会导致外观色差降级。
[0027]本申请中,对电池片的制备工艺进行改进,以改善电池片的正面色差问题。图1为本申请提供的PERC电池的结构示意图。请参阅图1,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池的制备方法,其特征在于,PERC电池包括依次设置的背面钝化层、背面氮化硅层和背面电极,所述制备方法包括:形成所述背面电极后的背面腐蚀宽度≤60μm;形成的所述背面氮化硅层的厚度小于125nm。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,形成的所述背面氮化硅层的厚度为95

124nm。3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,形成的所述背面氮化硅层的折射率为2.13

2.20。4.根据权利要求1

3任一项所述的制备方法,其特征在于,先将硅片置于饱和的石墨舟中进行背面镀膜以形成背面氮化硅层,然后将硅片置于欠饱和的石墨舟中进行正面镀膜以形成正面氮化硅层;其中,石墨舟处于饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为A1,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.9)
×
A1。5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,石墨舟处于欠饱和状态时,石墨舟上的氮化硅镀层厚度为(0.5

0.7)
×
A1。6.一种PERC电池的制备方法,其特征在于,先...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑云龙彭彪鲁传磊朱浩
申请(专利权)人:通威太阳能安徽有限公司
类型:发明
国别省市:

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