本实用新型专利技术涉及空气过滤技术领域，尤其是一种能够去除金属离子的风机过滤装置。其包括外壳体，所述外壳体上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板，所述两个上盖板并排设置，两个上盖板上分别设置进风口，所述进风口处设置初效过滤器；两个所述初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件，初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩。本实用新型专利技术结通过设置化学过滤器，能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子，减少工艺上的不良现象；两个并排设置的风扇组件之间相互独立工作，同时处理两个通道的空气；风扇组件的平衡支架和减震套的设置能够提高风扇组件工作稳定性，避免振动对气流的影响。免振动对气流的影响。免振动对气流的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种能够去除金属离子的风机过滤装置
[0001]本技术涉及空气过滤
，尤其是一种能够去除金属离子的风机过滤装置。
技术介绍
[0002]在半导体生产环境中一般通过风机过滤空气，将空气中的颗粒物吸附在过滤器中，从而达到净化空气的效果。
[0003]现有技术中，在半导体生产环境中存在部分酸碱气体(约3ppb)，普通风机过滤设备无法对其进行有效过滤，含酸/碱气体吹入设备内会携带部分金属离子进入，造成工艺不良。
技术实现思路
[0004]本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种能够去除金属离子的风机过滤装置，能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子，减少工艺上的不良现象。
[0005]本技术所采用的技术方案如下：
[0006]一种能够去除金属离子的风机过滤装置，包括外壳体，所述外壳体上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板，所述两个上盖板并排设置，两个上盖板上分别设置进风口，所述进风口处设置初效过滤器；两个所述初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件，初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩，所述整流罩上端面通过连接件可拆卸的连接在上盖板上，整流罩下端面延伸到风扇组件，整流罩内圈设置表面光滑的导风腔；所述外壳体下端面设置出风口，出风口位置处通过连接件可拆卸的连接化学过滤器，化学过滤器下端面通过连接件可拆卸的连接高效过滤器。
[0007]进一步的，初效过滤器包括完全覆盖进风口的初效过滤器滤网，初效过滤器滤网的四个侧边位置处分别设置定位板，定位板下端面通过连接件可拆卸的连接上盖板，定位板侧端面定位接触初效过滤器滤网侧端面。
[0008]进一步的，初效过滤器滤网的三个侧边位置处分别设置压板，压板一端通过连接件可拆卸的连接在初效过滤器滤网的侧边上，压板另一端将定位板和初效过滤器滤网压紧。
[0009]进一步的，两个所述风扇组件之间设置隔板进行分隔。
[0010]进一步的，风扇组件包括下底板，下底板上固定驱动电机，驱动电机驱动端连接扇叶，下底板四角分别通过连接件可拆卸的连接平衡支架下端面，平衡支架上端面通过螺栓可拆卸的连接上盖板。
[0011]进一步的，螺栓上套装减震套，减震套上下端面分别接触上盖板和平衡支架。
[0012]进一步的，两个上盖板上分别通过连接件可拆卸的连接控制板，控制板和风扇组件电连接，控制板能够控制风扇组件的转速。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]本技术结构紧凑、合理，操作方便，通过设置化学过滤器，能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子，减少工艺上的不良现象；两个并排设置的风扇组件之间相互独立工作，同时处理两个通道的空气；风扇组件的平衡支架和减震套的设置能够提高风扇组件工作稳定性，避免振动对气流的影响。
附图说明
[0015]图1为本技术立体图。
[0016]图2为本技术去除初效过滤器滤网后立体图。
[0017]图3为本技术去除初效过滤器后立体图。
[0018]图4为本技术化学过滤器安装结构图。
[0019]图5为本技术风扇组件背面结构图。
[0020]图6为本技术风扇组件正面结构图。
[0021]其中：1、外壳体；2、上盖板；3、初效过滤器滤网；4、定位板；5、压板；6、扇叶；7、驱动电机；8、下底板；9、平衡支架；10、减震套；11、整流罩；12、隔板；13、高效过滤器；14、化学过滤器；15、控制板。
具体实施方式
[0022]下面结合附图，说明本技术的具体实施方式。
[0023]如图1所示的实施例中，主要包括外壳体1，外壳体1上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板2，两个上盖板2并排设置。两个上盖板2上分别设置进风口，进风口处设置初效过滤器。
[0024]如图1和图2所示的实施例中，初效过滤器包括完全覆盖进风口的初效过滤器滤网3，初效过滤器滤网3的四个侧边位置处分别设置定位板4，定位板4下端面通过连接件可拆卸的连接上盖板2，定位板4侧端面定位接触初效过滤器滤网3侧端面。初效过滤器滤网3的三个侧边位置处分别设置压板5，压板5一端通过连接件可拆卸的连接在初效过滤器滤网3的侧边上，压板5另一端将定位板4和初效过滤器滤网3压紧。初效过滤器滤网3能够对进入进风口的空气进行初效过滤。
[0025]如图3所示的实施例中，两个初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件，两个风扇组件之间设置隔板12进行分隔，避免相互之间的气流影响导致乱流。
[0026]如图2和图3所示的实施例中，初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩11，整流罩11上端面通过连接件可拆卸的连接在上盖板2上，整流罩11下端面延伸到风扇组件，整流罩11内圈设置表面光滑的导风腔。整流罩11能够分割气体，稳定进入的气体。
[0027]如图3所示的实施例中，风扇组件包括下底板8，下底板8上固定驱动电机7，驱动电机7驱动端连接扇叶6，下底板8四角分别通过连接件可拆卸的连接平衡支架9下端面，平衡支架9上端面通过螺栓可拆卸的连接上盖板2。螺栓上套装减震套10，减震套10上下端面分别接触上盖板2和平衡支架9。
[0028]如图1和图4所示的实施例中，外壳体1下端面设置出风口，出风口位置处通过连接件可拆卸的连接化学过滤器14，化学过滤器14能够去除携带金属离子的酸/碱气体。化学过滤器14下端面通过连接件可拆卸的连接高效过滤器13，高效过滤器13能够去除空气中的颗
粒。
[0029]如图1和图2所示的实施例中，两个上盖板2上分别通过连接件可拆卸的连接控制板15，控制板15和风扇组件电连接，控制板15能够控制风扇组件的转速，从而实现空气流速的调节。
[0030]本技术的工作原理是：在工作时，带有金属离子的酸/碱气体首先通过初效过滤器初次过滤后进入外壳体1内。两个并排设置的进风口能够同时独立处理两个通道过来的气体，初效过滤器将空气中一部分颗粒物进行过滤。过滤后的气体由风扇组件吸入导向到化学过滤器14中对金属离子进行过滤，最后再通过高效过滤器去除空气中的颗粒，最终排出的为洁净空气。
[0031]以上描述是对本技术的解释，不是对技术的限定，本技术所限定的范围参见权利要求，在本技术的保护范围之内，可以作任何形式的修改。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种能够去除金属离子的风机过滤装置，包括外壳体(1)，其特征在于：所述外壳体(1)上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板(2)，所述两个上盖板(2)并排设置，两个上盖板(2)上分别设置进风口，所述进风口处设置初效过滤器；两个所述初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件，初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩(11)，所述整流罩(11)上端面通过连接件可拆卸的连接在上盖板(2)上，整流罩(11)下端面延伸到风扇组件，整流罩(11)内圈设置表面光滑的导风腔；所述外壳体(1)下端面设置出风口，出风口位置处通过连接件可拆卸的连接化学过滤器(14)，化学过滤器(14)下端面通过连接件可拆卸的连接高效过滤器(13)。2.如权利要求1所述的一种能够去除金属离子的风机过滤装置，其特征在于：所述初效过滤器包括完全覆盖进风口的初效过滤器滤网(3)，初效过滤器滤网(3)的四个侧边位置处分别设置定位板(4)，定位板(4)下端面通过连接件可拆卸的连接上盖板(2)，定位板(4)侧端面定位接触初效过滤器滤网(3)侧端面。3.如权利要求2所述的一种能够去除金属离子的风机过滤装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：王贝易，孙涛，侯新建，
申请(专利权)人：盛奕半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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