一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置，包括底板仓、调节组件和固定组件，所述底板仓为中空腔体结构设置，所述调节组件设于底板仓内，所述固定组件设于调节组件上。本实用新型专利技术属于硅材料技术领域，具体是指一种方便根据材料的长短对材料进行固定的硅材料少数载流子寿命检测用固定装置。定的硅材料少数载流子寿命检测用固定装置。定的硅材料少数载流子寿命检测用固定装置。

【技术实现步骤摘要】
一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置


[0001]本技术属于硅材料
，具体是指一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置。

技术介绍

[0002]少数载流子寿命是半导体材料的一个重要参数，半导体材料的少数载流子寿命不仅可以表征半导体材料的质量，还可以评价器件制造过程中的质量控制，集成电路公司利用载流子寿命来表征工艺过程的金属沾污程度，并研究造成器件性能下降的原因。因此，随着集成电路工艺的发展，半导体材料和器件研制单位对载流子寿命的测量要求越来越高，硅材料是重要的半导体材料，载流子复合寿命测试仪是半导体材料和器件研究和生产中的重要工具，对管状硅材料中的载流子进行检测时，对于不同粗细的管状硅材料无法进行很好的固定，因此导致在测量的过程中，只能对硅材料进行局部的检测，无法更完整更真实地反映材料的质量，影响检测质量。

技术实现思路

[0003]为了解决上述难题，本技术提供了一种方便根据材料的长短对材料进行固定的硅材料少数载流子寿命检测用固定装置。
[0004]为了实现上述功能，本技术采取的技术方案如下：一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置，包括底板仓、调节组件和固定组件，所述底板仓为中空腔体结构设置，所述调节组件设于底板仓内，所述固定组件设于调节组件上；所述固定组件包括底座、固定板、连接环、连接杆、驱动环、连接轴、套环、固定轴、驱动杆、限位块、固定电机、螺纹杆、螺纹管和连接块，所述底座对称设于调节组件上，所述固定板为环形结构设置且设于底座上，所述连接环对称设于固定板的对立面上，所述连接杆均匀设于连接环远离固定板的侧面上，所述驱动环连接于连接杆远离固定板的一端，所述连接轴可转动均匀设于驱动环靠近固定板的侧面上，所述套环连接于连接轴，所述固定轴均匀设于固定板靠近连接环的侧面上，所述驱动杆可移动贯穿于套环铰接于固定轴，所述限位块对称设于固定板靠近连接环侧面上且设于连接环的一上方，所述固定电机设于限位块的一侧，所述螺纹杆可转动贯穿于限位块且连接于固定电机输出端，所述螺纹管可移动贯穿于螺纹杆上，所述连接块一端铰接于螺纹管另一端连接于连接块，将需要检测的管状硅材料两端放到驱动环、连接环和固定板内，启动固定电机，固定电机带动螺纹杆转动，螺纹杆驱动螺纹管向远离固定电机的方向移动，螺纹管通过连接块带着连接环逆时针转动，连接环通过连接杆带着驱动环逆时针转动，此时，驱动环通过连接轴带着套环向靠近固定轴的方向移动，使驱动杆向驱动环的中心移动，将硅材料夹在驱动环的中间，实现对材料的固定作用，方便检测仪对硅材料进行检测，使检测结果更完整更真实地反映材料的质量。
[0005]进一步地，所述调节组件包括驱动电机、固定块、双向丝杠和丝杠副，所述驱动电机设于底板仓内一端，所述固定块设于底板仓内远离驱动电机的一端，所述双向丝杠一端
连接于驱动电机输出端且另一端可转动设于固定块内，所述丝杠副可移动套接于双向丝杠上，启动驱动电机，驱动电机带着双向丝杠转动，双向丝杠带着丝杠副相向或者相背移动，丝杠副带着固定组件相向或者相背运动，以实现对不同长度硅材料的固定作用。
[0006]进一步地，所述驱动杆设有三组，方便实现运动过程的同时使测度材料受三个方向的夹持力，使材料固定的更加稳固。
[0007]本技术采取上述结构取得有益效果如下：本技术提供的一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置，通过固定电机带动螺纹杆转动，螺纹杆驱动螺纹管向远离固定电机的方向移动，螺纹管通过连接块带着连接环逆时针转动，连接环通过连接杆带着驱动环逆时针转动，此时，驱动环通过连接轴带着套环向靠近固定轴的方向移动，使驱动杆向驱动环的中心移动，将硅材料夹在驱动环的中间，实现对材料的固定作用，方便检测仪对硅材料进行检测，使检测结果更完整更真实地反映材料的质量，通过驱动电机带着双向丝杠转动，双向丝杠带着丝杠副相向或者相背移动，丝杠副带着固定组件相向或者相背运动，以实现对不同长度硅材料的固定作用，通过驱动杆设有三组，方便实现运动过程的同时使测度材料受三个方向的夹持力，使材料固定的更加稳固。
附图说明
[0008]图1为本技术一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置的整体结构示意图；
[0009]图2为本技术一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置中固定组件的结构图。
[0010]其中，1、底板仓，2、调节组件，3、固定组件，4、底座，5、固定板，6、连接环，7、连接杆，8、驱动环，9、连接轴，10、套环，11、固定轴，12、驱动杆，13、限位块，14、固定电机，15、螺纹杆，16、螺纹管，17、连接块，18、驱动电机，19、固定块，20、双向丝杠，21、丝杠副。
具体实施方式
[0011]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0012]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。以下结合附图，对本技术做进一步详细说明。
[0013]如图1
‑
2所述，本技术一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置，包括底板仓1、调节组件2和固定组件3，所述底板仓1为中空腔体结构设置，所述调节组件2设于底板仓1内，所述固定组件3设于调节组件2上；所述固定组件3包括底座4、固定板5、连接环6、连接杆7、驱动环8、连接轴9、套环10、固定轴11、驱动杆12、限位块13、固定电机14、螺纹杆15、
螺纹管16和连接块17，所述底座4对称设于调节组件2上，所述固定板5为环形结构设置且设于底座4上，所述连接环6对称设于固定板5的对立面上，所述连接杆7均匀设于连接环6远离固定板5的侧面上，所述驱动环8连接于连接杆7远离固定板5的一端，所述连接轴9可转动均匀设于驱动环8靠近固定板5的侧面上，所述套环10连接于连接轴9，所述固定轴11均匀设于固定板5靠近连接环6的侧面上，所述驱动杆12可移动贯穿于套环10铰接于固定轴11，所述限位块13对称设于固定板5靠近连接环6侧面上且设于连接环6的一上方，所述固定电机14设于限位块13的一侧，所述螺纹杆15可转动贯穿于限位块13且连接于固定电机14输出端，所述螺纹管16可移动贯穿于螺纹杆15上，所述连接块17一端铰接于螺纹管16另一端连接于连接块17。
[0014]所述调节组件2包括驱动电机18、固定块19、双向丝杠20和丝杠副21，所述驱动电机18设于底板仓1内一端，所述固定块19设于底板仓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置，其特征在于：包括底板仓、调节组件和固定组件，所述底板仓为中空腔体结构设置，所述调节组件设于底板仓内，所述固定组件设于调节组件上；所述固定组件包括底座、固定板、连接环、连接杆、驱动环、连接轴、套环、固定轴、驱动杆、限位块、固定电机、螺纹杆、螺纹管和连接块，所述底座对称设于调节组件上，所述固定板为环形结构设置且设于底座上，所述连接环对称设于固定板的对立面上，所述连接杆均匀设于连接环远离固定板的侧面上，所述驱动环连接于连接杆远离固定板的一端，所述连接轴可转动均匀设于驱动环靠近固定板的侧面上，所述套环连接于连接轴，所述固定轴均匀设于固定板靠近连接环的侧面上，所述驱动杆可移动贯穿于套环铰接于固...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄赛琴，黄福仁，陈轮兴，
申请(专利权)人：福建安特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：