一种炉盖开启阻尼调节机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶体炉技术领域，公开了一种炉盖开启阻尼调节机构，设置在升降臂与连接臂之间，包括设置在连接臂端部的连接孔、设置在升降臂端部的轴孔，连接孔内设有转轴，转轴的下端设有凸环，转轴的上端穿过轴孔，轴孔的两端与转轴之间均设有滚珠轴承，转轴的上端套设有压盖，压盖与转轴之间螺纹连接，压盖的下端面与升降臂的上端面之间设有上推力轴承，转轴的外侧位于升降臂与连接臂之间设有下推力轴承，升降臂与连接臂之间位于下推力轴承的外侧设有阻尼垫圈。本实用新型专利技术能方便的调节连接臂的转动阻力，快速将连接臂的转动阻力调节到合适的状态，从而使得炉盖能够稳定的打开并停止在合适的位置。止在合适的位置。止在合适的位置。

【技术实现步骤摘要】
一种炉盖开启阻尼调节机构


[0001]本技术涉及晶体炉
，尤其涉及一种炉盖开启阻尼调节机构。

技术介绍

[0002]晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备。主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成。将原料放入坩埚中，通过加热器对坩埚加热，原料直接气化升华后再籽晶上结晶。晶体炉的炉盖固定在连接臂上，连接臂的外端与升降臂转动连接，升降臂与升降机构连接，炉盖需要开启时，先通过升降机构将炉盖抬升，然后通过人工转动连接臂将炉盖打开，由于连接臂与升降臂之间是转动连接，转动连接处存在阻尼，如果阻尼太大，则人工打开炉盖时非常费力，如果阻尼太小，则人工打开炉盖时，由于炉盖质量较大，具有较大的惯性，从而导致炉盖无法在准确的位置停止，目前常见的晶体炉上的升降臂与连接臂之间仅通过转轴转动连接，无法调节转动阻尼，从而无法将连接臂的阻尼调节到最佳位置。

技术实现思路

[0003]本技术为了解决现有技术中晶体炉的炉盖开启存在的上述问题，提供了一种炉盖开启阻尼调节机构，该机构能方便的调节阻尼大小，从而确保方便开启炉盖并让炉盖在合适位置停止。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种炉盖开启阻尼调节机构，设置在升降臂与连接臂之间，包括设置在连接臂端部的连接孔、设置在升降臂端部的轴孔，所述连接孔内设有转轴，所述连接臂位于升降臂的下侧，所述的连接孔与轴孔同轴分布，所述转轴的下端设有凸环，所述转轴的上端穿过轴孔，所述轴孔的两端与转轴之间均设有滚珠轴承，所述转轴的上端套设有压盖，所述压盖与转轴之间螺纹连接，所述压盖的下端面与升降臂的上端面之间设有上推力轴承，所述转轴的外侧位于升降臂与连接臂之间设有下推力轴承，所述升降臂与连接臂之间位于下推力轴承的外侧设有阻尼垫圈。炉盖固定在连接臂的外端，升降臂的外端与升降机构连接，通过转动压套可以调节连接臂转动的松紧度，压盖旋紧时，推力轴承被压紧，阻尼增大，连接臂的转动阻力增大，使用者可以根据需求将阻尼调节到最佳位置；炉盖转动到合适角度后，阻尼垫圈能将削弱炉盖的惯性，使得炉盖能够准确的停止在合适的位置。
[0006]作为优选，所述转轴的上端面中心设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有锁紧螺栓。压盖调节到合适松紧度后，再将锁紧螺栓拧紧，从而将压盖完全定位，防止压盖松动而改变阻尼。
[0007]作为优选，所述压盖的下端面设有环形定位槽，所述上推力轴承位于环形定位槽内。环形定位槽用于上推力轴承的定位，确保上推力轴承与转轴同心分布。
[0008]作为优选，所述的滚珠轴承为深沟球轴承，连接孔内位于两个滚珠轴承之间的部位设有支撑套。支撑套用于滚珠轴承定位。
[0009]因此，本技术能方便的调节连接臂的转动阻力，快速将连接臂的转动阻力调节到合适的状态，从而使得炉盖能够稳定的打开并停止在合适的位置。
附图说明
[0010]图1为本技术的一种结构示意图。
[0011]图2为图1中A处局部放大示意图。
[0012]图3 为图1中B处局部放大示意图。
[0013]图中：升降臂1、轴孔10、连接臂2、连接孔20、转轴3、凸环30、滚珠轴承4、支撑套5、压盖6、环形定位槽60、上推力轴承7、下推力轴承8、阻尼垫圈9、锁紧螺栓11。
具体实施方式
[0014]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步描述：
[0015]如图1、图2和图3所示的一种炉盖开启阻尼调节机构，设置在升降臂1与连接臂2之间，包括设置在连接臂2端部的连接孔20、设置在升降臂1端部的轴孔10，连接孔20内设有转轴3，连接臂2位于升降臂的下侧，连接孔20与轴孔10同轴分布，转轴3的下端设有凸环30，转轴3的上端穿过轴孔，轴孔10的两端与转轴3之间均设有滚珠轴承4，滚珠轴承4为深沟球轴承，连接孔20内位于两个滚珠轴承之间的部位设有支撑套5；转轴3的上端套设有压盖6，压盖6与转轴之间螺纹连接，压盖6的下端面与升降臂的上端面之间设有上推力轴承7，压盖6的下端面设有环形定位槽60，上推力轴承7位于环形定位槽内，转轴3的外侧位于升降臂与连接臂之间设有下推力轴承8，升降臂1与连接臂2之间位于下推力轴承的外侧设有阻尼垫圈9；转轴3的上端面中心设有螺纹孔，螺纹孔内设有锁紧螺栓11。
[0016]结合附图，本技术的原理如下：炉盖固定在连接臂的外端，升降臂的外端与升降机构连接，通过转动压套可以调节连接臂转动的松紧度，压盖旋紧时，推力轴承被压紧，阻尼增大，连接臂的转动阻力增大，使用者可以根据需求将阻尼调节到最佳位置；炉盖转动到合适角度后，阻尼垫圈能将削弱炉盖的惯性，使得炉盖能够准确的停止在合适的位置。
[0017]以上仅为本技术的具体实施例，但本技术的技术特征并不局限于此。任何以本技术为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出的简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本技术的保护范围之中。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种炉盖开启阻尼调节机构，设置在升降臂与连接臂之间，包括设置在连接臂端部的连接孔、设置在升降臂端部的轴孔，所述连接孔内设有转轴，其特征是，所述连接臂位于升降臂的下侧，所述的连接孔与轴孔同轴分布，所述转轴的下端设有凸环，所述转轴的上端穿过轴孔，所述轴孔的两端与转轴之间均设有滚珠轴承，所述转轴的上端套设有压盖，所述压盖与转轴之间螺纹连接，所述压盖的下端面与升降臂的上端面之间设有上推力轴承，所述转轴的外侧位于升降臂与连接臂之间设有下推力轴承，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑建生，吴明森，方筱燕，邵治宇，
申请(专利权)人：合肥露笑半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：