一种手动刷洗衬底片器具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种手动刷洗衬底片器具，包括刷洗底盘，靠近刷洗底盘的边缘设置支撑固定座，所述的支撑固定座包括前后两组，前组支撑固定座上设置刷洗轴前支撑，后组支撑固定座上设置刷洗轴后支撑，刷洗轴前支撑与刷洗轴后支撑之间架置有转动刷洗轴，转动刷洗轴上设置海绵滚筒刷；海绵滚筒刷的下方设置转盘，转盘上放置陶瓷盘，转动刷洗轴的一端设置驱动其转动的驱动机构，转动刷洗轴的转动带动海绵滚筒刷紧贴陶瓷盘同步转动。是一款适用性强，操作简单的手动刷洗器具，既节约了成本，让衬底片表面颗粒物大幅减少。表面颗粒物大幅减少。表面颗粒物大幅减少。

【技术实现步骤摘要】
一种手动刷洗衬底片器具


[0001]本技术属于半导体材料衬底片加工
，具体涉及一种手动刷洗衬底片器具。

技术介绍

[0002]碳化硅衬底片单面机械抛光加工后，为了了解(碳化硅)衬底片表面划痕深度，经常会用到原子力显微镜，但原子力显微镜对被观察物体表面的洁净度有很高的要求，如果(碳化硅)衬底片表面颗粒物太多对原子力显微镜探针会造成污染[(碳化硅)衬底片抛光过程中会产生附着二氧化硅(精抛液)、氧化铝(粗抛液)的颗粒物，会造成污染]，进而出现跳针甚至探针报废风险，观察所得图像也会出现失真或侦测不出全貌的情况，另外由于(碳化硅)衬底片贴附在直径360mm的陶瓷盘上，超声波清洗机的大小深度也会相应加大，超声波对表面附着的颗粒物清洗效果不佳，所以需要对(碳化硅)衬底片除超声波清洗外增加刷洗步骤，成本较高(即经过刷洗工序再至超声波清洗)。而针对这些问题，采用自动刷洗机成本会更高。

技术实现思路

[0003]本技术目的是提供一种手动刷洗衬底片器具，解决
技术介绍
中的问题，针对自动刷洗机成本高的问题，是一款适用性强，操作简单的手动刷洗器具，既节约了成本，让衬底片表面颗粒物大幅减少。
[0004]为了实现以上目的，本技术采用的技术方案为：一种手动刷洗衬底片器具，包括刷洗底盘，靠近刷洗底盘的边缘设置支撑固定座，所述的支撑固定座包括前后两组，前组支撑固定座上设置刷洗轴前支撑，后组支撑固定座上设置刷洗轴后支撑，刷洗轴前支撑与刷洗轴后支撑之间架置有转动刷洗轴，转动刷洗轴上设置海绵滚筒刷；海绵滚筒刷的下方设置转盘，转盘上放置陶瓷盘，转动刷洗轴的一端设置驱动其转动的驱动机构，转动刷洗轴的转动带动海绵滚筒刷紧贴陶瓷盘同步转动。
[0005]进一步的，所述的转盘的上面开设供所述的陶瓷盘放置的圆槽，转盘的下面的中间部位设置圆凸体；刷洗底盘上面位于圆凸体的外侧设置支撑部，所述的支撑部的上端顶于支撑转盘下面的靠近外缘部。
[0006]再进一步的，所述的支撑部包括穿过刷洗底盘竖置的支撑连接柱头螺钉，支撑连接柱头螺钉的上部套置有转盘支撑，支撑连接柱头螺钉的顶端设置有转盘滑动凸台，所述的转盘滑动凸台的上端顶于支撑转盘的下面、转盘滑动凸台的侧面与圆凸体的侧壁相贴。
[0007]进一步的，转动刷洗轴的后端延伸至刷洗轴后支撑的外侧，所述的驱动机构包括刷洗轴的后端设置的小齿轮，刷洗轴后支撑位于转动刷洗轴的上方平行设置有销轴，销轴的后端设置大齿轮，所述的小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮的外缘设置手柄。
[0008]进一步的，支撑固定座上设置滚花螺母调节轴。
[0009]进一步的，转动刷洗轴与刷洗轴前支撑以及刷洗轴后支撑的连接端之间设置复合
衬套。
[0010]进一步的，所述的海绵滚筒刷设置于转动刷洗轴的前段，海绵滚筒刷的外周面设置凸点，海绵滚筒刷与转动刷洗轴之间设置刷洗轴套筒。
[0011]本技术的技术效果在于：本技术是一款适用性强，操作简单的手动刷洗器具，既节约了成本，让衬底片表面颗粒物大幅减少。
附图说明
[0012]图1为本技术的侧视图；
[0013]图2为本技术的主视图；
[0014]图3为本技术的刷洗底盘的结构图。
具体实施方式
[0015]参照附图，一种手动刷洗衬底片器具，包括刷洗底盘1，靠近刷洗底盘1的边缘设置支撑固定座7，所述的支撑固定座7包括前后两组，前组支撑固定座7上设置刷洗轴前支撑24，后组支撑固定座7上设置刷洗轴后支撑13，刷洗轴前支撑24与刷洗轴后支撑13之间架置有转动刷洗轴22，转动刷洗轴22上设置海绵滚筒刷20；海绵滚筒刷20的下方设置转盘5，转盘5上放置陶瓷盘26，转动刷洗轴22的一端设置驱动其转动的驱动机构，转动刷洗轴22的转动带动海绵滚筒刷20紧贴陶瓷盘26同步转动。
[0016]进一步的，支撑固定座7上设置滚花螺母调节轴25。
[0017]转动所述的滚花螺母调节轴25调节刷洗轴前支撑24、刷洗轴后支撑13的升降，使得本技术装置适配不同厚度的陶瓷盘26，以及保证转动刷洗轴22的平置。
[0018]进一步的，所述的转盘5的上面开设供所述的陶瓷盘26放置的圆槽，转盘5的下面的中间部位设置圆凸体；刷洗底盘1上面位于圆凸体的外侧设置支撑部，所述的支撑部的上端顶于支撑转盘5下面的靠近外缘部。
[0019]设置的圆槽是对陶瓷盘26的限位，设置圆凸体是对转盘5转动的限位。
[0020]再进一步的，所述的支撑部包括穿过刷洗底盘1竖置的支撑连接柱头螺钉2，支撑连接柱头螺钉2的上部套置有转盘支撑3，支撑连接柱头螺钉2的顶端设置有转盘滑动凸台4，所述的转盘滑动凸台4的上端顶于支撑转盘5的下面、转盘滑动凸台4的侧面与圆凸体的侧壁相贴。
[0021]通过调节支撑连接柱头螺钉2的升降带动转盘滑动凸台4的升降，从而带动转盘5的升降以进一步配合不同厚度的陶瓷盘26的适配，以及保证转盘5的平置。
[0022]进一步的，转动刷洗轴22的后端延伸至刷洗轴后支撑13的外侧，所述的驱动机构包括刷洗轴22的后端设置的小齿轮9，刷洗轴后支撑13位于转动刷洗轴22的上方平行设置有销轴14，销轴14的后端设置大齿轮12，所述的小齿轮9与大齿轮12啮合，大齿轮12的外缘设置手柄16。
[0023]进一步的，转动刷洗轴22与刷洗轴前支撑24以及刷洗轴后支撑13的连接端之间设置复合衬套23。
[0024]进一步的，所述的海绵滚筒刷20设置于转动刷洗轴22的前段，海绵滚筒刷20的外周面设置凸点，海绵滚筒刷20与转动刷洗轴22之间设置刷洗轴套筒21。
[0025]海绵滚筒刷20的外周面设置凸点刷洗效果更好。
[0026]本技术针对陶瓷盘26加工时只加工一个面的技术特点，采用一种衬底片单面机械抛光后表面残留物的预清洗的手动刷洗器具。也可以用于切割、双面研磨、机械抛光后(碳化硅)衬底片的预清洗。该器具，通过一个人手动操作，在设置好喷淋的清洗槽里就可以对陶瓷盘26上的(碳化硅)衬底片以及陶瓷盘26进行刷洗。该手动刷洗衬底片器具包括刷洗底盘1，刷洗底盘1上等距(环形矩阵)安装12个转盘支撑3，通过转盘支撑3上的聚四氟浮动凸点(即转盘滑动凸台4)使得转盘5可以在转盘支撑3上滑动转动，转盘5前、后两侧安装支撑固定座7，支撑固定座7安装刷洗轴前、后支撑24、13，刷洗轴前、后支撑24、13上打孔安装复合衬套23，将海绵(滚筒)刷20安装在刷洗轴套筒21上，之后将(转动)刷洗轴22两端插入刷洗轴前、后支撑24、13的复合衬套23内，刷洗轴前、后支撑24、13上的滚花螺母调节轴25调节与陶瓷盘24之间的间距，(转动)刷洗轴22后端安装一个小齿轮9，在刷洗轴后支撑24上端安装带手柄16的大齿轮12，陶瓷盘26放置转盘5上，在通过大齿轮12带动小齿轮9加速转动，从而使(转动)刷洗轴22上的刷洗海绵(即海绵滚筒刷20)转动，刷洗陶瓷盘26上的(碳化硅)衬底片。
[0027]使用时，将组合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种手动刷洗衬底片器具，其特征在于：包括刷洗底盘(1)，靠近刷洗底盘(1)的边缘设置支撑固定座(7)，所述的支撑固定座(7)包括前后两组，前组支撑固定座(7)上设置刷洗轴前支撑(24)，后组支撑固定座(7)上设置刷洗轴后支撑(13)，刷洗轴前支撑(24)与刷洗轴后支撑(13)之间架置有转动刷洗轴(22)，转动刷洗轴(22)上设置海绵滚筒刷(20)；海绵滚筒刷(20)的下方设置转盘(5)，转盘(5)上放置陶瓷盘(26)，转动刷洗轴(22)的一端设置驱动其转动的驱动机构，转动刷洗轴(22)的转动带动海绵滚筒刷(20)紧贴陶瓷盘(26)同步转动。2.根据权利要求1所述的一种手动刷洗衬底片器具，其特征在于：所述的转盘(5)的上面开设供所述的陶瓷盘(26)放置的圆槽，转盘(5)的下面的中间部位设置圆凸体；刷洗底盘(1)上面位于圆凸体的外侧设置支撑部，所述的支撑部的上端顶于支撑转盘(5)下面的靠近外缘部。3.根据权利要求2所述的一种手动刷洗衬底片器具，其特征在于：所述的支撑部包括穿过刷洗底盘(1)竖置的支撑连接柱头螺钉(2)，支撑连接柱头螺钉(2)的上部套置有转盘支撑(3)，支撑连接柱头螺钉...

【专利技术属性】
技术研发人员：马宁，吴明森，郑红贤，刘林，
申请(专利权)人：合肥露笑半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：