一种石墨舟清洗方法和设备技术

一种石墨舟清洗方法和设备，属于光伏领域。石墨舟清洗方法被用于对TOPCon电池的制备工艺中所使用的石墨舟进行清洗以去除附着于石墨舟的poly

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟清洗方法和设备


[0001]本申请涉及光伏领域，具体而言，涉及一种石墨舟清洗方法和设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池的制造工艺中，石墨舟被频繁地用以根据需要制作不同的结构和功能层。
[0003]PECVD是使用石墨舟的一个重要工序。石墨舟的质量对上述工艺的成膜效果具有重要的影响。然而，在实际使用过程中，执行PECVD工艺时，石墨舟的表面会附着上述的结构和功能层，从而对所制作的膜的质量造成不利影响。特别是在石墨舟的内表面上附着的各种膜层较多、较厚时，会严重地影响膜的质量。因此，有必要对石墨舟进行清洗，以便将上述的结构和功能层去除。
[0004]TOPCon的制造工艺中，同样需要对附着于石墨舟的表面的poly
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Si层进行清洗。然而，现有的清洗方案往往需要使用相对复杂的清洗设备和试剂。

技术实现思路

[0005]本申请示例中提出了一种石墨舟清洗方法和设备，通过使用一种结构简单、空间占用小的设备实现了对TOPCon制造过程中所使用的石墨舟的有效清洗，获得了好的poly
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Si的去除效果。
[0006]本申请是这样实现的：
[0007]在第一方面，本申请的示例提供了一种用于对TOPCon电池的制备工艺中所使用的石墨舟进行清洗以去除附着于石墨舟的poly
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Si层的石墨舟清洗方法，并且其中的石墨舟经过饱和工艺处理。
[0008]该清洗方法包括：将石墨舟浸泡于流动状态的清洗液中，清洗液包括氢氟酸。/>[0009]在本申请示例中，清洗石墨舟表面的poly
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Si层时，没有选择与poly
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Si层能够直接反应的化学试剂，而是使用氢氟酸作为清洗液的主要成分。通过使用该清洗液将石墨舟表面的氮化硅层去除，进而将附着于氮化硅层表面的poly
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Si层去除。
[0010]换言之，区别于目前通过使poly
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Si层直接参与化学反应而被腐蚀掉的方案，在本申请的示例中，选择将poly
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Si层所依赖和附着的“基层”—氮化硅层—与化学试剂反应去除(氮化硅层会从石墨舟的表面脱离)，进而使poly
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Si层失去依托的基础而从石墨舟上剥离。
[0011]本申请的上述示例方案，可以减少清洗过程中废水中的含氮量(可以显著地降低废水处理成本)。并且该清洗方式也可以避免在石墨舟表面产生残留杂质，改善清洗效果。
[0012]根据本申请的一些示例，石墨舟清洗方法包括：在石墨舟浸泡清洗液之后，转移石墨舟并浸泡于水中。
[0013]根据本申请的一些示例，在石墨舟浸泡于水中时，水处于流动状态。
[0014]可选地，上述清洗液和水的流动状态可以是通过溢流的方式实现。
[0015]根据本申请的一些示例，石墨舟清洗方法包括：
[0016]在将石墨舟从清洗液中取出之后，转移到水中之前，对石墨舟进行水喷淋。
[0017]根据本申请的一些示例，石墨舟清洗方法包括：
[0018]在将石墨舟从清洗液中取出的过程中，以及转移到水中之前，对石墨舟进行水喷淋。
[0019]根据本申请的一些示例，清洗液由水和氢氟酸按照2/10至1/2的体积比混合而成，且氢氟酸的质量浓度为49wt％。
[0020]在第二方面，本申请示例提出了一种用于实施上述的石墨舟清洗方法的石墨舟清洗设备。
[0021]该清洗设备包括酸洗槽，酸洗槽具有：
[0022]外槽，具有开放的第一槽腔；
[0023]内槽，具有被配置为容纳石墨舟且开放的第二槽腔，内槽被保持于第一槽腔内；
[0024]具有过滤器的连通管，两端分别与内槽的底部和外槽的底部连接，从而使第一槽腔和第二槽腔连通；
[0025]输送泵，连接于连通管，输送泵被配置为将第一槽腔内的清洗液泵入连通管，并经过滤器的过滤之后输入至第二槽腔内，使第二槽腔内的清洗液呈流动状态。
[0026]根据本申请的一些示例，连通管连接有单向阀，且单向阀被配置为使液体由第一槽腔单向地流入第二槽腔内。
[0027]根据本申请的一些示例，石墨舟清洗设备包括：与酸洗槽邻近布置的水洗槽，水洗槽被配置为容纳水且能够容纳石墨舟，水洗槽的底部连接有输液管，以从水洗槽的底部输入水；
[0028]或者水洗槽具有与酸洗槽相同的结构。
[0029]根据本申请的一些示例，石墨舟清洗设备包括：喷淋设备；喷淋设备的出液口朝向外槽且避开内槽。
[0030]在上述实现过程中，针对在TOPCon电池制造工艺中所使用的石墨舟的清洗问题，本申请采取了不同于现有技术的解决方案。
[0031]现有技术中，通过直接清洗的方式来去除石墨舟表面附着的poly
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Si层；本申请实施例提供的石墨舟清洗设备和方法，则是通过间接清洗的方法来去除石墨舟表面附着的poly
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Si层。
[0032]利用这样的清洗方式，可以避免对设备和试剂的特别需求，从而可以简化设备(例如兼容于现有的PERC电池工艺中所使用的清洗设备，设备改造小)，且可以降低清洗后的废水处理难度、提高清洗效果。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0034]图1为本申请示例中的石墨舟清洗方法的流程示意图；
[0035]图2为石墨舟留置于本申请示例中的酸洗槽的结构示意图；
[0036]图3示出了石墨舟与本申请示例中的另一种酸洗槽的配合的结构示意图。
[0037]图标：100
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酸洗槽；101
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内槽；102
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外槽；103
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石墨舟；104
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连通管；105
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过滤器；200
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喷淋管。
具体实施方式
[0038]TOPCon电池的制作过程中，石墨舟被使用并且因此在其表面会附着膜层。这些膜层的持续或过度存在会对制膜的效果产生明显的消极影响。
[0039]因此，有必要对石墨舟进行清洗。
[0040]目前TOPCon电池的制备过程中，都会涉及到在硅衬底上制作poly
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Si层。其中poly
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Si层可以选择通过PECVD的方式进行制作，然后通过对其进行退火，以满足TOPCon电池的钝化需要。
[0041]而如前文述及的那样，石墨舟表面的附着的膜层，如poly
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Si层会严重地影响成膜的质量。因此如何清除掉石墨舟表面的poly
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Si层就成为了一个需要慎重本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟清洗方法，用于对TOPCon电池的制备工艺中所使用的石墨舟进行清洗以去除附着于石墨舟的poly
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Si层，其中，所述石墨舟经过饱和工艺处理，其特征在于，所述清洗方法包括：将所述石墨舟浸泡于流动状态的清洗液中，所述清洗液包括氢氟酸。2.根据权利要求1所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述石墨舟清洗方法包括：在所述石墨舟浸泡清洗液之后，转移石墨舟并浸泡于水中。3.根据权利要求2所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，在石墨舟浸泡于水中时，水处于流动状态。4.根据权利要求1所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述石墨舟清洗方法包括：在将石墨舟从清洗液中取出之后，转移到水中之前，对石墨舟进行水喷淋；或者，在将石墨舟从清洗液中取出的过程中，以及转移到水中之前，对石墨舟进行水喷淋。5.根据权利要求1至3中任意一项所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述流动状态是通过溢流的方式实现。6.根据权利要求1至4中任意一项所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述清洗液由水和氢氟酸按照2/10至1/2的体积比混合而成，且氢氟酸的质量浓度为49wt％。7.一种石墨舟清洗设备，用于实施权利要求1至6中...

【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，邢国强，姚骞，吴伟梁，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：发明
国别省市：