一种新型用于半导体生产加工的单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，包括炉筒和炉盖，所述炉筒的顶端设置有炉盖，在炉筒的一侧设置有检修架，在检修架的顶端设置有接触环，在需要对单晶炉进行检修时，将检修架底端的固定横块插入承重环前端的固定槽得到内部，然后将检修架的另一端接触环固定在炉筒顶端的副室，然后通过检修架攀爬到合适的高度，然后将安全背心上的安全带的固定扣固定检修架的表面，然后开始检修，检修架的主要重量压在承重环的表面，减少检修架对单晶炉的压力，同时检修架顶端的接触环表面采用柔性橡胶，减少压力的同时提升摩擦力，相比于传统的单晶炉能够有效减少安全隐患的发生，通过检修架可以任意角度检修单晶炉。通过检修架可以任意角度检修单晶炉。通过检修架可以任意角度检修单晶炉。

【技术实现步骤摘要】
一种新型用于半导体生产加工的单晶炉


[0001]本技术属于半导体相关
，具体涉及一种新型用于半导体生产加工的单晶炉。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律，给电业描绘的前景，必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高，功能更强大，单晶体拉胚的单晶炉，单晶炉，全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如120、150等型号是由投料量决定，85炉则是指主炉筒的直径大小，单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成，单晶炉炉体(包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、籽晶提升旋转机构和坩埚提升旋转机构)由304L不锈钢制造。所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验，并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏，单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现有的技术存在以下问题：
[0004]现有的单晶炉在使用的过程中难免出些问题，需要对单晶炉进行检修维护，而传统的检修通常采用柱形结构，且大型的检修炉通常高度较高需要爬梯才能有效检修，而传统的单晶炉扶梯采用焊接的固定的安装困难，而传统的爬梯固定单晶炉容易产生得到滑落。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的单晶炉在使用的过程中难免出些问题，需要对单晶炉进行检修维护，而传统的检修通常采用柱形结构，且大型的检修炉通常高度较高需要爬梯才能有效检修，而传统的单晶炉扶梯采用焊接的固定的安装困难，而传统的爬梯固定单晶炉容易产生得到滑落问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，包括炉筒和炉盖，所述炉筒的顶端设置有炉盖，所述炉盖顶端设置有副室，所述炉盖的顶端设置有阀体，所述副室的表面设置有观察窗，所述副室的顶端设置有上传动，所述炉筒的底端设置有底座，所述底座的一侧表面设置有传输线，所述传输线的顶端设置有控制箱，所述底座的一侧设置有承重环，所述炉筒的左侧设置有检修架，所述检修架的顶端设置有接触环，所述检修架的一侧设置有扶手，所述检修架的底端设置有固定横块，所述炉筒的右侧设置有安全背心。
[0007]优选的，所述承重环的前端表面设置有固定槽，且通过固定槽与检修架的底端的固定横块连接。
[0008]优选的，所述传输线一端连接在炉筒的顶端，且另一端固定在控制箱。
[0009]优选的，所述安全背心的通过安全带连接有固定扣，且通过固定扣固定在检修架的表面。
[0010]优选的，所述接触环采用弧形半圆结构，且接触环的内侧表面包裹柔性橡胶。
[0011]优选的，所述扶手采用金属管制成，且金属管通过延长柱焊接在扶手的一侧。
[0012]优选的，所述底座采用水泥填充制成，且承重环与底座之间通过金属杆连接。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，具备以下有益效果：
[0014]本技术用于半导体生产加工的单晶炉在炉筒的底端设置有底座，在底座的外侧是表面设置有承重环，在炉筒的一侧设置有检修架，在检修架的顶端设置有接触环，在检修架的侧面固定有扶手，在需要对单晶炉进行检修时，将检修架底端的固定横块插入承重环前端的固定槽得到内部，然后将检修架的另一端接触环固定在炉筒顶端的副室，然后将安全背心穿在检修人员身上，然后通过检修架攀爬到合适的高度，然后将安全背心上的安全带的固定扣固定检修架的表面，然后开始检修，检修架的主要重量压在承重环的表面，减少检修架对单晶炉的压力，同时检修架顶端的接触环表面采用柔性橡胶，减少压力的同时提升摩擦力，保证检修架对有效固定在单晶炉的表面，相比于传统的单晶炉，新型用于半导体生产加工的单晶炉能够有效减少安全隐患的发生，通过检修架可以任意角度检修单晶炉，保证单晶炉在长期的使用过程中维修的便捷性，同时还保证检修过程中工作人员的安全性。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0016]图1为本技术提出的一种新型用于半导体生产加工的单晶炉结构示意图；
[0017]图2为本技术提出的一种新型用于半导体生产加工的单晶炉安装检修架结构示意图；
[0018]图3为本技术提出的一种新型用于半导体生产加工的单晶炉固定安全背心结构示意图；
[0019]图4为本技术提出的一种新型用于半导体生产加工的单晶炉安全背心结构示意图；
[0020]图中：1、炉筒；2、炉盖；3、阀体；4、副室；5、底座；6、承重环；7、观察窗；8、上传动；9、传输线；10、控制箱；11、检修架；12、接触环；13、扶手；14、固定横块；15、安全背心。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后
端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0025]一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，包括炉筒1和炉盖2，炉筒1的顶端设置有炉盖2，炉盖2顶端设置有副室4，炉盖2的顶端设置有阀体3，副室4的表面设置有观察窗7，副室4的顶端设置有上传动8，炉筒1的底端设置有底座5，底座5的一侧表面设置有传输线9，传输线9的顶端设置有控制箱10，底座5的一侧设置有承重环6，炉筒1的左侧设置有检修架11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，包括炉筒(1)和炉盖(2)，其特征在于：所述炉筒(1)的顶端设置有炉盖(2)，所述炉盖(2)顶端设置有副室(4)，所述炉盖(2)的顶端设置有阀体(3)，所述副室(4)的表面设置有观察窗(7)，所述副室(4)的顶端设置有上传动(8)，所述炉筒(1)的底端设置有底座(5)，所述底座(5)的一侧表面设置有传输线(9)，所述传输线(9)的顶端设置有控制箱(10)，所述底座(5)的一侧设置有承重环(6)，所述炉筒(1)的左侧设置有检修架(11)，所述检修架(11)的顶端设置有接触环(12)，所述检修架(11)的一侧设置有扶手(13)，所述检修架(11)的底端设置有固定横块(14)，所述炉筒(1)的右侧设置有安全背心(15)。2.根据权利要求1所述的一种新型用于半导体生产加工的单晶炉，其特征在于：所述承重环(6)的前端表面设置有固定槽，且通过固定槽与检修架(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张唐魁，
申请(专利权)人：世巨科技合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：