一种再生型低温泵快速排水结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种再生型低温泵快速排水结构，其包括泵壳、支架、泄压口、制冷装置、第一连接管、连通管、第二连接管、三通连接管、活性炭收集器和底座，泵壳底部与支架连接；泵壳底部与第一连接管连接；泵壳侧面与泄压口连接；泵壳远离泄压口的一侧与第二连接管连接；第一连接管侧面与制冷装置连接；第一连接管上设有压力温度计；第一连接管侧面与连通管连接；连通管上设有阀门；泵壳内部设有环形活性炭吸附板；环形活性炭吸附板与第一连接管轴心线共线。本实用新型专利技术结构简单操作简便，能够有效的去除泵体内部通过升温融化产生的液体，在保证了泵体内部干燥的同时，有效的防止管道堵塞。塞。塞。

【技术实现步骤摘要】
一种再生型低温泵快速排水结构


[0001]本技术涉及低温泵设备
，具体是指一种再生型低温泵快速排水结构。

技术介绍

[0002]低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。低温泵与真空罐配合使用，低温泵使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温泵在工作一段时间以后，冷板被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用会逐渐减弱，最后失去了吸附作用。因此企业使用低温泵时，每过一段时间就要对低温泵进行加热，除去凝结在冷板上的固体，此即所谓的“再生”。
[0003]如何“再生”对于低温泵的有效使用至关重要，一定程度上影响半导体和集成电路企业的生产效率和生产质量。低温泵最常使用的方式就是升温法，通过提高低温泵温度能够有效的使得低温泵再次进入准备工作状态，在低温泵升温过程当中，原本凝结在泵体内部的水分融化，导致锈蚀以及降低活性炭吸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种再生型低温泵快速排水结构，其特征在于，包括泵壳（1）、支架（2）、泄压口（3）、制冷装置（4）、第一连接管（5）、连通管（6）、第二连接管（9）、三通连接管（10）、活性炭收集器（11）、底座（13）、管道支架（14）、观察窗（15）、电机（16）、抽水泵（17）和排水管（19）；所述泵壳（1）底部与支架（2）连接；泵壳（1）底部与第一连接管（5）连接；泵壳（1）侧面与泄压口（3）连接；泵壳（1）远离泄压口（3）的一侧与第二连接管（9）连接；第一连接管（5）侧面与制冷装置（4）连接；第一连接管（5）上设有压力温度计（7）；第一连接管（5）侧面与连通管（6）连接；连通管（6）上设有阀门；泵壳（1）内部设有环形活性炭吸附板（8）；环形活性炭吸附板（8）与第一连接管（5）轴心线共线；所述第二连接管（9）与三通连接管（10）连接；三通连接管（10）上设有阀门；三通连接管（10）一端与活性炭收集器（11）连接；活性炭收集器（11）侧面设有清理窗（12）；三通连接管（10）底部与观察窗（15）连接；观察窗（15）内部设有透明玻璃管；观察窗（15）与管道支架（14）连接；管道支架（14）与底座（13）连接；观察窗（15）与抽水泵（17）连接；活性炭收集器（11）与抽水泵（17）连接；抽水泵（17）与电机（16）传动连接；抽水泵（17）输出端与排水管（19）连接；排水管（19）上设有排水阀门（18）。2.根据权利要求1所述的一种再...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐德怀，代昌勇，柯波，
申请(专利权)人：四川智精泰博低温设备有限公司，
类型：新型
国别省市：