基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统技术方案

本发明专利技术提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。本发明专利技术的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部（１５）、并在各层的长支撑部（１５）上承载基板（１）进行多层收纳的箱体（１１），使用具有承载所述基板（１）用的手部（２２）的机器人（２１）将基板（１）搬出搬入，包含对将要承载对象基板（１）的长支撑部（１５）的跟前侧端部（１６）或已经承载有对象基板（１）的长支撑部（１５）的跟前侧端部（１６）进行支承、扩大箱体（１１）内供手部（２２）进入或后退的空间的支承工序（Ａ），从箱体（１１）搬出对象基板（１）的搬出工序及向箱体（１１）搬入对象基板（１）的搬入工序与所述支承工序（Ａ）一起进行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统，尤其是涉及将薄型电视用玻璃基板等基板相对收纳箱搬出及/或搬入的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统。
技术介绍
在液晶显示面板和等离子显示面板(PDP)等的一般制造工序中，多个玻璃基板在收纳在箱体中的状态下在各工序间进行搬送。例如在液晶显示面板的制造工序中，玻璃基板收纳在箱体内在工序间进行搬送，在TFT(薄膜晶体管)形成工序和配线形成工序中，玻璃基板从箱体取出后放入到工序中。制造好的液晶显示面板再次收纳在箱体中，然后利用无人搬送车等向检查装置搬送。并且，从箱体内逐个地取出液晶显示面板后向检查装置供给，检查后的液晶显示面板再次收纳在箱体内。在上述制造工序中，要求具有可将玻璃基板从收纳箱(或向收纳箱)可靠地搬出及/或搬入(以下仅称为搬出搬入)的基板搬出搬入装置，一直以来进行了各种研究。例如提出有(i)采用了从左右以多层状张设金属线、在其上承载玻璃基板进行多层收纳的箱体的基板搬出搬入装置(例如参照专利文献1)；(ii)采用了将从箱体两侧向内方突出的短支撑部和从箱体里侧向跟前侧延伸的长支撑部形成为多层状、在其上承载玻璃基板进行多层收纳的箱体的基板搬出搬入装置(例如参照专利文献2)；(iii)采用了将架设在箱体左右的粱构件设置成多层状、在该粱构件上立设支撑基板的销状支承部的箱体的基板搬出搬入装置(参照专利文献3)等。其中，随着液晶电视、PDP等薄型显示器的大画面化，玻璃基板也逐渐要求大型化。玻璃基板的尺寸最近从第六代(1.5m×1.9m)向第七代(1.9m×2.2m)和第八代(2.2m×2.4m)发展，要求开发出能将这种大型玻璃基板可靠地相对收纳箱搬出搬入的基板搬出搬入装置。再者，薄型显示器随着需求增加而产量增加，由此要求开发出单位空间体积的收纳数量增加的层间距小的箱体结构、以及能相对这种箱体可靠地搬出搬入的基板搬出搬入装置。尤其是(i)中的箱体(以下称为金属线型箱体)虽然适合于减小层间距而增加单位空间体积的收纳数量，但在进行基板的搬出搬入时，需要使箱体上升、或使基板利用空气上浮，从而需要大型且复杂的设备，存在设备投资和设备的运转维持成本升高的问题。另一方面，采用了上述(ii)中的箱体(以下称为后撑型箱体)的基板搬出搬入装置与采用金属线型箱体的基板搬出搬入装置相比，其结构并不复杂，而且，与(iii)中的箱体相比具有可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的收纳数量的优点。但是，在将玻璃基板收纳在大型玻璃基板用的后撑型箱体内时，从里侧向跟前侧(搬出搬入玻璃基板的开口部侧)延伸的长支撑部的前端侧(跟前侧)会挠曲，导致玻璃基板在左右的短支撑部间以挠曲的形态进行收纳。即，所收纳的玻璃基板从箱体里侧向跟前侧向下倾斜地挠曲，而且挠曲从左右短支撑部向基板的中央变大。例如即使构成收纳第七代(1.9m×2.2m)的玻璃基板的各层的间距为75mm、从里侧向跟前侧延伸的长支撑部在宽度方向上以330mm的间隔配设的后撑型箱体，跟前侧的挠曲量也有约30mm左右。这种挠曲程度在箱体的里侧小而在跟前侧大，在其纵深方向上有所不同，因此，即使利用下述专利文献4提出的具有配合挠曲形态的手臂结构的机器人，进入到箱体内的机器人的手部及承载在其上的玻璃基板也与箱体的支撑部和已经收纳的玻璃基板进行缓冲，故很难将玻璃基板从箱体(或向收纳箱)可靠地搬出搬入。因此，在使用后撑型箱体时，减小多层结构的各层间的间距以增加单位空间体积的收纳数量存在限度，对其解决对策进行研究。专利文献1日本专利特开2005-64431号公报专利文献2日本专利特开2000-142876号公报专利文献3日本专利特开平11-35089号公报专利文献4日本专利特开2003-51525号公报
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入系统(基板搬出搬入辅助装置)。为了达成上述目的，本专利技术的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(A)一起进行。采用本专利技术，利用对长支撑部进行支承的支承工序(A)，可扩大箱体内供机器人进入或后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。本专利技术的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬出工序包含使所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并位于承载在所述受到支承的长支撑部上的对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将对象基板抬起到所述长支撑部上方的工序；以及使承载有对象基板的手部从里侧向跟前侧后退从而将对象基板取出到所述箱体外的工序。采用该专利技术，能从扩大的空间内可靠地将对象基板不与上下承载的基板和支撑部(短支撑部及长支撑部等)接触地搬出。本专利技术的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述对象基板搬出工序时的支承工序(A)中，在将对象基板取出到箱体外的工序之后、或者在将对象基板抬起的工序之后且在将对象基板取出到箱体外的工序之前解除对所述长支撑部的支承。采用该专利技术，基板搬出工序时的支承工序(A)的解除可在上述两种时间进行。其中，前者具有可使支承工序(A)进行的时间简单化的优点，后者具有可进一步扩大手部进行基板搬出时的空间的优点。本专利技术的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬入工序包含使承载有对象基板的手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并使对象基板位于长支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将对象基板承载在所述长支撑部上的工序；以及在手部位于对象基板下方的状态下使所述手部从里侧向跟前侧后退的工序。采用该专利技术，能向扩大的空间内可靠地将对象基板不与上下承载的基板和支承基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)接触地搬入。本专利技术的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述对象基板搬入工序时的支承工序(A)中，在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之前、或者在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之后且在使手部从里侧向跟前侧后退的工序之前开始对所述长支撑部进行支承。采用该专利技术，基板搬入工序时的支承工序(A)的开始可在上述两种时间进行。其中，前者可使支承工序(A)进行的时间简单化，后者可进一步扩大手部进行基板搬入时的空间。另外，可充分加大供手部后退的空间。本专利技术的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承的支承工序(B)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。采用该专利技术，由于还包含对上一层的长支撑部进行支承的支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序（Ａ），从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序（Ａ）一起进行。

【技术特征摘要】
JP 2005-7-15 2005-206671;JP 2006-2-21 2006-044226;1.一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(A)一起进行。2.如权利要求1所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬出工序包含使所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并位于承载在所述受到支承的长支撑部上的对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将对象基板抬起到所述长支撑部上方的工序；以及使承载有对象基板的手部从里侧向跟前侧后退从而将对象基板取出到所述箱体外的工序。3.如权利要求2所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述支承工序(A)中，在将对象基板取出到箱体外的工序之后、或者在将对象基板抬起的工序之后且在将对象基板取出到箱体外的工序之前解除对所述长支撑部的支承。4.如权利要求1所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬入工序包含使承载有对象基板的手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并使对象基板位于长支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将对象基板承载在所述长支撑部上的工序；以及在手部位于对象基板下方的状态下使所述手部从里侧向跟前侧后退的工序。5.如权利要求4所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述支承工序(A)中，在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之前、或者在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之后且在使手部从里侧向跟前侧后退的工序之前开始对所述长支撑部进行支承。6.如权利要求1至5中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承的支承工序(B)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。7.如权利要求1至6中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与所述下降工序一起进行。8.一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含选自下述工序中的至少一个工序对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)；对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(B)；以及将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与选自该支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行。9.一种基板搬出搬入系统，包括以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体；具有承载所述基板用的手部、用于将所述基板搬入箱体内或将所述基板从箱体内搬出的机器人；以及对所述长支撑部进行支承或使其下降的端部位置调整机构，其特征在于，所述端部位置调整机构为了扩大供所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入的空间或供所述手部从所述箱体里侧向跟前侧后退的空间，对选自承载对象基板的长支撑部、该长支撑部上一层的长支撑部及该长支撑部下一层的长支撑部中的至少一个长支撑部进行支承或使其下降。10.一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬出或搬入，其特征在于，包含对将要搬出的对象基板或已经搬入的对象基板进行支承、确保箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，所述对象基板的搬出工序或搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。11.如权利要求10所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述搬出工序包含使所述手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并位于所述对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将所述对象基板抬起到所述支撑部上方的工序；以及使承载有所述对象基板的手部从所述里侧向所述开口侧后退从而将所述对象基板取出到所述箱体外的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述箱体的所述开口侧向所述里侧进入的工序之前开始的。12.如权利要求10所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述搬入工序包含使承载有所述对象基板的手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并使所述对象基板位于所述支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将所述对象基板承载在所述支撑部上的工序；以及在手部位于所述对象基板下方的状态下使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序之前开始的。13.如权利要求10至12中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，还包含对承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的上一层的支撑部上所承载的基板进行支承的支承工序(B)，所述对象基板的搬出工序或所述对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。14.如权利要求10至13中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，还包含将承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的下一层的支撑部上所承载的基板压下的下降工序，所述对象基板的搬出工...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢泽隆之，荒川洋，小山淳之介，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]