一种半导体制备用弧面丝网印刷机制造技术

本发明专利技术涉及半导体制备技术领域，且公开了一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座，所述升降座的下方设置有刮刀，所述刮刀的滑杆段贯穿升降座的下表面，所述升降座的内部活动安装有滑块，所述滑块的一侧与刮刀的滑杆段固定连接，所述升降座腔体的内部活动安装有升降活塞。本发明专利技术通过气孔与升降活塞的设置，当升降座带动刮刀上移时，升降活塞受到大弹性件的弹力，进而下移，并将升降座腔体中的气体通过气孔挤出，从气孔排出的气体吹向接触板，进而将接触板表面粘附的浆料吹落，避免浆料凝固在接触板上，使接触板表面产生不规则凸起，进而影响浆料所受挤压力的大小，使浆料在硅片上分布不均匀，降低电路板的质量。降低电路板的质量。降低电路板的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制备用弧面丝网印刷机


[0001]本专利技术涉及半导体制备
，具体为一种半导体制备用弧面丝网印刷机。

技术介绍

[0002]集成电路板是一种利用半导体制作工艺，将若干元器件组装到单晶硅片上的集合载体，且通过布线的方式使若干元器件组成完整的电子电路，其中由于开关电路接触电流，所以就需要在开关电路上涂抹银浆导电油墨，以增加开关电路的导电性，在上述涂抹导电油墨的作业中通常使用弧面丝网印刷机来完成。
[0003]现有的弧面丝网印刷机在工作时，是在丝网一侧倒入浆料，之后丝网移动，刮刀与单晶硅片静止，使得刮刀接触丝网上的浆料，令浆料受到刮刀的挤压，进而穿过丝网上图形部分的网孔，落到单晶硅片上，以实现浆料的涂抹，之后，刮刀上移，回墨刀下移并接触丝网，使得回墨刀在丝网复位过程中，会将丝网上的浆料推回原来的位置，在上述过程中，由于刮刀接触浆料，使得部分浆料会粘附在刮刀表面，并在刮刀上移后，由于粘附的浆料量较少，进而发生凝固，使得刮刀表面产生不规则凸起，从而导致后续刮刀推动浆料时，浆料所受的挤压力不均匀，进而使浆料在硅片上的分布不均匀，最终影响电路板的质量。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提出的现有丝网印刷机在使用过程中存在的不足，本专利技术提供了一种半导体制备用弧面丝网印刷机，具备避免浆料粘附在刮刀表面、影响电路板的质量的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座，所述升降座的下方设置有刮刀，所述刮刀的滑杆段贯穿升降座的下表面，所述升降座的内部活动安装有滑块，所述滑块的一侧与刮刀的滑杆段固定连接，所述升降座腔体的内部活动安装有升降活塞，所述升降座的腔体内活动安装有大弹性件，所述大弹性件的另一端与升降活塞的下表面固定连接，所述升降活塞的活塞杆伸入刮刀滑杆段的内部，所述升降活塞的活塞杆与刮刀滑杆段的内部形成活动连接，所述刮刀的内部开设有气孔，所述气孔的一端与升降座的腔体连通，所述气孔的另一端开设在刮刀内部位于其凸块的位置，所述刮刀的内部开设有容纳槽，所述容纳槽的内部活动安装有接触板，所述刮刀的内部开设有气室，所述气室内充入有气体，所述气室内活动安装有活塞，所述接触板右侧面的中部活动安装有连接杆，所述连接杆的右端穿过刮刀的内部，所述连接杆的右端与活塞的左侧面固定连接，所述刮刀的内部开设有三岔管，所述三岔管分为主管与支管，所述主管的一端与气室连通，所述主管的另一端与升降座的腔体连通，所述主管的另一端上安装有单向阀，所述支管的一端与主管上的文丘里段连通，所述支管的另一端与外界环境连通。
[0006]优选的，所述刮刀的内部活动安装有转扇，所述转扇的扇叶伸入气孔中。
[0007]优选的，所述转扇的扇叶中固定安装有磁性件，所述磁性件的磁极为交替排列设置，所述刮刀的内部开设有振动腔，所述振动腔的腔体中活动安装有摩擦磁块，所述摩擦磁
块与磁性件为交替吸引、排斥。
[0008]优选的，所述振动腔的一侧内壁固定安装有导热壁，用以将振动腔中的热量传递出去。
[0009]优选的，所述容纳槽内部的右侧面安装有小弹性件，所述容纳槽通过小弹性件与接触板的右侧面连接。
[0010]本专利技术具备以下有益效果：1、本专利技术通过气孔与升降活塞的设置，当升降座带动刮刀上移时，升降活塞受到大弹性件的弹力，进而下移，并将升降座腔体中的气体通过气孔挤出，从气孔排出的气体吹向接触板，进而将接触板表面粘附的浆料吹落，避免浆料凝固在接触板上，使接触板表面产生不规则凸起，进而影响浆料所受挤压力的大小，使浆料在硅片上分布不均匀，降低电路板的质量。
[0011]2、本专利技术通过转扇与摩擦磁块的设置，在气体通过气孔时，会带动转扇旋转，进而使磁性件对摩擦磁块产生吸引、排斥，令摩擦磁块不断摩擦、撞击振动腔的内壁，使刮刀产生振动，通过振动，将接触板表面粘附的物料振落，从而进一步避免浆料粘附在接触板上，影响电路板的质量，同时，摩擦磁块不断与振动腔的内壁产生摩擦，进而产生热量，并通过导热壁将热量传递给升降座腔体内与通过气孔的气体，进而使得从气孔吹出的气体具有一定温度，避免常温气体加快接触板表面粘附物料的凝固。
[0012]3、本专利技术通过接触板与小弹性件的设置，在丝网带动浆料接触接触板时，该浆料对接触板的下部分位置施加阻力，使接触板发生偏转，进而将接触板对浆料施加的反向推力的一部分力转变为下压力，进而增大接触板对丝网施加力的接触面积，减小刮刀对丝网的挤压力，同时，在刮刀上移并发生振动时，通过接触板与小弹性件的配合设置，使得小弹性件带动接触板进一步振动，从而提高接触板表面浆料的脱离效果。
附图说明
[0013]图1为本专利技术结构接触板初始状态示意图；图2为本专利技术结构接触板偏转状态示意图图3为本专利技术结构转扇示意图；图4为本专利技术图3中A处结构局部放大示意图；图5为本专利技术结构三岔管示意图。
[0014]图中：1、升降座；2、刮刀；3、滑块；4、升降活塞；5、大弹性件；6、气孔；7、转扇；8、磁性件；9、振动腔；10、摩擦磁块；11、导热壁；12、容纳槽；13、小弹性件；14、接触板；15、气室；16、活塞；17、连接杆；18、三岔管；19、单向阀。
具体实施方式
[0015]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0016]请参阅图3与图5，一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座1，升降座1的下
方设置有刮刀2，刮刀2的滑杆段贯穿升降座1的下表面，升降座1内部位于刮刀2滑杆段的一侧活动安装有滑块3，滑块3的上下两侧面均通过弹簧与升降座1的内部连接，滑块3的一侧与刮刀2的滑杆段固定连接，升降座1腔体的内部活动安装有升降活塞4，升降座1的腔体内活动安装有大弹性件5，大弹性件5的另一端与升降活塞4的下表面固定连接，升降活塞4的活塞杆伸入刮刀2滑杆段的内部，升降活塞4的活塞杆与刮刀2滑杆段的内部形成活动连接，刮刀2内部位于其滑杆段的位置开设有气孔6，气孔6的一端与升降座1的腔体连通，气孔6的另一端开设在刮刀2内部位于其凸块的位置，刮刀2的内部开设有容纳槽12，容纳槽12的内部活动安装有接触板14，气孔6另一端的端口的倾斜方向与接触板14的左侧面平行，刮刀2的内部开设有气室15，气室15内充入有气体，气室15内活动安装有活塞16，接触板14右侧面的中部活动安装有连接杆17，连接杆17的右端穿过刮刀2的内部，连接杆17的右端与活塞16的左侧面固定连接，刮刀2的内部开设有三岔管18，三岔管18分为主管与支管，该主管的一端与气室15连通，主管的另一端与升降座1的腔体连通，主管的另一端上安装有单向阀19，该支管的一端与主管上的文丘里段连通，支管的另一端与外界环境连通，当升降座1带动刮刀2下移并接触丝网后，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体制备用弧面丝网印刷机，包括升降座（1），其特征在于：所述升降座（1）的下方设置有刮刀（2），所述刮刀（2）的滑杆段贯穿升降座（1）的下表面，所述升降座（1）的内部活动安装有滑块（3），所述滑块（3）的一侧与刮刀（2）的滑杆段固定连接，所述升降座（1）腔体的内部活动安装有升降活塞（4），所述升降座（1）的腔体内活动安装有大弹性件（5），所述大弹性件（5）的另一端与升降活塞（4）的下表面固定连接，所述升降活塞（4）的活塞杆伸入刮刀（2）滑杆段的内部，所述升降活塞（4）的活塞杆与刮刀（2）滑杆段的内部形成活动连接，所述刮刀（2）的内部开设有气孔（6），所述气孔（6）的一端与升降座（1）的腔体连通，所述气孔（6）的另一端开设在刮刀（2）内部位于其凸块的位置，所述刮刀（2）的内部开设有容纳槽（12），所述容纳槽（12）的内部活动安装有接触板（14），所述刮刀（2）的内部开设有气室（15），所述气室（15）内充入有气体，所述气室（15）内活动安装有活塞（16），所述接触板（14）右侧面的中部活动安装有连接杆（17），所述连接杆（17）的右端穿过刮刀（2）的内部，所述连接杆（17）的右端与活塞（16）的左侧面固定连接，所述刮刀（2）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱礼旭，
申请(专利权)人：深圳市至臻精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：