一种利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺，所述工艺包括以下步骤：将粗硒化氢产品导入微米级的筛网过滤器，以除去固体颗粒物；经过过滤的硒化氢产品分别通过装有第一混合吸附剂的第一精馏塔和装有第二混合吸附剂的第二精馏塔，并再次通入微米级筛网过滤器以进一步除去微米级固体颗粒；通过增压泵加压处理S4得到的硒化氢产品；其中所述第二混合吸附剂至少包括改性金属有机框架和活性炭。本发明专利技术所采用的改性后的MOF材料解决了普通MOF材料的孔径问题，脱硫效果显著提升；和传统吸附材料相比，改性后的MOF材料稳定性更高，使用寿命更长，该方法为吸附提纯方向提供了新的思路。的思路。的思路。

【技术实现步骤摘要】
一种利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺


[0001]本专利技术涉及提纯工艺领域，具体涉及一种利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺。

技术介绍

[0002]近年来，随着我国半导体工业的快速发展，市场对硒化氢(H2Se)需求越来越大，硒化氢不仅是制造红外光学材料硒化锌的必要原料之一，也是制造新型光伏太阳能电池的重要基础原料。此外，硒化氢还是LED和集成电路制造过程中的掺杂气体。
[0003]合成硒化氢的方法有很多，包括硒化物与水合成法、硒与石蜡或其他高沸点烃类合成法、硒化锌与酸反应合成法、Sonoda法、硒与氢气直接合成法。其中，广泛采用硒与氢气在200℃至600℃直接合成的方法得到硒化氢，该方法合成过程中，由于硒中的杂质硫同样会与氢气反应，生成少量的硫化氢气体，混在硒化氢中难以除去。
[0004]H2Se由于其化学性质和毒性，提纯相对困难，汤姆等人公开的美国专利US4797227提纯H2Se方法，除去水分和杂质。利用含铝化合物除去H2Se中的水和氧化剂，不能从H2Se中脱除硫化氢。专利号CN112142015A提供了一种利用碳纳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺，其特征在于，所述工艺包括以下步骤：S1、将粗硒化氢产品导入微米级的筛网过滤器，以除去固体颗粒物；S2、将S1中经过过滤的硒化氢产品通过装有第一混合吸附剂的第一精馏塔除去硒化氢中的杂质其他组分，所述第一混合吸附剂至少包括4A分子筛和13X分子筛，所述杂质气体组分包括水分、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳；S3、将S2中获得的硒化氢产品导入装有第二混合吸附剂的第二精馏塔，除去硫化氢；所述第二混合吸附剂至少包括改性金属有机框架和活性炭；S4、再次将S3得到的硒化氢产品通入微米级筛网过滤器以进一步除去微米级固体颗粒；S5、通过增压泵加压处理S4得到的硒化氢产品。2.根据权利要求书1所述的利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺，其特征在于，所述筛网过滤器的内部为微米级不锈钢筛网。3.根据权利要求书1所述的，利用改性金属有机框架提纯硒化氢的工艺，其特征在于，所述第一混合吸附剂中4A分子筛和13X分子筛的比例为1：1。4.根据权利要求书3所述的利用改性金属有机...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹中南，孙猛，陈琪，刘冬妮，周子兵，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：