含氟弹性体组合物和物品制造技术

提供一种含有未交联含氟弹性体和交联全氟树脂的含氟弹性体组合物。氟树脂的含氟弹性体组合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含氟弹性体组合物和物品


[0001]本专利技术涉及含氟弹性体组合物和物品。

技术介绍

[0002]在半导体制造装置、液晶制造装置中，使用了含氟弹性体的密封材料。出于提高含氟弹性体的密封材料的强度等目的，有时在用于形成密封材料的含氟弹性体组合物中混配填充剂。
[0003]例如，专利文献1中记载了一种密封材料用组合物，其是在氟系弹性体中混配5重量％～50重量％的聚四氟乙烯粉末等氟系树脂微粉而成的，该氟系弹性体以分别由氟代烯烃和全氟烷基乙烯基醚衍生的重复单元为主要成分。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第97/08239号

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]但是，需要进一步改善密封材料的耐等离子体性和耐压缩永久变形性。
[0009]本专利技术中，目的在于提供一种含氟弹性体组合物，其能够获得耐等离子体性优异、即便在苛刻条件下使用后压缩永久变形也小的物品。
[0010]另外，本专利技术中，目的在于提供一种耐等本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种含氟弹性体组合物，其含有未交联含氟弹性体和交联全氟树脂。2.如权利要求1所述的含氟弹性体组合物，其中，所述交联全氟树脂为选自由交联聚四氟乙烯、交联四氟乙烯/全氟(烷基乙烯基醚)共聚物和交联四氟乙烯/六氟丙烯共聚物组成的组中的至少一种。3.如权利要求1或2所述的含氟弹性体组合物，其中，所述交联全氟树脂为交联聚四氟乙烯。4.如权利要求1～3中任一项所述的含氟弹性体组合物，其中，所述交联全氟树脂的含量相对于所述未交联含氟弹性体100质量份为0.5质量份～100质量份。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：小西智久，野口刚，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：