压电装置和超声波换能器制造方法及图纸

压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上，并且，在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上，在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电装置和超声波换能器


[0001]本专利技术涉及压电装置和超声波换能器。

技术介绍

[0002]作为公开了压电装置的结构的现有技术文献，有美国专利技术专利申请公开第2017/0184718号说明书(专利文献1)。专利文献1所记载的压电装置包括：基板；盖，其安装于基板；基板上的超声波换能器，其具有能够驱动的膜片；以及基板上的集成电路，其能够对超声波换能器作用地结合于超声波换能器。盖包围超声波换能器和集成电路。在基板形成有音响开口部。超声波换能器以实质上覆盖音响开口部的方式固定于基板。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利技术专利申请公开第2017/0184718号说明书

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1中，例示出压电装置以200kHz这样的比较高的频率的超声波动作。超声波通过在贯通孔中共振而增幅。
[0008]然而，在上述压电装置中，当要收发例如40kHz这样的比较低的频率的超声波时，膜片部的机械振动频率也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电装置，其中，该压电装置包括：基板，其具有第1主面和位于与该第1主面相反的那一侧的第2主面，压电元件，其位于所述第1主面上；以及盖部，其位于所述第1主面上，在第1主面侧与所述压电元件分开且覆盖所述压电元件；所述压电元件包含：基部，其位于所述第1主面上，并且，在从所述第1主面的法线方向观察时具有环状的外形；以及膜片部，其在从所述法线方向观察时位于所述基部的内侧，所述基板在与所述膜片部面对的位置形成有从所述第1主面到达所述第2主面的第1贯通孔，在所述膜片部形成有贯通狭缝。2.根据权利要求1所述的压电装置，其中，通过形成有所述贯通狭缝，所述膜片部具有多个梁部，所述多个梁部各自的一端支承于所述基部。3.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中，所述盖部与所述基板利用具有液密性的接合部相互接合。4.根据权利要求1～3中任一项所述的压电装置，其中，在从所述法线方向观察时，所述膜片部与所述基部的分界位于比所述第1贯通孔靠外侧的位置。5.根据权利要求1～3中任一项所述的压电装置，其中，在从所述法线方向观察时，所述膜片部与所述基部的分界位于比所述第1贯通孔的外形靠内侧的位置，在从所述法线方向观察时，所述压电元件的外周缘位于比所述第1贯通孔靠外侧的位置。6.根据权利要求1～3中任一项所述的压电装置，其中，作为所述第1贯通孔，形成有多个第1贯通孔，在从所述法线方向观察时，在所述基板的与所述膜片部对应的区域中，所述多个第1贯通孔各自等间隔地配置为矩阵状。7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电装置，其中，该压电装置还包括在从所述法线方向观察时在所述第2主面上位于包围所述第1贯通孔的位置的环状电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅泽青司，池内伸介，黑川文弥，安达永纯，铃木胜之，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：