【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在石英灯加热器的表面上涂镀透射近红外线多层薄膜的装置，尤其涉及一种用放置在镀层装置真空腔里的电子枪和离子枪在透明石英灯加热器的表面上涂镀近红外线透射多层薄膜滤光器的装置和方法，按照本技术在透明石英灯加热器表面上形成能够透射近红外线的多层薄膜。
技术介绍
一般来说，光是一种典型的电磁波，根据波长被分为400-800nm的能被人眼所看见和感知的可见光，比可见光波长更短的紫外线，比可见光波长更长的红外线，比紫外线波长更短的x射线和γ射线，以及比红外线波长更长的微波和无线电波，如图1所示。波长越短，光能量越大。因此，短波长的光诸如紫外线，具有高能量，有着能够使染料褪色，显示出高的杀菌功率，或者被物体吸收时引起化学反应等多种作用，因此被称作“化学射线”。自然地，比紫外线波长更短的光如x射线和γ射线具有更大的能量。同时，红外线比可见光波长更长，而具有低能量，当被物体吸收时，不是引起化学反应，而是被转变成热，因此被称为“热射线”。所有的物体都辐射电磁波，与周围的环境交换能量。在热平衡状态下发出的辐射被称作“热辐射”。太阳表层温度是大约6000K，它的辐射分...
【技术保护点】
一种涂镀近红外透射多层薄膜的装置，其中该薄膜能够经受石英灯加热器表面约９００℃的高温，在该石英灯加热器的表面上，该多层薄膜用于允许透射近红外线而同时阻挡可见光，包括： 一个真空腔，用于在高温４００℃下，在位于该真空腔中的温控石英灯加热器上执行真空涂镀近红外透射多层薄膜； 一个高真空泵，通过在真空腔一侧形成的空气排气管制造真空腔的高真空状态； 一个低真空泵，通过在真空腔另一侧形成的空气排气管制造真空腔的低真空状态； 真空阀，用于连接真空腔和高真空泵、真空腔和低真空泵、以及高真空泵和低真空泵，并控制它们之间的空气流动； 一个旋转和绕转支架，其中该支...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2004-12-21 10-2004-01092491.一种涂镀近红外透射多层薄膜的装置，其中该薄膜能够经受石英灯加热器表面约900℃的高温，在该石英灯加热器的表面上，该多层薄膜用于允许透射近红外线而同时阻挡可见光，包括一个真空腔，用于在高温400℃下，在位于该真空腔中的温控石英灯加热器上执行真空涂镀近红外透射多层薄膜；一个高真空泵，通过在真空腔一侧形成的空气排气管制造真空腔的高真空状态；一个低真空泵，通过在真空腔另一侧形成的空气排气管制造真空腔的低真空状态；真空阀，用于连接真空腔和高真空泵、真空腔和低真空泵、以及高真空泵和低真空泵，并控制它们之间的空气流动；一个旋转和绕转支架，其中该支架随设置在其上面的石英灯加热器一起放置在真空腔里，能形成以各种径向对称形状，包括圆形或球形，旋转和绕转石英灯加热器以使涂镀材料涂镀在该石英灯加热器的全部表面上，以一致的折射率和厚度形成近红外透射薄膜；一个电子枪，放置在真空腔里用于熔化涂镀材料使其蒸发和涂镀在石英灯加热器的表面上；一个离子枪，放置在真空腔里，向涂镀在石英灯加热器的表面上的薄膜辐射离子束，以轰击该薄膜，这样增加了薄膜的封装密度；一个薄膜厚度监测仪，放置在真空腔里，监测涂镀在石英灯加热器表面上的薄膜厚度；一个薄膜涂镀控制器，用于控制涂镀需求，包括电子枪的电源，装载涂镀材料到电子枪的容器中，以根据预先输入的涂镀相关数据涂镀近红外透射多层薄膜，并同时监测上述薄膜厚度监测仪提供的薄膜涂镀状态；以及一个主控制器，用于根据预先输入的信息和一套程序顺序地操作涂镀单元，包括真空泵，真空阀，旋转和绕转支架，电子枪，离子枪，以及薄膜涂镀控制，或停止其操作，以自动控制近红外透射多层薄膜的涂镀。2.如权利要求1所述的装置，其中，所述真空腔是垂直的圆柱形，所述的旋转和绕转支架是拱形，并放置在垂直的圆柱形的真空腔的上部，以旋转和绕转石英灯加热器，该石英灯加热器安装在该拱形的旋转和绕转支架上，当涂镀多层薄膜在其表面时通过旋转和绕转支架的作用旋转和绕转，以及所述电子枪和离子枪放置在真空腔的下端部分。3.如权利要求1所述的装置，其中，所述真空腔是水平的圆柱形状，所述旋转和绕转支架放置在水平圆柱真空腔里，以旋转和绕转石英灯加...
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