准分子灯制造技术

提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种准分子灯，在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的由电介质构成的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：远藤真一，竹添法隆，川口真孝，菱沼宣是，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]