一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，其中，过滤装置设置在排液管之间，所述过滤装置包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；所述过滤网放置在所述过滤容器内，所述液位感应器设置在所述过滤容器侧壁外侧，且位于所述过滤网与所述进液口之间。本发明专利技术提供的用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，能够避免污液中的固体碎屑在排液管中发生堆积堵塞，减少了设备发生宕机的风险。险。险。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆背部减薄领域，尤其涉及一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管。

技术介绍

[0002]晶圆背面减薄设备是BSI工艺最重要的环节之一，目前的晶圆背面减薄设备使用的排液管在拐角处未使用任何过滤装置，只是简单的一根排液管接到厂务段主排液管之中，由于晶圆背部减薄的厚度较大，所以在机台内部容易产生大量的晶渣以及含硅污液，晶渣和含硅污液通过排液管排出。参见附图1，附图1为现有技术中排液管拐角处结构示意图，从图中可以明显看出，由于废液中固体废物较多，废液排出时，固体随着废液排出并在排液管的弯折拐角处堆积造成堵塞。如果排液管不加以改进，废液中的固体废物造成的堵塞容易影响机台的运行时间，造成宕机问题。
[0003]因此，如何提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；其中，所述进液口高于所述排液口设置；所述过滤网放置在所述过滤容器内，且所述过滤网位于所述进液口和所述排液口之间；所述进液口连接用于排出未经过滤废液的第一排液管，所述排液口连接用于接收过滤后废液的第二排液管；所述过滤容器径向截面宽度大于所述第一排液管和/或所述第二排液管径向截面宽度；所述液位感应器设置在所述过滤容器侧壁外侧，且位于所述过滤网与所述进液口之间。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述进液口位于所述过滤容器侧壁，所述排液口位于所述过滤容器底部。3.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述过滤容器的顶部密封。4.如权利要求1所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，所述过滤容器的壳体为双层空心结构。5.如权利要求4所述的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，其特征在于，还包括漏液感应器...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐波，谈仁翌，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：