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本发明提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，其中，过滤装置设置在排液管之间，所述过滤装置包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；所述过滤网放置在所述过滤容器内，所述液位感应器设置在所述过滤容器...
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