一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置，包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路；还公开了其取样方法，通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通，利用真空发生器将样品气作为引射介质形成负压区，将耐高压储气瓶内的空气吸走从第四管路排出，形成较低的真空度，实现抽真空置换过程；通过三通阀的切换使得第四管路与第三管路相通，实现进气采样过程；将取样装置第一管路与分析仪器连接，打开微量调节阀调节进样完成分析过程。本发明专利技术只需一次真空置换即可完成采样，提高了分析效率，瓶内真空度量化，提高了平行采样的一致性，抽真空过程无需电耗，适合无电野外环境等，扩大了适用范围。扩大了适用范围。扩大了适用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯及超纯气体高保真取样装置和方法


[0001]本专利技术属于高纯、超纯气体采样分析领域，特别是涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置及其取样方法。

技术介绍

[0002]在大规模集成电路、多晶硅、新型电光源、半导体、电子以及光纤通讯等应用领域，都需要大量高纯、超纯气体，以制造出性能可靠的各种器件。由于高纯、超纯气体中的杂质含量低至10
‑6至10
‑9，为了准确测量痕量杂质含量，对测定中使用的检测方法、分析测试仪器性能、取样工具与方法也提出了更高的要求。取样工具与方法是获取准确分析结果的先决条件，是保证生产过程产品质量的关键环节。因此，研制无污染的直接取样装置，是完成痕量分析的关键技术，避免取样时大气中O2、H2O、烃类等永久性气体污染取样系统，造成错误的分析结果。
[0003]目前使用的取样装置有取样袋、取样钢瓶以及自动取样器等，但是气体取样袋或者取样瓶中采集的样气是袋内或钢瓶中空气与样品气的混合气，样品气的纯度受空气含量的影响，这会对超高纯气体痕量分析造成极大误差；因此取样的关键是用样品气将取样装置中的空气进行完本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于：包括耐高压储气瓶（1）以及分别连接在耐高压储气瓶（1）出口端和入口端的第一管路（11）和第二管路（12），还包括具有吸入室（25）的真空发生器（2），所述的第一管路（11）连接气体分析仪，第一管路（11）上分别设置有第二微量调节阀（5）以及压力表（6），所述的第二管路（12）上设置有第一微量调节阀（4），第二管路（12）与真空发生器（2）的引射空气入口（22）相连，第一微量调节阀（4）与耐高压储气瓶（1）之间的第二管路（12）上引出第三管路（13），真空发生器（2）的混合气体出口（23）连接第四管路（14），第四管路（14）上设置有三通阀（3），第三管路（13）连接三通阀（3）第一端，三通阀（3）第二端与真空发生器（2）的混合气体出口（23）连接， 三通阀（3）与大气相通，所述的样品气入口（21）处设置有拉瓦尔喷嘴（24）。2.根据权利要求1所述的一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于，所述的耐高压储气瓶（1）工作压力≥20MPa，采用不锈钢材质。3.根据权利要求1所述的一种高纯及超纯气体高保真取样装置，其特征在于，所述的第一微量调节阀（4）、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：程冰冰，程臣，周红艳，徐春波，李磊，
申请(专利权)人：武汉船用电力推进装置研究所中国船舶重工集团公司第七一二研究所，
类型：发明
国别省市：