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本发明涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置，包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路；还公开了其取样方法，通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通，利用真空发生器将样品气作为引射介质形...该专利属于武汉船用电力推进装置研究所（中国船舶重工集团公司第七一二研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过武汉船用电力推进装置研究所（中国船舶重工集团公司第七一二研究所）授权不得商用。