【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术属于电弧蒸发器领域，更具体而言，本专利技术属于这样的电弧器领域此类电弧蒸发器带有电弧磁性引导系统。
技术介绍
电弧蒸发器是用于对导电材料进行蒸发的机器，该机器使得所述 材料能移动穿过一种腔室(在该腔室内通常建立了真空状态或非常低 的压力状态)，以便于将该材料沉积在要被镀覆的部件的表面上。换言 之，这种类型的机器被用于对部件和表面进行镀覆。除了所述的腔室本身之外，电弧蒸发器通常包括至少一个阳极和 至少一个阴极，在阴极与阳极之间建立起电弧。该电弧(在通常情况 下，在施加22V电压的条件下，该电弧的电流可达到80A)冲击到阴 极的某个位置点(被称为阴极点)上，使得阴极材料在所述位置点处 发生蒸发。因而，阴极是用要被用来进行镀覆的材料制成的，其通常 为所述材料板件的形式(例如为盘体的形式)。为了维持电弧和/或有 助于建立电弧，通常向腔室中引入少量的气体。电弧使得材料在阴极 的内表面处(即位于阴极与腔室内部相接触的表面上)发生蒸发，位 置对应着电弧对该表面进行沖击的位置点。该内表面可与要被镀覆的 部件或表面相对，从而将由电弧蒸发出的材料淀积到所述部件或表面 上...
【技术保护点】
一种阴极蒸发器，其包括：蒸发室（２），其被用于容纳着要被进行镀覆的部件或表面（１）；阴极组件，其包括阴极元件（３）；以及阳极（４）， 阴极组件及阳极的结构和位置被设置成这样：使得阴极元件（３）与阳极（４）之间可建立起电弧，以使得阴极元件（３）至少部分地蒸发， 阴极组件还包括磁性引导系统，用于对阴极元件（３）上的电弧进行引导， 所述磁性引导系统包括：磁性装置，其包括中央磁极（１４）和外周磁极（１２）；以及至少第一磁场发生器和第二磁场发生器，它们被用于产生各自的磁场分量，两磁场分量有助于形成对应于阴极元件（３）的总磁场，至少所述的第一磁场发生器至少包括第一线圈（１３），其围绕着...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种阴极蒸发器，其包括蒸发室(2)，其被用于容纳着要被进行镀覆的部件或表面(1)；阴极组件，其包括阴极元件(3)；以及阳极(4)，阴极组件及阳极的结构和位置被设置成这样使得阴极元件(3)与阳极(4)之间可建立起电弧，以使得阴极元件(3)至少部分地蒸发，阴极组件还包括磁性引导系统，用于对阴极元件(3)上的电弧进行引导，所述磁性引导系统包括磁性装置，其包括中央磁极(14)和外周磁极(12)；以及至少第一磁场发生器和第二磁场发生器，它们被用于产生各自的磁场分量，两磁场分量有助于形成对应于阴极元件(3)的总磁场，至少所述的第一磁场发生器至少包括第一线圈(13)，其围绕着磁性装置的至少一个部分(14b)进行布置，并被用于在所述磁场装置中产生对应的磁场分量，从而，通过改变流经所述第一线圈(13)的电流，可改变对应于所述阴极元件(3)的所述总磁场，外周磁极(12)的端面(12a)被设计成这样使得第一磁场发生器与第二磁场发生器产生的对应于所述端面(12a)的磁场的强度大于对应于磁性装置邻近表面的磁场；其特征在于所述端面(12a)与阴极元件(3)之间的距离(A)至少为20mm。2. 根据权利要求1所述的阴极蒸发器，其特征在于所述距离(A) 至少为30mm。3. 根据权利要求2所述的阴极蒸发器，其特征在于所述距离(A ) 至少为40mm。4. 根据权利要求3所述的阴极蒸发器，其特征在于所述距离(A ) 大于40mm,小于150mm。5. 根据权利要求4所述的阴极蒸发器，其特征在于所述距离(A ) 大于40mm，小于75mm。6. 根据上述权利要求之一所迷的阴极蒸发器，其特征在于在与 阴极元件(3)最外侧平面垂直的第一方向上，所述端面(12a)与阴 极元件(3)最外侧平面之间间隔至少为10mm的距离(B)。7. 根据上述权利要求之一所述的阴极蒸发器，其特征在于在与 所述阴极元件(3)总体延伸方向平行的方向上，所述端面(12a)与 阴极元件(3)分离至少10mm的距离(C)。8. 根据上述权利要求之一所述的阴极蒸发器，其特征在于磁性 装置包括支撑件(15)，其具有所述的外周磁极(12)和所述中央磁极(14)，所述支撑件具有基部(15a)，构成了所述中央磁极(14)的中 央凸起(14b)从该基部延伸。9. 根据权利要求8所述的阴极蒸发器，其特征在于支撑件还具 有外周延伸部(12b),其从基部(15a )延伸出，且延伸方向基本上平 行于中央凸起(14b),所述外周延伸部(12b)构成了外周磁极(12)。10. 根据权利要求8或9所述的阴极蒸发器，其特征在于所述 的至少一个线圏(13)围绕着所述中央凸起(14b)。11. 根据权利要求10所述的阴...
【专利技术属性】
技术研发人员：J戈伊科特克萨拉里纳加，
申请(专利权)人：特克尼克基金会，
类型：发明
国别省市：ES[西班牙]
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