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本发明涉及一种阴极蒸发器，其包括蒸发室（２）、阴极元件（３）、阳极（４）、以及用于对阴极元件（３）上电弧进行引导的磁性引导系统。磁性引导系统包括中央磁极（１４）和带有端面（１２ａ）的外周磁极（１２）。所述端面（１２ａ）与阴极元件（３）之间的...
该专利属于特克尼克基金会所有，仅供学习研究参考，未经过特克尼克基金会授权不得商用。

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