真空干燥系统技术方案

本申请公开了真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。本实用新型专利技术具有如下有益效果：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。膜不均匀现象。膜不均匀现象。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥系统


[0001]本技术涉及显示面板和半导体器件等领域，尤其涉及一种真空干燥系统。

技术介绍

[0002]在有机材料发光器件制备的制程工艺中，喷墨打印在材料利用率、高分辨率打印和墨滴控制方面，展现了稳定的性能改善，经过长期地研究和开发后，在OLED面板领域获得了大规模的制造应用。由于打印后的膜层固化过程十分复杂，实际在利用喷墨打印制作优质薄膜的过程中，在薄膜表面常会出现“咖啡环”效应，导致成膜不均匀，从而削弱了功能器件的性能，为了避免薄膜表面出现“咖啡环”效应，需要使得打印后的面板在真空的环境下干燥。

技术实现思路

[0003]本技术针对上述问题，提出了一种真空干燥系统。
[0004]本技术采取的技术方案如下：
[0005]一种真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。
[0006]本系统中，利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥系统，其特征在于，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。2.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述箱子内设置有冷凝板以及升降台，所述冷凝板与升降台均位于腔室内。3.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，所述升降台包括升降机构以及载台，所述载台固定在所述升降机构上。4.如权利要求2所述的真空干燥系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海洲，林彬，
申请(专利权)人：布劳恩惰性气体系统上海有限公司，
类型：新型
国别省市：