支撑光学元件制造技术

本发明专利技术关于一种特别用于使用极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻成像装置的布置，其包含固持装置(110)，用于固持固持光学元件(109)，其中该光学元件(109)包含光学表面(109.1)并限定主延伸平面，其中该光学元件(109)限定径向方向和圆周方向。固持装置(110)包含基座单元(110.1)和三个以上分开的固持单元(110.2)，其中该基座单元(110.1)包含多个支撑界面单元(110.3)，其在该圆周方向上彼此间隔开，用于将固持装置(110)连接到支撑结构(102.1)。固持单元(110.2)连接到基座单元(110.1)，并以沿着圆周方向分布且彼此间隔开的方式配置。固持单元(110.2)构成相对于基座单元(110.1)固持光学元件(109)。基座单元包含至少一个支撑薄膜元件(110.4)，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)主要沿着圆周方向且沿着径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4)具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸。固持单元(110.2)配置在面向光学元件(109)的至少一个支撑薄膜元件(110.4)的前侧上。上。上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】支撑光学元件
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请案根据35 U.S.C.
§
119主张于2019年5月10日所申请的第102019 112 224.4号德国专利申请的优先权，其全部内容通过引用并入本文供参考。


[0003]本专利技术关于一种用于适用于利用UV成像光、特别是极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻的光学布置。此外，本专利技术关于一种包含此布置的光学成像装置。本专利技术可搭配任何所需光学成像方法使用。特别是可具优势地用于微电子电路以及用于该目的(例如光学掩模)的光学部件的生产或检测。

技术介绍

[0004]搭配微电子电路的生产使用的光学装置通常包含多个光学元件单元，其包含一个或多个光学元件，例如配置在成像光路中的透镜元件、反射镜、或光栅。前述光学元件通常在成像过程中相配合，以将物体(例如形成在掩模上的图案)的像转印到基板(例如所谓的晶片)上。光学元件通常组合在若适当则固持在分开成像单元中的一个或多个功能群组中。特别是在以所谓的真空紫外光(Vacuum ultraviolet，VUV)范围内的波长(例如在193nm的波长下)操作的主要折射系统的情况下，此成像单元经常由固持一个或多个光学元件的光学模组的堆叠形成。前述光学模组通常包含一支撑结构，其具有支撑一个或多个光学元件固持器(其进而固持相应光学元件)的实质上环形外支撑单元。
[0005]半导体部件不断进展的微小化导致持续提高用于其生产的光学系统的分辨率的需求。此提高分辨率的需求需要提高光学系统的数值孔径(Numerical aperture，NA)和成像准确度。
[0006]用于得到经提高的光学分辨率的一种方法在于减小成像过程中所使用的光的波长。近年来的趋势已逐渐促进其中使用所谓的极紫外线(EUV)范围内(通常在5nm至20nm的波长下，大多在大致13nm的波长下)的光的系统的开发。在此EUV范围内，不再可能使用惯用折射光学系统。这是由于以下事实：在此EUV范围内，用于折射光学系统的材料具有的吸收性过高，以致无法以可用光功率达成可接受成像结果。所以，在此EUV范围内，有必要使用反射光学系统进行成像。
[0007]到在UV范围内具有高数值孔径(如NA>0.4至0.5)的纯反射光学系统的该转变导致有关成像装置的设计的相当大的挑战。
[0008]上述所提到因素导致有关参与成像的光学元件相对于彼此的位置和/或定向，以及有关个别光学元件的变形以便达成所需成像准确度的非常严格的要求。而且，有必要在其整个操作过程中、最终在系统的整个使用寿命中维护这种高成像准确度。
[0009]所以，在成像过程期间相配合的光学成像装置的部件(即，例如，照明装置的光学元件、掩模、投射装置的光学元件、以及基板)必须以良好定义的方式支撑，以维持这些部件之间所预定的良好定义的空间关系，并得到这些部件的最小非所需变形，以最终达成最高
可能的成像品质。
[0010]在此，特别是在前述EUV系统中出现的系统本质问题在于，照明装置和投射装置以及光学元件中的至少个别者是相对较大且沉重的光学单元。然而，为了满足准确度方面的要求，这些沉重单元应可交换并可对应调整，而且，由于其安装设计，已不会经历非必要或不准确定义的变形。由于这些原因，为了支撑这些光学单元或元件的目的，如从例如US 7,760,327 B2(Scherle等人，其全部公开内容于文中并入作为参考)已知，使用通常通过沿着圆周均匀分布的三个可拆卸固持单元实现的所谓的三点支撑(前述固持单元通常以所谓的六足(hexapod)运动学的形式设计)。
[0011]此三点支撑允许即将得到静态确定安装或即将避免静态过多确定安装，以避免由此产生(如可能由于支撑结构的生产不准确或变形而发生)的光学单元中的非必要寄生应力和变形。
[0012]此静态确定三点支撑的缺点在于，举例来说，在冲击负载的情况下(如可能在成像装置运输时发生)，主负载在最不利的负载情况下必须由三个固持单元中单一个承载，即，若负载在具体负载方向上，因为两个其他固持单元实质上在此负载方向上顺应(compliant)，因此无法承载任何负载。因此，固持单元必须具有相对较坚固且复杂设计，以确保光学元件的可靠支撑。因此，特别是到光学元件的可拆卸连接具有复杂设计，以在可能的情况下避免或减少寄生应力的引入(以及由此产生的寄生变形)。
[0013]US 8,441,747 B2(Heintel等人，其全部公开内容于文中并入作为参考)揭示通过粘着接合到光学元件的外部圆周并配置在支撑环上的多个固持单元，在光学元件的外部圆周处固持光学元件。这由于粘着接合而确实达成操作负载的较好分布，以及小型配置。然而，出现的问题在于，一开始的粘着接合无助于光学元件的简单更换。而且，在作用于布置上的冲击的情况下，取决于冲击的方向(或作用于部件上的加速度)，在个别固持单元处有非常不同的冲击负载。在本说明书，最大冲击负载与最小冲击负载之比值或许可能高达20。所以，在这种情况下，个别固持单元上的冲击负载也没有均匀分布；而是，大部分的冲击负载必须由几个个别固持装置吸收。此外，由于此静态过多确定支撑而自然出现的问题在于，在支撑环的变形的情况下的寄生应力被引入到光学元件中。

技术实现思路

[0014]因此，本专利技术基于以下目的：提供一种微光刻光学布置，以及一种包含此布置的对应光学成像装置，以及一种用于支撑光学元件的方法，它们没有前述缺点或至少在较小程度上有这些缺点，且特别是，易于得到具有小尺寸同时抵抗冲击负载尽可能坚固的光学元件的支撑。
[0015]本专利技术使用独立权利要求的特征达成此目的。
[0016]本专利技术至少部分基于以下技术讲述：若提供每个分开固持光学元件的多个固持单元、优选为三个以上的固持单元，则抵抗冲击负载坚固但具有小尺寸的光学元件的支撑易于得到，其中固持单元配置在基座单元的至少一个支撑薄膜元件上，前述支撑薄膜元件优选为沿着圆周方向和径向方向延伸。在多个固持单元、优选为三个以上的固持单元之中，至少部分由于在成像装置的生产、运输、及操作期间在光学元件处发生的负载、特别是冲击负载的划分，减少即使在非所需情境下(例如，在为了设计目的而通常由系统的制造商和/或
使用者定义的最糟情境下)作用于单个固持单元上的最大负载仍可首先达成。
[0017]由于将相应固持单元配置在支撑薄膜元件上，此外可能通过支撑薄膜元件的设计和/或通过其中该支撑薄膜元件连接到支撑界面单元的方式，设定固持装置在(光学元件处)相应固持单元的力的光学单元侧攻击点与相应支撑界面单元处(支撑结构的)力的支撑结构侧攻击点之间的刚度(stiffness)。所以，这可有利地达成的是，此刚度(特别是在某些相应自由度中)针对多个固持单元(优选为所有固持单元)至少相对实质上均衡、优选为达最大可能程度。具体自由度中的此均衡越大(因此，在此自由度中的个别固持单元之间的刚度上的差异越小，或此刚度在固持单元之中的分布越窄频带)，则在相应自由度中在固持单元之中越均匀地划分冲击负本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种特别是用于使用极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻成像装置的布置，包含：固持装置(110；210)，用于固持光学元件(109)；其中该光学元件(109)包含光学表面(109.1)并限定主延伸平面，其中该光学元件(109)限定径向方向和圆周方向；该固持装置(110；210)包含基座单元(110.1；210.1)和多个分开的固持单元(110.2；210.2)，特别是三个以上分开的固持单元(110.2；210.2)；用于将该固持装置(110；210)连接到支撑结构(102.1)的该基座单元(110.1；210.1)包含多个支撑界面单元(110.3)，所述支撑界面单元在该圆周方向上彼此间隔开；该固持单元(110.2；210.2)连接到该基座单元(110.1；210.1)，并以沿着该圆周方向分布且彼此间隔开的方式分布；以及该固持单元(110.2；210.2)构造为相对于该基座单元(110.1；210.1)固持该光学元件(109)；其特征在于该基座单元包含至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)主要沿着该圆周方向且沿着该径向方向延伸，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)具有横向于该圆周方向和径向方向的厚度尺寸；以及该固持单元(110.2；210.2)配置在面向该光学元件(109)的该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的前侧上。2.根据权利要求1所述的布置，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)以薄壁环形圆盘的方式或以薄壁中空圆锥平截头体的方式配置；和/或在该径向方向上且垂直于该圆周方向延伸的截面平面中，该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)相对于该径向方向倾斜至多10
°
、优选为至多5
°
、更优选为至多2
°
；和/或该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)至少实质上平行于该径向方向延伸。3.根据权利要求1或2所述的布置，其中该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)具有内部段(110.5；210.5)，以及在该径向方向上与该内部段间隔开的外部段(110.6)；其中，特别是，该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)具有该内部段(110.5；210.5)与该外部段(110.6)之间的中间部段(110.7)；和/或该固持单元(110.2；210.2)中的至少一个、优选多个该固持单元(110.2；210.2)，特别是所有该固持单元(110.2；210.2)在该径向方向上在该内部段(110.5；210.5)与该外部段(110.6)之间连接到该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)。4.根据权利要求3所述的布置，其中
该外部段(110.6)的区域中，该至少一个支撑薄膜元件(110.4)连接到在该圆周方向上延伸的圆周外环结构(110.8)，其中该外环结构(110.8)特别是配置在背离该至少一个支撑薄膜元件(110.4)的前侧的该至少一个支撑薄膜元件(110.4)的后侧处；和/或该内部段(110.5)的区域中，该至少一个支撑薄膜元件(110.4)连接到在该圆周方向上延伸的圆周内环结构(110.9)，特别是薄壁内环结构(110.9)，其中该内环结构(110.9)特别是配置在背离该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的前侧的该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的后侧处；其中，特别是，该支撑界面单元(110.3)中的至少一些，特别是三个支撑界面单元(110.3)形成在该外环结构(110.8)或该内环结构处，其中该支撑界面单元(110.3)特别是沿着该圆周方向以不规则间隔分布。5.根据权利要求4所述的布置，其中提供将该外环结构(110.8)与该内环结构(110.9)互连的至少一个腹板元件(110.10)，其中，在该厚度尺寸的方向上，一间隙形成在该至少一个腹板元件(110.10)与该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)之间；其中，特别是，该间隙在该外环结构(110.8)与该内环结构(110.9)之间延伸超过该腹板元件(110.10)的长度的至少50％、优选为至少70％、更优选为90％至100％。6.根据权利要求5所述的布置，其中提供分配给彼此的腹板元件(110.10)的至少一对(110.11)，特别是提供分配给彼此的腹板元件(110.10)的三对(110.11)，其中该至少一对(110.11)的两个腹板元件(110.10)在该圆周方向上紧接相继地接合该内环结构(110.9)；其中，特别是，该至少一对(110.11)的两个腹板元件(110.10)在该圆周方向上紧接相继地接合该外环结构(110.8)；和/或该至少一对(110.11)的两个腹板元件(110.10)在该圆周方向上彼此紧接相继的两个支撑界面单元(110.3)之间接合该外环结构(110.8)；和/或该至少一对(110.11)的两个腹板元件(110.10)中的每一个限定一纵轴，且两个纵轴，在主延伸平面的平面图中，以至多10
°
、优选为至多5
°
、更优选为至多2
°
，特别是0
°
的相互倾斜度延伸；和/或该至少一对(110.11)的两个腹板元件(110.10)中的每一个限定一纵轴，且两个纵轴中的至少一个、优选为该两个纵轴中的每一个，在主延伸平面的平面图中，以相对于一连接线至多30
°
、优选为至多10
°
、更优选为至多2
°
的倾斜度延伸，其中该连接线连接在该圆周方向上彼此紧接相继的在该外环结构(110.8)处的两个支撑界面单元(110.3)，相应腹板元件(110.10)接合在该两个支撑界面单元(110.3)之间。
7.根据权利要求3所述的布置，其中该至少一个支撑薄膜元件(210.4)在背离其前侧的后侧处连接到在该圆周方向上延伸的圆周支撑环结构(210.21)；该支撑界面单元(110.3)，特别是三个支撑界面单元(110.3)形成在该支撑环结构(210.21)处，其中该支撑界面单元(110.3)特别是沿着该圆周方向以不规则间隔分布；其中，特别是，该支撑环结构(210.21)与该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的该内部段(210.5)，特别是内边缘(210.22)的距离在该圆周方向上彼此紧接相继的至少两个支撑界面单元(110.3)、特别是所有支撑界面单元之间沿着该圆周方向变化；和/或该支撑环结构(210.21)基本上沿着最短路径而未在该径向方向上超出该至少一个支撑薄膜元件(210.4)的内边缘(210.22)向内突出、连接在该圆周方向上紧接相继的至少两个支撑界面单元(110.3)，特别是所有支撑界面单元。8.根据权利要求7所述的布置，其中在背离该支撑薄膜元件(210.4)的后侧上，该支撑环结构(210.21)连接到主要沿着该圆周方向且沿着该径向方向延伸的至少一个加强薄膜元件(210.23)；其中，特别是，该至少一个加强薄膜元件(210.23)以薄壁环形圆盘的方式或以薄壁中空圆锥平截头体的方式构成；和/或在该径向方向上且垂直于该圆周方向延伸的截面平面中，该至少一个加强薄膜元件(210.23)，以相对于该径向方向至多10
°
、优选为至多5
°
、更优选为至多2
°
的倾斜度延伸；和/或该至少一个加强薄膜元件(210.23)至少实质上平行于该径向方向延伸。9.根据权利要求7或8所述的布置，其中在该圆周方向上紧邻定位的两个固持单元(110.2；210.2)中的至少一个，特别是该固持单元(110.2；210.2)中的每一个经由去耦部段(210.24)连接到该至少一个支撑薄膜元件(210.4)；其中，特别是，该去耦部段(210.24)释放绕着平行于该径向方向的倾斜轴的倾斜自由度。10.根据权利要求1至9中任一项所述的布置，其中在垂直于该圆周方向的截面平面中，限定该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的宽度尺寸，且该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的厚度尺寸为该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的宽度尺寸的2％至30％、优选为5％至25％、更优选为10％至20％；和/或该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的厚度尺寸沿着该圆周方向变化，其中该厚度尺寸特别是取决于沿着该圆周方向到最近支撑界面单元(110.3)的角距离而变化；其中该厚度尺寸特别是随着到最近支撑界面单元(110.3)的角距离增加而增加；和/或
该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的厚度尺寸沿着该径向方向变化，其中该厚度尺寸特别是取决于该支撑薄膜元件在该径向方向上的预定刚度轮廓状况而变化；和/或该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)在该圆周方向上定位在两紧邻固持单元(110.2；210.2)之间的至少一个区域中，特别是在两个紧邻固持单元(110.2；210.2)之间的每个区域中具有至少一个通孔(113)。11.根据权利要求1至10中任一项所述的布置，其中每个固持单元(110.2；210.2)包含固持界面单元(110.16)，用于连接该光学元件(109)；相对于该支撑界面单元(110.3)中的相应一个，针对每个固持单元(110.2；210.2)的每个固持界面单元(110.16)限定垂直于主延伸平面的第一方向上的第一刚度以及绕着平行于该径向方向的一轴的第二刚度；该固持装置(110；210)，特别是该基座单元(110.1；210.1)，且特别是该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)构造成使得：针对至少一个支撑界面单元(110.3)、优选为针对所有支撑界面单元(110.3)、且针对包含该固持单元(110.2；210.2)的至少80％、优选为至少90％、更优选为95％至100％的固持单元群组，该第一刚度在该固持单元群组的固持单元(110.2；210.2)之中的变化为该固持单元群组的固持单元(110.2；210.2)的最小第一刚度的至多900％、优选为至多100％、更优选为至多10％至1％；其中，特别是，该固持装置(110；210)，特别是该基座单元(110.1；210.1)，且特别是该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)构造成使得：针对至少一个支撑界面单元(110.3)、优选为针对所有支撑界面单元(110.3)、且针对包含该固持单元(110.2；210.2)的至少80％、优选为至少90％、更优选为95％至100％的另一固持单元群组，该第二刚度在该另一固持单元群组的固持单元(110.2；210.2)之中的变化为该另一固持单元群组的固持单元(110.2；210.2)的最小第二刚度的至多900％、优选为至多100％、更优选为至多10％至1％。12.根据权利要求1至11中任一项所述的布置，其中每个固持单元(110.2；210.2)构造成在该光学元件(109)与该基座单元(110.1；210.1)之间建立一夹紧连接，所述夹紧连接与其他固持单元(110.2；210.2)分开；其中，特别是，该固持单元(110.2；210.2)中的至少一个、优选为每个固持单元(110.2；210.2)包含一固持界面单元，用于连接到该光学元件，其中该固持界面单元特别是包含第一夹紧元件(110.15)和第二夹紧元件(110.16)，该第一夹紧元件(110.15)和该第二夹紧元件(110.16)为了建立该夹紧连接而彼此相抵支撑，且该光学元件(109)的固持界面部段(109.3)夹紧在该第一夹紧元件(110.15)与该第二夹紧元件(110.16)之间。13.根据权利要求12所述的布置，其中该第一夹紧元件(110.15)和该第二夹紧元件(110.16)为了建立该夹紧连接之目的而借助于张紧元件(111)彼此相抵支撑；其中，特别是，该张紧元件(111)穿过该固持界面部段(109.3)的凹部(109.4)伸出，特别是以游隙穿
过该凹部(109.4)伸出；和/或提供构造成减少该张紧元件(111)中的张紧力损失的补偿弹簧装置(111.3)。14.根据权利要求1至13中任一项所述的布置，其中每个固持单元(110.2；210.2)包含一固持界面单元(110.15、110.16)，用于连接到该光学元件(109)；且该固持界面单元(110.15、110.16)中的至少一个，特别是该固持界面单元(110.15、110.16)中的每一个经由一连接部段(110.17、110.18；210.18)连接到该支撑薄膜元件(110.4；210.4)；其中，特别是，该连接部段(110.17、110.18；210.18)以限制绕着实质上平行于该径向方向延伸的一轴的旋转自由度的方式构造；和/或该连接部段(110.17、110.18；210.18)至少部段地以片弹簧的方式构造；和/或该连接部段(110.17、110.18；210.18)构造成在该径向方向上是顺应性的；和/或该连接部段(110.17、110.18；210.18)至少部段地实质上在垂直于该径向方向的平面中延伸；和/或该连接部段(110.17、110.18；210.18)限定一纵轴，其中该连接部段(110.17、110.18；210.18)的纵轴实质上垂直于主延伸平面或实质上平行于主延伸平面延伸。15.根据权利要求1至14中任一项所述的布置，其中该光学元件(109)的至少一个固持界面部段(109.3)由该光学元件(109)的突起(109.5)形成；其中，特别是，多个该固持界面部段(109.3)形成在该光学元件(109)的共同突起(109.5)处；和/或所有固持界面部段(109.3)形成在该光学元件(109)的环形突起(109.5)处；和/或该光学元件(109)的突起(109.5)在该圆周方向上和/或在垂直于该圆周方向和该径向方向所限定的平面的方向上延伸。16.根据权利要求1至14中任一项所述的布置，其中该光学元件(109)的至少一个固持界面部段(109.3)由连接到该光学元件(109)的固持界面元件(109.6)形成；其中，特别是，该固持界面元件(109.6)插入该光学元件(109)的凹部(109.8)中，特别是插入该光学元件(109)的突起(109.5)中的凹部(109.8)中；和/或
该固持界面元件(109.6)包含一连接套管，特别是一具有凸环(109.7)的连接套管。17.根据权利要求16所述的布置，其中至少在该突起(109.5)的区域中，该光学元件(109)由陶瓷材料制造，该陶瓷材料特别是包含SiSiC，和/或该光学元件(109)由包含Zerodur的材料、和/或由透镜材料制造；和/或该界面元件(109.6)特别是由包含殷钢和/或不锈钢和/或钼的材料制造。18.根据权利要求1至17中任一项所述的布置，其中该光学表面(109.1)是反射光学表面，该光学表面(109.1)配置在该光学元件(109)的主体(109.2)上；以及该主体(109.2)包含至少一个突起(109.5)，该至少一个突起在背离该光学表面(109.1)的一侧上，该突起形成与该固持单元(110.2；210.2)中的至少一个的界面(109.3)。19.根据权利要求1至18中任一项所述的布置，其中该基座单元(110.1；210.1)具有一环形配置；和/或该基座单元(110.1；210.1)限定该基座单元(110.1；210.1)的主延伸平面，且该固持单元(110.2；210.2)中的至少一个以实质上垂直于该基座单元(110.1；210.1)的主延伸平面的方式从该基座单元(110.1；210.1)突出，其中，特别是所有固持单元(110.2；210.2)以实质上垂直于该基座单元(110.1；210.1)的主延伸平面的方式从该基座单元(110.1；210.1)突出；和/或该基座单元(110.1；210.1)具有一单体配置；和/或该支撑薄膜元件(110.4；210.4)与该固持单元(110.2；210.2)中的至少一个成单体。20.根据权利要求1至19中任一项所述的布置，其中提供至少6个、优选为至少9个、更优选为18至36个固持单元(110.2；210.2)；和/或该固持单元(110.2；210.2)沿着该圆周方向以实质上均匀分布配置。21.一种特别是用于使用极紫外线(EUV)范围中的光的微光刻成像装置的布置，包含：固持装置(110；210)，用于固持光学元件(109)；其中该光学元件(109)包含光学表面(109.1)并限定主延伸平面，其中该光学元件(109)限定径向方向和圆周方向；该固持装置(110；210)包含基座单元(110.1；210.1)和多个分开的固持单元(110.2；210.2)，特别是三个以上分开的固持单元(110.2；210.2)；用于将该固持装置(110；210)连接到支撑结构(102.1)的该基座单元(110.1；210.1)包含多个支撑界面单元(110.3)，其在该圆周方向上彼此间隔开；该固持单元(110.2；210.2)连接到该基座单元(110.1；210.1)，并以沿着该圆周方向分布且彼此间隔开的方式配置；且该固持单元(110.2；210.2)构造成相对于该基座单元(110.1；210.1)固持该光学元件
(109)；每个固持单元(110.2；210.2)包含固持界面单元(110.16)，用于连接到该光学元件(109)；相对于该支撑界面单元(110.3)中的相应一个，针对每个固持单元(110.2；210.2)的每个固持界面单元(110.16)限定第一方向上、特别是垂直于主延伸平面的第一方向上的第一刚度；其特征在于该基座单元(110.1；210.1)包含至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)，其中该固持单元(110.2；210.2)配置在该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)上，特别是在面向该光学元件(109)的该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的前侧上；且包括该至少一个支撑薄膜元件(110.4；210.4)的该固持装置(110；210)的至少一部分构造成使得：针对至少一个支撑界面单元(110.3)、优选为针对所有支撑界面单元(110.3)、且针对包含该固持单元(110.2；210.2)的至少80％、优选为至少90％、更优选为95％至100％的固持单元群组，该第一刚度在该固持单元群组的固持单元(110.2；210.2)之中的变化为该固持单元群组的固持单元(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：C科尔纳，C米勒，E安塞尔姆，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：