【技术实现步骤摘要】
单晶炉石墨中轴管道透视窗装置
:
[0001]本实用属于晶棒生产设备
,特别涉及单晶炉石墨中轴管道透视窗装置。
技术介绍
:
[0002]单晶炉是用于制造晶棒的设备,在晶棒制造过程中,一般通过单晶炉内的石墨加热器将多晶材料熔化,再进行拉制,但晶棒制造过程中,石墨中轴可能会出现氧化现象,存在重大安全事故的风险和材料的浪费。
[0003]现有技术下,单晶炉上没有设置监测设备,无法在生产时及时知晓石墨中轴是否氧化,可能存在重大风险,导致不必要的资源浪费。
[0004]
技术实现思路
:
[0005]本实用的目的就在于为了解决上述问题而提供单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,解决了单晶炉上没有设置监测设备,无法在生产时及时知晓石墨中轴是否氧化变细,造成重大安全隐患和资源浪费等缺点。
[0006]为了解决上述问题,本实用提供了一种技术方案:
[0007]单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,包括石墨中轴和管道,所述管道套接于石墨中轴的上部,所述管道下端通过固定件固定连接于石墨中轴的表面,所述管道的旁侧两侧均开设有安 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,包括石墨中轴(1)和管道(2),其特征在于,所述管道(2)套接于石墨中轴(1)的上部,所述管道(2)下端通过固定件固定连接于石墨中轴(1)的表面,所述管道(2)的旁侧两侧均开设有安装孔(3),所述安装孔(3)内均安装有透视窗(4),其中一个所述透视窗(4)远离石墨中轴(1)的一侧设置有激光发射器(7),另一个所述透视窗(4)远离石墨中轴(1)的一侧设置有激光接收器(9)。2.根据权利要求1所述的单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,其特征在于:两个所述安装孔(3)相互靠近的一侧孔径小于两个安装孔(3)相互远离的一侧孔径,所述安装孔(3)的两侧均开设为阶梯型,每个所述透视窗(4)靠近石墨中轴(1)的一侧均贴合于相应的安装孔(3)的两侧阶梯型转角处,每个所述透视窗(4)的边缘两侧中部均设置有固定机构(5)。3.根据权利要求2所述的单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,其特征在于:所述固定机构(5)均包括固定边框(51),每个所述固定边框(51)均固定连接于相应的透视窗(4)边缘,所述固定边框(51)的两侧中部均螺纹连接有螺栓(52),每个所述螺栓(52)均贯穿固定边框(51)且螺纹连接于相应的安装孔(3)的阶梯型孔壁处,每个所述透视窗(4)均与石墨中轴(1)的纵向中轴线平行设置,两个所述透视窗(4)相对设置于同一高度。4.根据权利要求1所述的单晶炉石墨中轴管道透视窗装置,其特征在于:其中一个所述透视窗(4)远离石墨中轴(1)的一侧中部固定连接有一号安装套筒(6),所述激光发射器(7)安装于一号安装套筒(6)的内部,所述激光发射器(7)的发射端与相应的透视窗(4)中部相对,另一个所述透视窗(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:李小锋,曹玉宝,李军,李方,李美平,韩建峰,王建波,刘军军,
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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