一种PVD托盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD托盘，包括上导轨、侧挡板以及下挡板，上导轨、侧挡板以及下挡板围合成滑动区以容纳滚轮，以防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上。此外，上导轨或/和下挡板的内侧壁设有用于防止滚轮位移的固定位，滚轮的周向方向设有与固定位相配合的凹槽。本实用新型专利技术从现有的导轨和滚轮的外接触方式，改变至导轨和滚轮的内接触方式，通过侧挡板和下挡板包裹于滚轮的外围，防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上，避免了导轨和滚轮不断摩擦产生粉尘，提高了成品电池的合格率；导轨内侧的固定位可以防止托盘在运行过程中偏移，使滚轮和导轨之间摩擦更加平稳，减少粉尘，提高了空间的洁净度。提高了空间的洁净度。提高了空间的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD托盘


[0001]本技术涉及光伏电池制造
，更具体地说，本技术涉及一种PVD托盘。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池（HIT）技术作为近年来引起行业高度关注的高效技术路线，因其光电转换效率高、性能优异、降本空间大，平价上网前景好，成为行业公认的下一代商业光伏产业技术。
[0003]对于高效异质结电池来说，目前的技术难点之一在于制程中对硅片质量要求较高，为保证异质结电池的效率及良率，需要保证生产过程中有良好的洁净度。在异质结核心工艺中有一个工艺就是TCO导电膜的制备，导电膜目前主要的制备方法为PVD物理气相沉积工艺。
[0004]物理气相沉积工艺(Physical Vapor Deposition，PVD) 是指在真空条件下，采用物理方法，将靶材—固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。由于PVD工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基材结合力强等特点得到了快速的发展。
[0005]然而，当前的PVD镀膜设备普遍存在TCO粉尘现象，如图1所示，图1为现有技术中PVD托盘的结构示意图，图1中包括滚轮1和导轨2，其中导轨2在使用时直接放置在滚轮1上，导轨2和PVD托盘固定连接，PVD托盘在正常工作时，托盘在传输过程中，导轨2和滚轮1来回摩擦，造成TCO膜层从托盘上脱落，形成TCO粉尘，这种TCO粉尘会散落在腔体内部和外部设备上面和电池片表面，造成洁净度降低、外观不良等现象，最终造成了效率与良率不足的重大损失。
[0006]造成TCO粉尘现象的最大原因是因为托盘两端导轨上沉积的TCO膜层不断与滚轮或皮带摩擦产生粉尘，并且随着托盘使用次数的增加，TCO膜层越来越厚，引起的粉尘量也不断增多，极大增加了外观不良片的数量，降低了空间的洁净度，造成电池片效率下降。
[0007]针对上述缺陷，本领域技术人员亟需提供一种PVD托盘，对托盘导轨结构进行改进，改善导轨和滚轮之间的接触方式，减少导轨和滚轮之间不断摩擦产生的TCO粉尘，提高了成品电池的合格率。

技术实现思路

[0008]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的提供一种PVD托盘，对托盘导轨结构进行改进，改善导轨和滚轮之间的接触方式，减少导轨和滚轮之间不断摩擦产生的TCO粉尘，提高了成品电池的合格率。
[0009]为实现上述目的，本技术提供一种PVD托盘，包括上导轨，还包括侧挡板以及下挡板，所述上导轨、侧挡板以及下挡板围合成滑动区以容纳滚轮。
[0010]优选的，所述上导轨、侧挡板以及下挡板依次固定连接，所述上导轨和下挡板抵靠在所述滚轮的上下方，所述侧挡板贴合于所述滚轮的侧壁。
[0011]优选的，所述上导轨或/和下挡板的内侧壁设有至少一个用于防止滚轮位移的固定位。
[0012]优选的，所述固定位的高度为1
‑
5mm，所述固定位的截面呈锥台形结构或半圆形结构。
[0013]优选的，所述固定位和所述滚轮之间设有耐磨橡胶垫。
[0014]优选的，所述上导轨通过连接板连接侧挡板，所述侧挡板和下挡板固定连接，所述上导轨贴合于所述滚轮的周向上端，所述侧挡板与所述滚轮的侧壁之间保持间距，所述下挡板与所述滚轮的周向下端之间保持间距。
[0015]优选的，所述上导轨的内侧壁设有至少一个用于防止滚轮位移的固定位。
[0016]优选的，所述上导轨呈弯折形结构。
[0017]优选的，所述上导轨和下挡板同时抵靠在所述滚轮的上下方，所述侧挡板与所述滚轮的侧壁之间保持间距。
[0018]优选的，所述上导轨或/和下挡板的内侧壁设有至少一个用于防止滚轮位移的固定位，所述上导轨和下挡板均呈弯折形结构。
[0019]本技术的技术效果和优点：
[0020]1、本技术从现有的导轨和滚轮的外接触方式，改变至导轨和滚轮的内接触方式，通过侧挡板和下挡板包裹于滚轮的外围，防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上，避免了导轨和滚轮不断摩擦产生粉尘，提高了成品电池的合格率；
[0021]2、导轨内侧的固定位可以防止托盘在运行过程中偏移，减少托盘震动，使滚轮和导轨之间摩擦更加平稳，减少粉尘，提高了空间的洁净度和电池片效率。
附图说明
[0022]图1为现有技术中PVD托盘的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例一中PVD托盘的结构示意图；
[0024]图3为本技术实施例一中PVD托盘的结构示意图；
[0025]图4为图3中导轨结构的局部放大图；
[0026]图5为本技术实施例二中PVD托盘的结构示意图；
[0027]图6为本技术实施例三中PVD托盘的结构示意图。
[0028]附图标记为：
[0029]10、滚轮；20、上导轨；30、侧挡板；40、下挡板；50、固定位；
[0030]60、连接板；70、托盘。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]如图2
‑
6所示，本技术提供一种PVD托盘，包括上导轨20、侧挡板30以及下挡板40，上导轨10、侧挡板30以及下挡板40围合成滑动区以容纳滚轮10，以防止TCO材料溅射于滚轮10侧的导轨或挡板。
[0033]值得注意的是，本技术中的滚轮可以通过滑块、滚珠等类似的结构进行替代，本技术中包括但不限定于滚轮，可实现滚动或滑动功能的结构均可。
[0034]本技术从现有的导轨和滚轮的外接触方式，改变至导轨和滚轮的内接触方式，通过侧挡板30和下挡板40包裹于滚轮10的外围，防止TCO材料溅射在滚轮侧的导轨或挡板，避免了导轨和滚轮不断摩擦产生粉尘，提高了成品电池的合格率。
[0035]实施例一
[0036]如图2所示，本实施例中的上导轨20、侧挡板30以及下挡板40依次固定连接，可以为一体成型结构，也可以为可拆卸式结构。当上导轨20、侧挡板30以及下挡板40为一体成型结构时，可以采用金属或非金属材料浇注成一体式结构，或将上导轨20、侧挡板30以及下挡板40依次焊接为一体结构。当上导轨20、侧挡板30以及下挡板40为可拆卸式结构时，可采用螺纹连接、卡扣连接或铰链连接等方式进行连接，具体形式不限，可根据实际需要增设连接件以实现可拆卸式结构的组装。
[0037]本实施例中的上导轨20、侧挡板30以及下挡板40，采用平板式结构。本实施例中的上导轨20和下挡板40抵靠在滚轮10的上方和滚轮10的下方，侧挡板30贴合于滚轮10的侧壁。本实施例中的上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD托盘，包括上导轨（20），其特征在于，还包括侧挡板（30）以及下挡板（40），所述上导轨（20）、侧挡板（30）以及下挡板（40）围合成滑动区以容纳滚轮（10）。2.根据权利要求1所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导轨（20）、侧挡板（30）以及下挡板（40）依次固定连接，所述上导轨（20）和下挡板（40）抵靠在所述滚轮（10）的上下方，所述侧挡板（30）贴合于所述滚轮（10）的侧壁。3.根据权利要求2所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导轨（20）或/和下挡板（40）的内侧壁设有至少一个固定位（50）。4.根据权利要求3所述的PVD托盘，其特征在于，所述固定位（50）的高度为1
‑
5mm，所述固定位（50）的截面呈锥台形结构或半圆形结构。5.根据权利要求3所述的PVD托盘，其特征在于，所述固定位（50）和所述滚轮（10）之间设有耐磨橡胶垫。6.根据权利要求1所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵锋，谷士斌，任明冲，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：