一种PVD托盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD托盘，包括上导轨、侧挡板以及下挡板，上导轨、侧挡板以及下挡板围合成滑动区以容纳滚轮，以防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上。此外，上导轨或/和下挡板的内侧壁设有用于防止滚轮位移的固定位，滚轮的周向方向设有与固定位相配合的凹槽。本实用新型专利技术从现有的导轨和滚轮的外接触方式，改变至导轨和滚轮的内接触方式，通过侧挡板和下挡板包裹于滚轮的外围，防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上，避免了导轨和滚轮不断摩擦产生粉尘，提高了成品电池的合格率；导轨内侧的固定位可以防止托盘在运行过程中偏移，使滚轮和导轨之间摩擦更加平稳，减少粉尘，提高了空间的洁净度。提高了空间的洁净度。提高了空间的洁净度。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD托盘


[0001]本技术涉及光伏电池制造
，更具体地说，本技术涉及一种PVD托盘。

技术介绍

[0002]异质结太阳能电池（HIT）技术作为近年来引起行业高度关注的高效技术路线，因其光电转换效率高、性能优异、降本空间大，平价上网前景好，成为行业公认的下一代商业光伏产业技术。
[0003]对于高效异质结电池来说，目前的技术难点之一在于制程中对硅片质量要求较高，为保证异质结电池的效率及良率，需要保证生产过程中有良好的洁净度。在异质结核心工艺中有一个工艺就是TCO导电膜的制备，导电膜目前主要的制备方法为PVD物理气相沉积工艺。
[0004]物理气相沉积工艺(Physical Vapor Deposition，PVD) 是指在真空条件下，采用物理方法，将靶材—固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。由于PVD工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基材结合力强等特点得到了快速的发展。
[0005]然而，当前本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD托盘，包括上导轨（20），其特征在于，还包括侧挡板（30）以及下挡板（40），所述上导轨（20）、侧挡板（30）以及下挡板（40）围合成滑动区以容纳滚轮（10）。2.根据权利要求1所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导轨（20）、侧挡板（30）以及下挡板（40）依次固定连接，所述上导轨（20）和下挡板（40）抵靠在所述滚轮（10）的上下方，所述侧挡板（30）贴合于所述滚轮（10）的侧壁。3.根据权利要求2所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导轨（20）或/和下挡板（40）的内侧壁设有至少一个固定位（50）。4.根据权利要求3所述的PVD托盘，其特征在于，所述固定位（50）的高度为1
‑
5mm，所述固定位（50）的截面呈锥台形结构或半圆形结构。5.根据权利要求3所述的PVD托盘，其特征在于，所述固定位（50）和所述滚轮（10）之间设有耐磨橡胶垫。6.根据权利要求1所述的PVD托盘，其特征在于，所述上导...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵锋，谷士斌，任明冲，
申请(专利权)人：东方日升常州新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：