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本实用新型公开了一种PVD托盘，包括上导轨、侧挡板以及下挡板，上导轨、侧挡板以及下挡板围合成滑动区以容纳滚轮，以防止TCO材料溅射于滚轮侧的导轨或挡板上。此外，上导轨或/和下挡板的内侧壁设有用于防止滚轮位移的固定位，滚轮的周向方向设有与固定...
该专利属于东方日升（常州）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方日升（常州）新能源有限公司授权不得商用。

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