一种多晶硅生产尾气回收系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种多晶硅生产尾气回收系统，包括筒体和设置在所述筒体内的通气组件和换热组件；所述筒体内靠近所述换热组件的部分填充有活性炭，所述通气组件用于所述筒体内氢气的通入和氢气的回收，所述换热组件用于所述活性炭的换热；所述换热组件包括换热管，所述换热管包括外套管和设置在所述外套管内的内管，所述外套管的一端密封，所述内管的外壁与所述外套管上远离密封端的内壁密封连接，所述外套管的外壁上设置有若干个翅片板。该系统大大减小了已换热的液体对正在进行的换热的影响，有效地提高了活性炭的换热效果并使换热效果更加均匀，使多晶硅生产尾气回收系统中得到高纯度的氢气。度的氢气。度的氢气。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产尾气回收系统及方法


[0001]本专利技术涉及多晶硅生产
，具体涉及一种多晶硅生产尾气回收系统及方法。

技术介绍

[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态，是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。在多晶硅生产的过程中会产生含有杂质的氢气尾气，通常是采用活性炭进行吸附净化氢气。
[0003]现行业中一般通过活性炭吸附技术来进行氢气的提纯，变压吸附原理是利用活性炭等吸附剂对气体的吸附容量随压力的不同而有差异的特性，加压吸附原料气中的某些组分使其分离，减压下脱除这些组分使吸附剂获得再生；而变温吸附的原理是利用吸附剂对不同组分的吸附容量随温度的不同而有较大差异的特性，在吸附剂选择吸附的条件下，常温吸附原料气中的高沸点杂质组分，高温脱除这些杂质，使吸附剂得到再生。在实际应用中，专利技术人发现，目前的多晶硅生产尾气回收系统和方法还存在着不足，具体在于：变压吸附技术虽然能进行氢气的提纯，有一定的提纯效果，但是存在着明显的杂质，无法满足行业内多晶硅生产尾气回收系统中回收氢气的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：包括筒体和设置在所述筒体内的通气组件和换热组件；所述筒体内靠近所述换热组件的部分填充有活性炭，所述通气组件用于所述筒体内氢气的通入和氢气的回收，所述换热组件用于所述活性炭的换热；所述换热组件包括换热管，所述换热管包括外套管和设置在所述外套管内的内管，所述外套管的一端密封，所述内管的外壁与所述外套管上远离密封端的内壁密封连接，所述外套管上靠近所述内管与所述外套管连接的部分设置有开口，所述外套管的外壁上设置有若干个翅片板。2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：所述外套管和所述内管的截面形状均为圆形，所述外套管与所述内管同心设置。3.如权利要求2所述的一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：所述筒体的外壁上设置有夹套，所述夹套螺旋缠绕装配在所述筒体上，所述夹套的两端均设置有接管。4.如权利要求1
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3任一项所述的一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：所述通气组件包括氢气总管入口；所述氢气总管入口包括氢气入口管和与所述氢气入口管相连的氢气环管A，所述氢气环管A上设置有若干个氢气入口支管，所述氢气总管入口设置在所述活性炭的下方。5.如权利要求4所述的一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：所述通气组件还包括氢气总管出口；所述氢气总管出口包括氢气出口管和与所述氢气出口管相连的氢气环管B，所述氢气环管B上设置有若干个氢气出口支管，所述氢气总管出口设置在所述活性炭的上方。6.如权利要求5所述的一种多晶硅生产尾气回收系统，其特征在于：所述换...

【专利技术属性】
技术研发人员：张仕军，陈红飚，
申请(专利权)人：四川久源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：