下载一种多晶硅生产尾气回收系统及方法的技术资料

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本发明涉及一种多晶硅生产尾气回收系统,包括筒体和设置在所述筒体内的通气组件和换热组件;所述筒体内靠近所述换热组件的部分填充有活性炭,所述通气组件用于所述筒体内氢气的通入和氢气的回收,所述换热组件用于所述活性炭的换热;所述换热组件包括换热管,...
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