【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺
[0001]本专利技术涉及尾气处理
，特别涉及一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺。
技术介绍
[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料，可作各种晶体管、整流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探测器等。目前大部分的多晶硅生产厂家均使用西门子改良法工艺，该工艺的主要设备为CVD还原炉。还原炉的工作原理是通过高温硅芯将三氯氢硅与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上，最终产物是沉积在硅芯上的多晶硅。还原过程十分复杂，经过化学反应产出多晶硅后，反应后的尾气排入尾气处理管线。
[0003]现有的尾气处理工艺一般经过水淋洗后达标排放，但是淋洗后的废水中漂浮大量的残渣，为此需要用水解池与尾气淋洗塔相连，用于接纳从尾气淋洗塔排出的废水，然后采用人...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，包括处理箱(1)和过滤箱(14)，所述处理箱(1)的上表面固定连接有出气筒(2)，所述处理箱(1)内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块(3)，两个所述活动块(3)之间设置有尾气淋洗组件(4)，所述处理箱(1)的内底部转动连接有锥形筒(5)，所述锥形筒(5)上开设有多个滤水孔(6)，所述锥形筒(5)的内壁设置有清理组件(7)，所述锥形筒(5)与处理箱(1)的内底部之间形成有储液腔(8)，所述处理箱(1)的右侧设置有循环组件(9)，所述循环组件(9)用于将储液腔(8)内的水送入尾气淋洗组件(4)，所述处理箱(1)的右侧设置有驱动组件(10)，所述驱动组件(10)用于使尾气淋洗组件(4)前后摆动并使锥形筒(5)旋转；所述过滤箱(14)的左侧底端固定连接有进气管(11)，所述过滤箱(14)的内部安装有过滤网(12)，所述过滤箱(14)的右侧顶端通过连接管(13)与处理箱(1)相连通。2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述处理箱(1)和过滤箱(14)的下表面固定连接有底板(15)，所述锥形筒(5)的底端密封转动连接有排污管(16)，所述排污管(16)贯穿处理箱(1)的左侧。3.根据权利要求2所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述处理箱(1)的前后两侧内壁均固定连接有导向杆(101)，所述导向杆(101)贯穿活动块(3)并与处理箱(1)的背面内壁固定连接，所述导向杆(101)与活动块(3)滑动连接，所述尾气淋洗组件(4)的内壁中部固定连接有挡圈(102)。4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述尾气淋洗组件(4)包括两个固定管(401)，所述固定管(401)与活动块(3)固定连接，两个所述固定管(401)之间固定连接有多个喷淋管(402)，所述喷淋管(402)的下表面安装有多个喷淋嘴(403)，右侧所述固定管(401)的上表面固定连接有连接软管(404)。5.根据权利要求4所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述清理组件(7)包括固定连接在处理箱(1)右侧内壁的倾斜杆(701)，所述倾斜杆(701)的底端固定连接有安装板(702)，所述安装板(702)的右侧固定连接有刮板(703)，所述刮板(703)与锥形筒(5)的内壁相接触，所述安装板(702)的正面设置有输送组件。6.根据权利要求5所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述输送组件包括固定连接在安装板(702)正面的固定座(704)，所述固定座(704)上通过轴承转动连接有旋转杆(705)，所述旋转杆(705)的顶端固定连接有橡胶轮(706)，所述橡胶轮(706)与锥形筒(5)的内壁相接触，所述旋转杆(705)的底端外表面固定连接有螺旋叶片(707)。7.根据权利要求6所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述循环组件(9)包括固定连接在底板(15)上表面右侧的泵体(901)，所述泵体(901)的输入端通过第一管道(902)与储液腔(8)相连通，所述泵体(901)的输出端通过第二管道(903)与连接软管(404)相连通。8.根据权利要求7所述的多晶硅生产用尾气处理设备，其特征在于，所述驱动组件(10)包括固定连接在处理箱(1)右侧的电机箱(1001)，所述电机箱(1001)的左侧内壁固定连接有驱动电机(1002)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈红飚，谢强，
申请(专利权)人：四川久源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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