下载一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺的技术资料

文档序号:39331402

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本发明提供一种多晶硅生产用尾气处理设备及工艺,属于尾气处理技术领域;包括处理箱和过滤箱,所述处理箱的上表面固定连接有出气筒,所述处理箱内顶部的左右两侧活动连接有两个活动块,两个所述活动块之间设置有尾气淋洗组件,所述处理箱的内底部转动连接有锥...
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