本发明专利技术公开了一种尾气处理装置及尾气处理系统，尾气处理装置包括处理室、第一隔板与第二隔板，处理室顶部开设有进气口与排气口，第一隔板与第二隔板将处理室分隔为第一处理腔与第二处理腔，第一处理腔与进气口连通，第二处理腔与排气口连通，第一隔板开设有出气孔，出气孔与第一处理腔、第二处理腔连通；尾气处理系统包括上述的尾气处理装置。本发明专利技术中，通入处理室内的尾气中的粉尘颗粒溶于溶解液内，不溶于溶解液的气体通过第一处理腔与第二处理腔所形成的液位差，经由出气孔通入第二处理腔，并从排气口排出，实现了对尾气的净化处理，避免尾气中的三氯化硼反应后生成的颗粒堵塞管道，从而提高了排废的稳定性。从而提高了排废的稳定性。从而提高了排废的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置及尾气处理系统
[0001]本专利技术涉及光伏电池制造
，尤其涉及一种尾气处理装置及尾气处理系统。
技术介绍
[0002]TOPCon太阳能电池利用低压硼扩散设备将一定量的三氯化硼(BCl3)气体通入反应室内，通过对时间、温度及气源的调节实现气体扩散深度、浓度以及分布均匀度的控制，从而提升硅片的电学性质。相关技术中，硼扩散工艺生成的尾气利用真空泵通过管道排放到外围处理系统，但由于三氯化硼与空气中的水汽反应形成堵塞物，容易堵塞过滤装置或者管道，影响排废的稳定性。
技术实现思路
[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种尾气处理装置，能够克服排废管道堵塞的问题，提高尾气排放的稳定性。
[0004]本专利技术还提出一种具有上述尾气处理装置的尾气处理系统。
[0005]根据本专利技术的第一方面实施例的尾气处理装置，包括：
[0006]处理室，顶部开设有进气口与排气口；
[0007]第一隔板，置于所述处理室的内部，并与所述处理室的侧壁连接；
[0008]第二隔板，置于所述处理室的内部，所述第二隔板的一端连接于所述第一隔板远离所述处理室侧壁的一端，所述第二隔板的另一端与所述处理室的顶壁连接；
[0009]其中，所述第一隔板与所述第二隔板将所述处理室分隔为第一处理腔与第二处理腔，所述第一处理腔与所述第二处理腔用于容纳溶解液，所述第一处理腔与所述进气口连通，所述第二处理腔与所述排气口连通，所述第一隔板开设有出气孔，所述出气孔位于所述第二处理腔的底部，所述出气孔与所述第一处理腔、所述第二处理腔连通。
[0010]根据本专利技术实施例的尾气处理装置，至少具有如下有益效果：
[0011]本专利技术实施例中的尾气处理装置，通入处理室内的尾气中所包含的三氯化硼反应生成的粉尘颗粒溶于溶解液内，不溶于溶解液的气体通过第一处理腔与第二处理腔所形成的液位差，经由出气孔通入第二处理腔，并从排气口排出，实现了对尾气的净化处理，避免尾气中的三氯化硼反应后生成的颗粒堵塞管道，从而提高了排废的稳定性。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述出气孔设置于所述第一隔板靠近所述第二隔板的一侧。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述出气孔设置有多个，所述排气口位于所述出气孔的上方。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述进气口与所述排气口设置有多个，所述进气口与所述排气口分设于所述第二隔板的两侧。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述出气孔的面积总和大于所述排气口的面积总和。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，还包括第一盖板与第二盖板，所述第一隔板具有第一注液口，所述第一注液口与所述第一处理腔、第二处理腔连通，所述第一盖板与第一隔板连接，并用于封堵或打开所述第一注液口，所述处理室的顶部开设有第二注液口，所述第二注液口与所述第二处理腔连通，所述第二盖板连接于处理室的顶部，并用于封堵或打开所述第二注液口。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，还包括第三隔板，所述第三隔板置于所述处理室的内部，并位于第二隔板远离所述第一隔板的一侧，所述第三隔板竖直设置，所述第三隔板的一端连接于所述处理室的底壁，所述第三隔板的另一端的高度高于所述第一隔板的高度，所述第三隔板背向所述第二隔板的一侧与所述处理室的侧壁之间形成回流腔。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，所述第三隔板设置于所述进气口靠近所述第二隔板的一侧。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，所述处理室还包括排液口，所述排液口与所述第一处理腔和/或所述回流腔连通。
[0020]根据本专利技术的第二方面实施例的尾气处理系统，包括：
[0021]第一方面实施例的尾气处理装置；
[0022]过滤装置，通过管道连接于所述进气口和/或排气口。
[0023]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0025]图1为本专利技术尾气处理装置一个实施例的结构示意图；
[0026]图2为图1中尾气处理装置一个工作状态的示意图；
[0027]图3为图1中尾气处理装置另一工作状态的示意图；
[0028]图4为本专利技术尾气处理装置另一实施例的结构示意图；
[0029]图5为图1中尾气处理装置的剖视图；
[0030]图6为图1中尾气处理装置的俯视图。
[0031]附图标记：
[0032]处理室100，进气口110，排气口120，第一处理腔130，第二处理腔140，进气管150，排气管160，回流腔170，排液口180，第二注液口190；第一隔板200，出气孔210，第一注液口220；第二隔板300；第三隔板400；第一盖板500；第二盖板600。
具体实施方式
[0033]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0034]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和
操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0035]在本专利技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0036]本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0037]本专利技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本专利技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0038]本专利技术的实施例中提供了一种尾气处理装置，可以应用于光伏电池生产中，硼扩散工艺所产生的尾气处理。参照图1，尾气处理装置包括处理室100、第一隔板200与第二隔板300，处理室100的内部具有用于对尾气进行处理的腔体，处理室100的顶部开设有进气口110与排气口120，待处理的尾气经本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.尾气处理装置，其特征在于，包括：处理室，顶部开设有进气口与排气口；第一隔板，置于所述处理室的内部，并与所述处理室的侧壁连接；第二隔板，置于所述处理室的内部，所述第二隔板的一端连接于所述第一隔板远离所述处理室侧壁的一端，所述第二隔板的另一端与所述处理室的顶壁连接；其中，所述第一隔板与所述第二隔板将所述处理室分隔为第一处理腔与第二处理腔，所述第一处理腔与所述第二处理腔用于容纳溶解液，所述第一处理腔与所述进气口连通，所述第二处理腔与所述排气口连通，所述第一隔板开设有出气孔，所述出气孔位于所述第二处理腔的底部，所述出气孔与所述第一处理腔、所述第二处理腔连通。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔设置于所述第一隔板靠近所述第二隔板的一侧。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔设置有多个，所述排气口位于所述出气孔的上方。4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进气口与所述排气口设置有多个，所述进气口与所述排气口分设于所述第二隔板的两侧。5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔的面积总和大于所述排气口的面积总和。6.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李时俊，李美诗，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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