尾气处理装置及尾气处理系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种尾气处理装置及尾气处理系统，尾气处理装置包括处理室、第一隔板与第二隔板，处理室顶部开设有进气口与排气口，第一隔板与第二隔板将处理室分隔为第一处理腔与第二处理腔，第一处理腔与进气口连通，第二处理腔与排气口连通，第一隔板开设有出气孔，出气孔与第一处理腔、第二处理腔连通；尾气处理系统包括上述的尾气处理装置。本发明专利技术中，通入处理室内的尾气中的粉尘颗粒溶于溶解液内，不溶于溶解液的气体通过第一处理腔与第二处理腔所形成的液位差，经由出气孔通入第二处理腔，并从排气口排出，实现了对尾气的净化处理，避免尾气中的三氯化硼反应后生成的颗粒堵塞管道，从而提高了排废的稳定性。从而提高了排废的稳定性。从而提高了排废的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置及尾气处理系统


[0001]本专利技术涉及光伏电池制造
，尤其涉及一种尾气处理装置及尾气处理系统。

技术介绍

[0002]TOPCon太阳能电池利用低压硼扩散设备将一定量的三氯化硼(BCl3)气体通入反应室内，通过对时间、温度及气源的调节实现气体扩散深度、浓度以及分布均匀度的控制，从而提升硅片的电学性质。相关技术中，硼扩散工艺生成的尾气利用真空泵通过管道排放到外围处理系统，但由于三氯化硼与空气中的水汽反应形成堵塞物，容易堵塞过滤装置或者管道，影响排废的稳定性。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种尾气处理装置，能够克服排废管道堵塞的问题，提高尾气排放的稳定性。
[0004]本专利技术还提出一种具有上述尾气处理装置的尾气处理系统。
[0005]根据本专利技术的第一方面实施例的尾气处理装置，包括：
[0006]处理室，顶部开设有进气口与排气口；
[0007]第一隔板，置于所述处理室的内部，并与所述处理室的侧壁连接；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.尾气处理装置，其特征在于，包括：处理室，顶部开设有进气口与排气口；第一隔板，置于所述处理室的内部，并与所述处理室的侧壁连接；第二隔板，置于所述处理室的内部，所述第二隔板的一端连接于所述第一隔板远离所述处理室侧壁的一端，所述第二隔板的另一端与所述处理室的顶壁连接；其中，所述第一隔板与所述第二隔板将所述处理室分隔为第一处理腔与第二处理腔，所述第一处理腔与所述第二处理腔用于容纳溶解液，所述第一处理腔与所述进气口连通，所述第二处理腔与所述排气口连通，所述第一隔板开设有出气孔，所述出气孔位于所述第二处理腔的底部，所述出气孔与所述第一处理腔、所述第二处理腔连通。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔设置于所述第一隔板靠近所述第二隔板的一侧。3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔设置有多个，所述排气口位于所述出气孔的上方。4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进气口与所述排气口设置有多个，所述进气口与所述排气口分设于所述第二隔板的两侧。5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述出气孔的面积总和大于所述排气口的面积总和。6.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李时俊，李美诗，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：