一种高纯电子级氯气纯化生产装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高纯电子级氯气纯化生产装置，包括液氯储罐、汽化器、氯水洗涤塔、冷凝塔、吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、膜压机、过滤器和收集瓶，液氯储罐连通于汽化器，汽化器通过氯水洗涤塔连通于冷凝塔，冷凝塔通过吸附器连通于脱轻精馏塔，脱轻精馏塔连接脱重精馏塔，脱重精馏塔通过膜压机连通于收集瓶，膜压机与收集瓶之间连接有过滤器。本实用新型专利技术采用液相进料避免三氯化氮富集在液氯储罐与液氯发生爆炸，氯水洗涤塔和脱重精馏塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高纯氯气；氯水洗涤塔可以除去金属氯化物和非金属氯化物，提高氯气的纯度，避免了对电子材料的影响；吸附器、脱轻精馏塔和脱重精馏塔，可提高对其他气体杂质的去除效果；提高氯气的纯度。提高氯气的纯度。提高氯气的纯度。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯电子级氯气纯化生产装置


[0001]本技术涉及高纯气体制备
,尤其是一种高纯电子级氯气纯化生产装置。

技术介绍

[0002]氯气是氯碱工业的主要产品之一，是一种强氧化剂与氯化剂。高纯氯气是工业液氯经过提纯而得到的高纯气体，作为标准气、校正气，另外其应用还包括在微电子、光纤光缆、高温超导、高性能合金冶炼，以及有关工业、基础科学研究等尖端科技领域。
[0003]近些年光纤的质量在飞速提高的同时对氯气的综合品质要求越来越严格，目前要求纯度在99.999％以上，特别是对水份、金属等杂质的要求极高，因为金属离子对光纤质量影响很大，而水份对光纤羟基含量的影响非常大，必须严格控制。
[0004]针对上述问题，现有技术公开了一些技术方案，如下：
[0005]1、如中国专利公开了一种高纯氯气精馏工艺及其设备(公开号：CN103466549 B)，将工业液氯输送至汽化器，在1.2Mpa下进入第一蒸馏塔，至第一蒸馏塔的液位达到85％；第一蒸馏塔升压至1.0Mpa，由第一冷凝塔冷凝后进入第一回流罐，第一回流罐中60％的釜液输送至第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：包括液氯储罐(1)、汽化器(2)、氯水洗涤塔(3)、冷凝塔(4)、吸附器(5)、脱轻精馏塔(6)、脱重精馏塔(7)、膜压机(8)、过滤器(9)和收集瓶(10)，所述液氯储罐(1)连通于汽化器(2)，所述汽化器(2)通过氯水洗涤塔(3)连通于冷凝塔(4)，所述冷凝塔(4)通过吸附器(5)连通于所述脱轻精馏塔(6)，所述脱轻精馏塔(6)连接所述脱重精馏塔(7)，所述脱重精馏塔(7)通过膜压机(8)连通于所述收集瓶(10)，所述膜压机(8)与收集瓶(10)之间连接有过滤器(9)。2.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征在于：所述氯水洗涤塔(3)和吸附器(5)均设置有两组。3.如权利要求1所述的一种高纯电子级氯气纯化生产装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小林，杜大艳，杜鹏举，方强，黄梦元，王宙宇，
申请(专利权)人：湖北和远气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：