气体传感器、包括其的传感器阵列模块和移动装置制造方法及图纸

提供了一种气体传感器以及包括其的传感器阵列模块和移动装置。所述气体传感器包括：压电式衬底；压电式衬底的上表面上的电极区中的谐振器，谐振器包括叉指换能器电极和连接至叉指换能器电极的叉指换能器焊盘，叉指换能器电极被配置为在电极区的中心区中产生表面声波，表面声波在第一水平方向上传播；压电式衬底的上表面上的电极区的中心区中的感测膜，感测膜包括与目标气体相互作用的感测材料；以及包围压电式衬底的上表面上的电极区的边缘区中的加热器，所述加热器包括被配置为加热感测膜的加热器电极和连接至加热器电极的加热器焊盘，加热器电极和加热器焊盘形成闭合传导回路。路。路。

【技术实现步骤摘要】
气体传感器、包括其的传感器阵列模块和移动装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]于2020年6月10日在韩国知识产权局提交的标题为“气体传 感器、包括其的传感器阵列模块和移动装置”的韩国专利申请No. 10
‑
2020
‑
0070582以引用方式全文并入本文中。


[0003]实施例涉及一种气体传感器、包括气体传感器的传感器阵列模 块和移动装置。

技术介绍

[0004]气体传感器可以用于各种应用。例如，可以将气体传感器安装 在空气净化器上，并且用于测量空气净化器周围的空气质量。另外， 可以在诸如移动电话的便携式装置中包括气体传感器，并且使用该气 体传感器以使便携式装置的用户认识到周围空气的质量。

技术实现思路

[0005]实施例涉及一种气体传感器，包括：压电式衬底；压电式衬底 的上表面上的电极区中的谐振器，谐振器包括叉指换能器(IDT)电 极和连接至IDT电极的IDT焊盘，IDT电极被配置为在电极区的中心 区中产生表面声波，表面声波在第一水平方向上传播；压电式衬底的 上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器，包括：压电式衬底；谐振器，其位于所述压电式衬底的上表面上的电极区中，所述谐振器包括叉指换能器电极和连接至所述叉指换能器电极的叉指换能器焊盘，所述叉指换能器电极被配置为在所述电极区的中心区中产生表面声波，所述表面声波在第一水平方向上传播；感测膜，其位于所述压电式衬底的上表面上的电极区的中心区中，所述感测膜包括与目标气体相互作用的感测材料；以及加热器，其位于包围所述压电式衬底的上表面上的电极区的边缘区中，所述加热器包括被配置为加热所述感测膜的加热器电极和连接至所述加热器电极的加热器焊盘，所述加热器电极和所述加热器焊盘形成闭合传导回路。2.根据权利要求1所述的气体传感器，其中：所述加热器相对于穿过所述电极区的中心区并且在所述第一水平方向上延伸的第一中心线对称，并且所述加热器相对于穿过所述电极区的中心区并且在垂直于所述第一水平方向的第二水平方向上延伸的第二中心线对称。3.根据权利要求2所述的气体传感器，其中，所述加热器电极包括多个曲折图案，所述多个曲折图案中的每个曲折图案包括：至少三条列导线，它们在所述第二水平方向上延伸，并且在所述第一水平方向上彼此相邻布置；第一行导线，其将所述至少三条列导线中的第一条的第一端连接至所述至少三条列导线中的第二条的第一端；以及第二行导线，其将所述至少三条列导线中的第二条的第二端连接至所述至少三条列导线中的第三条的第二端。4.根据权利要求3所述的气体传感器，其中，两条相邻的列导线之间在所述第一水平方向上的线节距相对于所述多个曲折图案中的每个曲折图案中包括的所有列导线是均匀的。5.根据权利要求3所述的气体传感器，其中，所述多个曲折图案的每个曲折图案包括：主曲折图案，其与所述电极区的中心区相邻设置，所述主曲折图案每单位面积产生第一热量；以及子曲折图案，相比于所述主曲折图案距离所述电极区的中心区，所述子曲折图案距离所述中心区更远，所述子曲折图案每单位面积产生第二热量，每单位面积的第二热量少于每单位面积的第一热量。6.根据权利要求5所述的气体传感器，其中，所述主曲折图案中包括的两条相邻的列导线之间在所述第一水平方向上的第一线节距小于所述子曲折图案中包括的两条相邻的列导线之间在所述第一水平方向上的第二线节距。7.根据权利要求5所述的气体传感器，其中，所述主曲折图案中包括的每条列导线的第一线宽小于所述子曲折图案中包括的每条列导线的第二线宽。8.根据权利要求2所述的气体传感器，其中：所述电极区包括第一焊盘区和第二焊盘区，所述第一焊盘区和所述第二焊盘区与所述电极区的中心区的沿着所述第二中心线的相对侧相邻设置，使得所述电极区具有十字形
状，并且所述叉指换能器焊盘位于所述第一焊盘区和所述第二焊盘区中。9.根据权利要求8所述的气体传感器，其中，所述加热器焊盘与所述第一焊盘区的沿着所述第二中心线的一侧和所述第二焊盘区的沿着所述第二中心线的一侧相邻，或者所述加热器焊盘与所述电极区的沿着所述第一中心线的相对侧相邻。10.根据权利要求8所述的气体传感器，其中，所述加热器电极包括：第一曲折图案和第二曲折图案，它们分别与所述第一焊盘区的在所述第一水平方向上的相对侧相邻设置；以及第三曲折图案和第四曲折图案，它们分别与所述第二焊盘区的在所述第一水平方向上的相对侧相邻设置。11.根据权利要求10所述的气体传感器，其中，所述第一曲折图案至所述第四曲折图案中的每一个包括：至少三条列导线，其在所述第二水平方向上延伸，并且在所述第一水平方向上彼此相邻布置；第一行导线，其将所述至少三条列导线中的第一条的第一端连接至所述至少三条列导线中的第二条的第一端；以及第二行导线，其将所述至少三条列导线中的第二条的第二端连接至所述至少三条列导线中的第三条的第二端。12.根据权利要求10所述的气体传感器，其中，所述第一曲折图案至所述第四曲折图案中的每一个包括：主曲折图案，其与所述电极区的中心区相邻设置，所述主曲折图案每单位面积产生第一热量；以及子曲折图案，其设置为比所述主曲折图案更加远离所述电极区的中心区，所述子曲折图案每单位面积产生第二热量，每单位面积的第二热量少于每单位面积的第一热量。13.根据权利要求2所述的气体传感器，其中：所述电极区包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴光暋，李始勋，林载兴，朴晸浩，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：