下载气体传感器、包括其的传感器阵列模块和移动装置的技术资料

文档序号:31308220

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提供了一种气体传感器以及包括其的传感器阵列模块和移动装置。所述气体传感器包括:压电式衬底;压电式衬底的上表面上的电极区中的谐振器,谐振器包括叉指换能器电极和连接至叉指换能器电极的叉指换能器焊盘,叉指换能器电极被配置为在电极区的中心区中产生表...
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