使用热塑材料的可锁定的微型机电致动器及其操作方法技术

一种可锁定的微型机电致动器包括微型机电致动器，和所述微型机电致动器连接用于锁定微型机电致动器的热塑材料，以及用于熔化所述热塑材料从而使微型机电致动器能够运动的加热器。当热塑材料被固化时，微型机电致动器的运动可以被锁定，所述热塑材料可以作为黏胶用于把所述结构保持在特定位置而不需要继续提供保持能量。此外，热塑材料可以足够快地固化，使得把微型机电致动器锁定的其最近的位置或者附近。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种机电系统，具体地说，涉及一种机电系统和操作所述机电系统的方法。研制出了微型机电系统(MEMS)，作为常规的机电装置例如继电器、致动器、阀门和检测器的替代物。由于使用微电子制造技术，MEMS装置是一种低成本的装置。因为MEMS装置可以比常规的机电装置小得多，所以还可以提供新的功能。MEMS技术的许多应用使用MEMS致动器。这些致动器可以使用一个或几个在一端或两端固定的横梁。这些致动器可以使用静电、磁、热与/或其它形式的能量被致动。在MEMS致动器中的一个主要的突破在本专利技术人等的名称为“Thermal Arched Beam Microelectromechanical Actuators”的美国专利5909078中描述，该专利的内容在此列为参考。其中所披露的是一类热控弓形梁微型机电致动器，其包括在微电子衬底上被分开的支撑之间延伸的弓形梁。所述弓形梁在受热时则膨胀。提供一个装置用于对弓形梁施加热量，从而使其由于热胀而使其弓形更弯，借以引起弓形梁的位移。出乎意料地，当作为微型机电致动器使用时，弓形梁的热膨胀可以产生相当大的位移和相当大的力，同时消耗合理的功率。可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括微型机电致动器（２２）的可锁定的微型机电致动器，其特征在于：和所述微型机电致动器耦连的用于锁定微型机电致动器的热塑材料（２０），以及用于熔化所述热塑材料从而使微型机电致动器能够运动的加热器（２４）。

【技术特征摘要】
US 2000-4-5 09/543,5401．一种包括微型机电致动器(22)的可锁定的微型机电致动器，其特征在于和所述微型机电致动器耦连的用于锁定微型机电致动器的热塑材料(20)，以及用于熔化所述热塑材料从而使微型机电致动器能够运动的加热器(24)。2．如权利要求1所述的可锁定的微型机电致动器，其特征在于所述微型机电致动器是热致动的微型机电致动器，其被构造成用于响应热致动而运动。3．如权利要求2所述的可锁定的微型机电致动器，其中所述加热器是第一加热器(2400)，所述可锁定的微型机电致动器的特征还在于第二加热器(2800)，其和微型机电致动器热连接，使得微型机电致动器响应第二加热器的启动而运动。4．如权利要求3所述的可锁定的微型机电致动器，其特征在于热隔离器(3400)，其被构造成用于使第二加热器和热塑材料热隔离。5．如权利要求1,2,3或4所述的可锁定的微型机电致动器，其中加热器或第一加热器的特征在于其被构造成用于在被施加第一数量的能量(P1)时熔化热塑材料和致动热致动器，而在被施加小于第一数量的第二数量的能量(P2)时用于熔化热塑材料而不致动热致动器。6．如权利要求1,2,3或4所述的可锁定的微型机电致动器，其特征在于继电器...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特L伍德，
申请(专利权)人：JDS尤尼费斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]