一种罗茨螺杆复合真空泵制造技术

本实用新型专利技术提供一种罗茨螺杆复合真空泵，其设有泵体，泵体的内部设有前置内腔体和复合转子内腔体，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向设有罗茨泵转子叶片，罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面。其解决了罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题。本实用新型专利技术可广泛应用于半导体行业工艺室的真空处理和显示器设备工艺室的真空处理中。设备工艺室的真空处理中。设备工艺室的真空处理中。

【技术实现步骤摘要】
一种罗茨螺杆复合真空泵


[0001]本技术涉及一种真空泵，特别是涉及一种罗茨螺杆复合真空泵。

技术介绍

[0002]现代工业的发展对于真空泵的需求越来越高，尤其是随着半导体行业和显示器制作行业的发展，对于工艺室的真空化处理的要求更高。
[0003]现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求；有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有的真空泵大部分体积较大，轴向尺寸长，在抽真空的过程中由于环节较多，导致能耗较高，长期使用达不到节能的要求，有些真空泵采用罗茨转子和螺杆转子复合转子结构，但罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位大多采取键槽的固定形式，无法满足在圆周方向的精准定位，导致真空泵的装配精度不高，长期运转时罗茨转子和螺杆转子之间存在旋转应力，罗茨转子和螺杆转子的旋转啮合不稳定，真空泵的可靠性低，工作寿命短的技术问题，提供一种罗茨螺杆复合真空泵，该真空泵在轴向的尺寸较短，罗茨转子和螺杆转子的工作部分能够无缝连通，工作效率高，长期工作功耗较低，同时罗茨转子和螺杆转子在圆周方向的定位准确，在装配时能够方便调节罗茨部分在轴向的定位，使其能够适应螺杆转子的啮合，这样在工作时，罗茨转子和螺杆转子不存在应力干扰，整体的真空泵的罗茨转子和螺杆转子运转平稳，这样就提高了真空泵的运转可靠性，大大提高了真空泵的寿命。
[0005]为此，本技术的技术方案是，一种罗茨螺杆复合真空泵，设有泵体，泵体一侧设有前端盖，前端盖的外侧固定设有电机，泵体另一侧设有后端盖，后端盖和泵体之间设有端面密封圈，后端盖的外侧固定设有后盖板；
[0006]泵体的内部一侧设有前置内腔体，泵体的内部另一侧设有复合转子内腔体，前置内腔体和复合转子内腔体之间设有泵体支撑隔板，复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，复合转子的一端贯穿通过泵体支撑隔板进入到前置内腔体中，复合转子的另一端贯穿通过后端盖；
[0007]复合转子包括复合转子轴，复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；一对螺杆泵转子通过螺杆泵转子叶轮相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成气体
流量通道，一对罗茨泵转子通过罗茨泵转子啮合曲面相互啮合连接；
[0008]其中一个复合转子的复合转子轴与电机的输出端连接，前置内腔体中设有一对互相啮合的同步齿轮，同步齿轮分别固定在复合转子轴上；复合转子轴的一端固定设有轴承，轴承的外圈固定在泵体支撑隔板的内部，复合转子轴的另一端也设有轴承，轴承位于后端盖的内部；
[0009]泵体的上表面外侧设有吸入口，吸入口与复合转子内腔体连通，吸入口的位置与罗茨泵转子相对应，泵体的下表面外侧设有排出口，排出口位于靠近螺杆泵转子一侧，排出口与复合转子内腔体连通；
[0010]复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，气体流量初级压力腔与吸入口连通，罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通；
[0011]复合转子内腔体的底部位于螺杆泵转子与罗茨泵转子的连接处对应设有气体流量压缩腔；吸入口、气体流量初级压力腔、气体流量二级压力腔、气体流量三级压力腔、气体流量压力释放补偿腔、气体流量压缩腔、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成的气体流量通道以及排出口形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道。
[0012]优选地，泵体支撑隔板上位于泵体支撑隔板内部的轴承的内侧设有氮气进入孔，氮气进入孔贯通穿过泵体，泵体上设有氮气固定接头；位于后端盖上位于后端盖内部的轴承的内侧又设有氮气进入孔，氮气进入孔贯通穿过后端盖，后端盖上又设有氮气固定接头；
[0013]氮气固定接头与氮气进入孔相连通，位于泵体支撑隔板内部的轴承和位于后端盖内部的轴承靠近复合转子内腔体的内侧均设有一对唇形密封圈，一对唇形密封圈之间设有唇形密封圈浮动压环，唇形密封圈浮动压环中间位置设有压力调节孔，压力调节孔与氮气进入孔连通，靠近复合转子内腔体一侧的唇形密封圈的内侧设有环形密封圈，环形密封圈固定在复合转子轴上。
[0014]优选地，罗茨泵转子的一端设有罗茨泵转子内圈定位压紧环形部，罗茨泵转子套设在复合转子轴上，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有外锥锁紧套和内锥锁紧套，外锥锁紧套的内锥表面和内锥锁紧套的外锥表面相配合，外锥锁紧套的外端面与罗茨泵转子内圈定位压紧环形部压紧接触，罗茨泵转子的外侧固定设有罗茨泵转子锁紧内套，罗茨泵转子锁紧内套的前端设有内套压紧部，内套压紧部与内锥锁紧套的外端面压紧接触，罗茨泵转子锁紧内套与罗茨泵转子之间设有锁紧间隙。
[0015]优选地，复合转子轴上位于罗茨泵转子的内部设有的外锥锁紧套和内锥锁紧套为三对。
[0016]优选地，罗茨泵转子内圈定位压紧环形部与复合转子轴外表面的接触部分的长度超过复合转子轴长度的1/3。
[0017]优选地，前端盖和泵体之间设有端面密封圈。
[0018]优选地，后盖板和后端盖之间设有端面密封圈。
[0019]优选地，泵体的外壁上设有冷却水腔。
[0020]优选地，泵体上的中间位置对应复合转子内腔体的位置又设有氮气进入孔，氮气
进入孔与复合转子内腔体相连通，泵体的外壁上设有氮气固定接头，氮气固定接头与氮气进入孔相连通。
[0021]本技术的有益效果是，由于螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，这样的结构可以更高效率地完成真空的发生；由于复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，气体流量初级压力腔与吸入口连通，罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通，这样的结构在抽真空时，吸入口的空气经过气体流量初级压力腔和气体流量二级压力腔后进入到气体流量三级压力腔中，因为气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通，其连通后的体积大于气体流量二级压力腔的体积，使吸入的空气得到迅速地释放，罗茨泵转子叶片的不断旋转，不断往复地吸入压缩的空气，然后经过气体流量三级压力腔不断地本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种罗茨螺杆复合真空泵，其特征是：设有泵体，所述泵体一侧设有前端盖，所述前端盖的外侧固定设有电机，所述泵体另一侧设有后端盖，所述后端盖和泵体之间设有端面密封圈，所述后端盖的外侧固定设有后盖板；所述泵体的内部一侧设有前置内腔体，所述泵体的内部另一侧设有复合转子内腔体，所述前置内腔体和复合转子内腔体之间设有泵体支撑隔板，所述复合转子内腔体中设有一对互相啮合的复合转子，所述复合转子的一端贯穿通过泵体支撑隔板进入到前置内腔体中，所述复合转子的另一端贯穿通过后端盖；所述复合转子包括复合转子轴，所述复合转子轴相邻固定设有螺杆泵转子，所述螺杆泵转子与复合转子轴为一体结构，所述螺杆泵转子上设有螺杆泵转子叶轮，所述螺杆泵转子相邻固定设有罗茨泵转子，所述罗茨泵转子圆周方向均布固定设有三个罗茨泵转子叶片，每相邻两个罗茨泵转子叶片之间设有罗茨泵转子啮合曲面，所述罗茨泵转子与复合转子轴为可拆卸连接；一对螺杆泵转子通过螺杆泵转子叶轮相互啮合连接，相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成气体流量通道，一对罗茨泵转子通过罗茨泵转子啮合曲面相互啮合连接；其中一个复合转子的复合转子轴与电机的输出端连接，所述前置内腔体中设有一对互相啮合的同步齿轮，所述同步齿轮分别固定在复合转子轴上；所述复合转子轴的一端固定设有轴承，所述轴承的外圈固定在泵体支撑隔板的内部，所述复合转子轴的另一端也设有轴承，所述轴承位于后端盖的内部；所述泵体的上表面外侧设有吸入口，所述吸入口与复合转子内腔体连通，所述吸入口的位置与罗茨泵转子相对应，所述泵体的下表面外侧设有排出口，所述排出口位于靠近螺杆泵转子一侧，所述排出口与复合转子内腔体连通；所述复合转子内腔体中互相啮合的罗茨泵转子叶片位于吸入口一侧为气体流量初级压力腔，所述气体流量初级压力腔与吸入口连通，所述罗茨泵转子叶片位于复合转子内腔体的侧壁为气体流量二级压力腔，互相啮合的罗茨泵转子叶片位于底部为气体流量三级压力腔，所述复合转子内腔体位于底部还设有气体流量压力释放补偿腔，所述气体流量三级压力腔与气体流量压力释放补偿腔连通；所述复合转子内腔体的底部位于螺杆泵转子与罗茨泵转子的连接处对应设有气体流量压缩腔；所述吸入口、气体流量初级压力腔、气体流量二级压力腔、气体流量三级压力腔、气体流量压力释放补偿腔、气体流量压缩腔、相互啮合连接的螺杆泵转子叶轮之间形成的气体流量通道以及排出口形成了罗茨螺杆复合真空泵的气体流量压缩排出通道。2.根据权利要求1所述的一种罗茨螺杆复合真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：李坤，
申请(专利权)人：威鹏晟山东真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：