转动轴悬臂安装真空泵电机制造技术

本发明专利技术提供一种转动轴悬臂安装真空泵电机，其设有外壳体，外壳体的一端设有端盖，端盖上设有端盖孔，外壳体的内部设有定子安装腔体，外壳体的另一端设有安装法兰，安装法兰的外圆周上设有固定孔，安装法兰的外端面为定位端面，安装法兰的最外端设有安装止口，定子安装腔体的内部固定设有定子组件，定子组件的内部为空腔结构，定子组件的内部空腔中设有转子，转子的中间设有转子安装孔；转子与定子组件旋转连接，定子安装腔体的内部灌封内部填充物。其能够保护电机内部的线圈免受杂质的污染，电机的线圈的磁力性能损失小。本发明专利技术可广泛应用于真空泵领域。泛应用于真空泵领域。泛应用于真空泵领域。

【技术实现步骤摘要】
转动轴悬臂安装真空泵电机


[0001]本专利技术涉及一种真空泵电机，特别是涉及一种转动轴悬臂安装真空泵电机。

技术介绍

[0002]半导体或显示屏制造过程中，在真空室内会产生气体及杂质，真空泵由电机带动，负责抽出在这些气体与杂质。传统的真空泵电机大多由定子、转子、电机壳体构成，真空泵电机在运行时，真空泵内部的叶轮在电机的驱动下旋转，制造过程产生的杂质通过真空泵的吸入口被吸入，经过真空泵内部，最终由排出口排出，以达到半导体及显示屏制造室处于真空状态。
[0003]真空泵通过叶轮旋转吸入的工艺杂质经过真空泵内部并排出到出口时，一部分工艺杂质会流入电机内部，流入电机的工艺杂质会同高温气体反应损坏定子线圈，会影响电机的寿命。因此，传统电机会在定子和转子之间安装隔圈以防止从泵流入的工艺杂质损坏定子线圈，这些隔圈用不锈钢或类似材料制成的薄板圆形焊接并安装在定子和转子之间，以此防止从真空泵流入的工艺杂质或润滑油损坏定子线圈。然而，由于安装在定子和转子之间的隔圈必须安装在定子和转子之间，并需要留有微小间隙，此方法在加工和组装时会非常困难。另外，会存在安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转动轴悬臂安装真空泵电机，其特征是：设有外壳体，所述外壳体的一端设有端盖，所述端盖上设有端盖孔，所述外壳体的内部设有定子安装腔体，所述外壳体的另一端设有安装法兰，所述安装法兰的外圆周上设有固定孔，所述安装法兰的外端面为定位端面，安装法兰的最外端设有安装止口；所述定子安装腔体的内部固定设有定子组件，所述定子组件的内部为空腔结构，所述定子组件包括定子支架和定子线圈，所述定子线圈与定子支架缠绕连接；所述定子组件的内部空腔中设有转子，所述转子的中间设有转子安装孔；所述转子与定子组件旋转连接。2.根据权利要求1所述的一种转动轴悬臂安装真空泵电机，其特征在于：所述定子安装腔体的内部灌封内部填充物，所述定子组件位于内部填充物中；所述内部填充物为环氧树脂。3.根据权利要求1所述的一种转动轴悬臂安装真空泵电机，其特征在于：所述外壳体的外壁上设有冷却水通道，所述冷却水通道为多圈螺旋分布形状分布于外壳体的外壁上，所述冷却水通道的两端分别设有冷却水入口和冷却水出口，所述冷却水入口和冷却水出口分别外漏在外壳体的外壁，所述冷却水入口和冷却水出口与冷却水通道为贯通密封连接。4.根据权利要求3所述的一种转动轴悬臂安装真空泵电机，其特征在于：所述冷却水入口...

【专利技术属性】
技术研发人员：李坤，
申请(专利权)人：威鹏晟山东真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：