一种多棒串接端面泵浦谐振腔制造技术

本实用新型专利技术公开一种多棒串接端面泵浦谐振腔，包括三倍频系统、靠近三倍频系统布置的反射镜组件，以及靠近反射镜组件布置的若干半导体激光泵浦源组件；若干所述半导体激光泵浦源组件平行间隔布置，且靠近每一半导体激光泵浦源组件的泵浦光发射端处还均设有一激光晶体；若干所述激光晶体相互串接。本实用新型专利技术采用多路半导体激光泵浦的方式，可提高半导体激光器的泵浦功率，同时，多个激光晶体相互串接，可降低单个激光晶体的光功率密度，进而抑制激光晶体的热透镜效应，为半导体激光器的大光斑运行提供了前提条件。运行提供了前提条件。运行提供了前提条件。

【技术实现步骤摘要】
一种多棒串接端面泵浦谐振腔


[0001]本技术涉及固体激光器谐振腔
，尤其涉及一种多棒串接端面泵浦谐振腔。

技术介绍

[0002]半导体端面泵浦固体激光器结构简单、体积小巧、光束质量好、运行稳定，易于集成，因此被广泛应用在激光切割、激光钻孔、激光打标、激光划线、精密调阻、激光清洗，以及激光内雕等激光加工行业。
[0003]随着工业应用对激光加工效果及加工效率要求的不断提高，市场对激光器输出波长的要求也越来越高。而紫外激光器输出波长仅为目前使用的红外激光器的三分之一，其加工精度高，可以实现微米量级的精细加工。紫外激光的光子能量是普通红外激光光子能量的三倍，使得激光冷加工成为可能，应用范围也得到了极大的拓展，此外，355nm波长的紫外激光器的重复频率极高，从而提高了生产效率，节约了社会成本，降低了能耗。因此，在实际应用中，355nm的紫外激光器为微加工中的切除动作提供了新的工具，其不会给材料造成热损伤和微裂痕，因此，在例如玻璃、硅片、晶元、陶瓷等脆性材料的加工上有特殊优势。
[0004]而355nm波长的紫外激光主要是1064本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多棒串接端面泵浦谐振腔，其特征在于，包括三倍频系统、靠近三倍频系统布置的反射镜组件，以及靠近反射镜组件布置的若干半导体激光泵浦源组件；若干所述半导体激光泵浦源组件平行间隔布置，且靠近每一半导体激光泵浦源组件的泵浦光发射端处还均设有一激光晶体；若干所述激光晶体相互串接，每一半导体激光泵浦源组件用于对靠近其泵浦光发射端布置的激光晶体进行泵浦，且激光晶体上激发的振荡光经反射镜组件反射至三倍频系统上；所述振荡光光路上还设有一二向色镜，且靠近二向色镜处还依次布置有Q开关和第一平面反射镜。2.根据权利要求1所述的多棒串接端面泵浦谐振腔，其特征在于，靠近每一半导体激光泵浦源组件的泵浦光发射端处还均设有一半导体激光反射镜，且每一半导体激光反射镜与一激光晶体对应设置；所述半导体激光反射镜用于将半导体激光泵浦源组件发射的泵浦光反射至对应的激光晶体上，以对其进行泵浦。3.根据权利要求2所述的多棒串接端面泵浦谐振腔，其特征在于，所述二向色镜布置于其中一半导体激光反射镜与一激光晶体之间的振荡光光路上，且入射至二向色镜镜面的振荡光的入射角度为45
°
。4.根据权利要求3所述的多棒串接端面泵浦谐振腔，其特征在于，所述二向色镜为平面透镜，且二向色镜与Q开关相对的一面镀有振荡光高反膜和泵浦光增透膜，二向色镜的另一面镀有泵浦光增透膜。5.根据权利要求1所述的多棒串接端面泵浦谐振腔，其特征在于，所述半导体激光泵浦源组件包括半导体激光器，以及光束准直聚焦装置；所述半导体激光器的输出端还设有光纤，半导体激光器基于光纤耦合输出光束至光束准直聚焦装置上；所述光束准直聚焦装置包括靠近半导体激光器的输出端布置的第一聚焦透镜，以及与第一聚焦透镜间隔布置的第二聚焦透镜；所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：全鸿雁，
申请(专利权)人：深圳市格镭激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：